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铜抛光配方工艺技术加工方法

发布时间:2020-03-05   作者:admin   浏览次数:196

1、一种铜或铜合金的表面抛光处理工艺
 [简介]:本技术提供了一种铜或铜合金的表面抛光处理工艺,包括如下步骤:第一步,配制抛光处理剂,抛光处理剂的组成成份重量比为:3%~7%的三氯化铁、17~25%的硫酸溶液和68%~80%的水,上述组成成份的重量比以克为单位,将三氯化铁与硫酸溶液和水按照上述重量比混合均匀,制得抛光处理剂;第二步,将抛光处理剂和研磨辅料放入研磨机后,再放入将待抛光的铜或铜合金;第三步,铜或铜合金的表面在抛光处理剂的腐蚀作用下,再经过研磨辅料的摩擦作用,对铜或铜合金的表面进行抛光。采用本技术的抛光处理剂和处理工艺,铜或铜合金的表面抛光过程不需要人工干预,30分钟即完成表面抛光,具有省时省力的优点,抛光效率高,抛光成本低。
2、一种铜制品加工抛光打磨方法
 [简介]:本技术提供了一种铜制品加工抛光打磨方法,先清除铜制品表面的杂质,然后对铜制品进行打磨抛光处理后,在氧化剂中进行浸泡,最后进行烘干处理即可,本技术铜制品先去除表面杂质,为铜制品后续的打磨与抛光提供方便,进行打磨时,采用粒径小的研磨石,为铜制品表面的精细处理提供方便,进而提高铜制品表面的光滑度,采用抛光液对铜制品进行抛光,抛光后能够提高产品的光亮度,将处理后铜制品放置在氧化剂中进行浸泡,能够在铜制品表面形成一层保护膜,使得铜制品难以与空气中的其他物质发生反应,起到保护铜制品的作用。
3、用于抛光铜膜的CMP浆液组合物以及使用其抛光铜膜的方法
 [简介]:本技术提供一种用于抛光铜膜的CMP浆液组合物和使用其抛光铜膜的方法。CMP浆液组合物包含:选自极性溶剂和非极性溶剂当中的至少一种;金属氧化物磨料;甘氨酸;组氨酸;以及咪唑化合物。
4、一种用于黄铜紫铜焊接材料的化学抛光液及其使用方法
 [简介]:本技术提供了一种用于黄铜紫铜焊接材料的化学抛光液及其使用方法,所述化学抛光液由抛光液A和出光液B组成,使用方法是先将需要抛光的材料置于抛光液A中进行抛光,再将抛光后的工件进行退膜,出光。本技术不使用对环境有危害的化学物质如铬酸,也不使用硝酸,不会在抛光过程中产生黄烟,抛光过程更加安全环保;抛光液中使用较低浓度的酸,可以降低反应的速率,减少体系产生的热量,避免了双氧水的快速分解,延长了抛光液的使用寿命;抛光液中加入硫酸量不超过1%,可以防止不同铜合金反应出的金属离子反作用于材料表面,防止出现材料表面的点蚀等现象。
5、一种抛光和氧化铜表面的方法
 [简介]:本技术是一种抛光和氧化铜表面的方法,该方法采用弱酸电解液,采用循环伏安法,通过扫描电压、扫描速度和循环次数的相互匹配调控铜表面粗糙度,通过停止电位调控铜表面氧化膜的厚度,实现抛光和氧化铜表面的过程结合,提升材料制备效率。本技术方法操作简单、便利,抛光后的铜表面光滑,粗糙度降低,同步在铜表面制备氧化层。另外可通过扫描电压、扫描速度和循环次数调控铜表面粗糙度,通过停止电位调控铜表面氧化膜的厚度。
6、一种金属铜生产用抛光装置
 [简介]:本技术提供了一种金属铜生产用抛光装置,包括底座,底座的下表面均匀分布有脚轮和可调脚杯,底座的上表面的一端设置有安装座,安装座上安装有防护外罩,防护外罩的内侧设置有固定座,固定座的上表面设置有第一电机座,第一电机座的内侧设置有第一电机,第一电机的输出轴安装有抛光轮。本技术金属铜生产用抛光装置,第二电机工作驱动丝杆旋转进而使待加工铜管不断向前运送从而完成抛光处理,不需要人工操作,可减轻操作者负担,同时安全性高,防护外罩可防止待加工铜管在进行抛光过程中所产生的碎屑向四周飞溅,可使碎屑得到有效的聚积,防止碎屑飞溅污染工作台面,同时可避免碎屑飞溅伤害到操作者,安全性高。
7、一种含铜线性自抛光海洋防污涂料
 [简介]:本技术涉及涂料领域,提供了一种含铜线性自抛光海洋防污涂料,本技术的涂料中含有八种不同类型的线性自抛光防污树脂,该树脂的合成工艺路线更易控制、成本更低,所获树脂的分子量稳定且分布更窄,具有良好的线性抛光能力;将其配制为含铜海洋防污涂料后,抗菌性、防污性、附着力、耐候性俱佳,适于船舶的长效防污涂层体系的应用。
8、一种缓蚀剂及其在铜金属酸洗液和化学抛光液中的应用
 [简介]:本技术印制电路领域,涉及印制电路工艺中的酸洗技术及化学抛光技术,具体为一种缓蚀剂及其在铜金属酸洗液和化学抛光液中的应用。本技术采用丙硫菌唑和/或5?巯基?1?甲基四唑作为缓蚀剂,5?巯基?1?甲基四唑作为医药中间体、对环境友好,丙硫菌唑毒性低,且两种缓蚀剂均具有水溶性好、成本低等特点。本技术缓蚀剂应用于铜金属酸洗液中,缓蚀剂的用量少,水溶性好且缓蚀效率高、可达到80?99%,缓蚀性能稳定;本技术缓蚀剂应用于铜金属化学抛光液中,采用硫酸为主腐蚀体系,避免了抛光过程中产生的NOx、SO2等有害气体,使用本技术的化学抛光液对金属表面进行化学抛光得到的化学抛光面光亮度高、表面平整,可达到镜面抛光效果。
9、一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备
 [简介]:本技术提供了一种高纯铜旋转靶的外圆抛光设备,属于旋转靶加工设备领域,用以解决抛光设备存在不方便对旋转靶端口台阶处进行抛光的问题,包括机架、装夹机构和抛光机构,机架由第一支撑座和第二支撑座组成,装夹机构可滑动地设置在第一支撑座上,抛光机构可滑动地设置在所述第二支撑座上,装夹机构包括第一底座、转动筒、螺纹块顶杆,所述抛光机构包括两组抛光组、第二底座、摆臂和丝杠,本技术的装夹机构能够对不同长度的旋转靶进行固定,抛光机构能够自动对旋转靶整体进行抛光,在抛光机构移动至旋转靶端口处时,通过升降轮的调整能够让抛光机构对旋转靶端口的台阶进行抛光,能够减少工人的参与,降低工人劳动强度,提高工作效率。
10、一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其配方技术
 [简介]:本技术提供的一种用于铜抛光的氧化铝抛光液及其配方技术,涉及蓝玻璃抛光材料制备技术领域;包括以下重量份的组分:氧化铝100?400、表面活性剂1?40、缓蚀剂1?80、pH调节剂1?100、分散剂1?40、悬浮剂1?40、去离子水1000;其制备包括以下步骤:A、备料;B、初混合;C、复混合;D、pH调节。具有抛光效率高、对环境污染少、对设备腐蚀少等特点,适用于铜制表面的高精度抛光。
11、一种抛光和氧化铜表面的装置
 [简介]:本技术提供的一种抛光和氧化铜表面的装置,包括底座,所述底座上端面固定设有输送块,所述输送块内设有夹紧输送装置,所述夹紧输送装置可将铜管从左向右输送,所述底座上端面中间固定设有抛光块,所述抛光块内设有抛光装置,所述抛光装置可将铜管外表面进行快速旋转打磨抛光,所述抛光块右端固定设有固定设于所述底座上端面的氧化箱,本技术通过自动运输铜管免除人工推动铜管,降低了工作强度,同时在自动进行抛光后立马进行氧化处理,放置铜表面生成除氧化铜外的其他物质,使得抛光和氧化同步进行,大大加快了铜管的生产效率。
12、一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法
 [简介]:本技术提供了一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法,通过采用一带有螺纹的长条形转轴,与样品池连接,再用垫片和螺母将其锁紧;样品池内外均填满了抛光液和磨粒,转轴在电机的驱动下带动样品池一起旋转,从而完成其内外圆柱面的抛光。其中所述抛光液主要成分为双氧水、磷酸、壳寡糖、苯骈三氮唑,磨粒为碳化硅。本技术的优势在于:能有效减小细长薄壁样品池的变形,一次同时抛光内外两个表面,抛光效率高,此外,该加工方式抛光出的样品池内外圆柱表面的同轴度及光洁度均非常高。
13、一种造币铜合金坯饼电解质等离子抛光液及抛光工艺
14、一种铜排抛光机
15、一种铜脱脂抛光剂及铜合金抛光抗氧化工艺流程
16、一种抛光黄铜锭浇铸脱模用的脱模剂及其配方技术
17、一种陶瓷抛光泥与铜尾矿复合制备蒸压加气混凝土砌块的方法及其产品
18、同时去除电解抛光废水中总铁和总铜的处理工艺及系统
19、一种凹版铜层专用抛光膏
20、一种铜合金机件加工实用抛光装置及使用方法
21、一种黄铜拉链的抛光工艺
22、用于抑制铜钴阻挡层电偶腐蚀及钴表面点蚀的抛光浆料
23、一种用于铜材抛光的节能型加工设备
24、一种金属铜表面化学抛光处理系统
25、一种含铜高抛光预硬化塑胶模具钢及其制备工艺
26、一种用于铜钛合金的抛光剂及其配方技术
27、一种铜业生产用化学抛光浸泡机
28、一种富含生物杀菌剂的线性自抛光防污树脂及包含该树脂的无铜海洋防污涂料
29、一种铜表面磨料气射流抛光方法
30、一种纳米蒙脱土改性丙烯酸硅/硼无铜自抛光型防污涂料及其配方技术
31、一种利用太阳能的节能型铜材抛光装置
32、一种用于铜件电抛光去除毛刺的方法
33、一种铜冶炼的抛光设备
34、一种铜杆表面抛光装置
35、一种低铜环保高效自抛光防污漆及其配方技术
36、一种电解铜箔用钛*极辊化学抛光液及抛光方法
37、铜的抛光件高效除蜡除氧化一体清洗剂的配方技术
38、纯铜料抛光防污漆及使用方法
39、一种节能型铜材抛光设备
40、一种铜片化学机械抛光液
41、含铜零件表面处理用抛光剂
42、铜杆高速抛光机
43、一种用于LED芯片减薄过程中铜抛光液供给设备
44、一种铜的环保化学机械抛光方法
45、一种蓝宝石晶片抛光用快拆式树脂铜盘
46、一种用于铜合金的高速电解除氧化膜抛光液及其配方技术
47、一种手持式铜面局部抛光装置
48、液化石油气试验铜片抛光装置
49、一种提高铜棒光泽度的抛光设备
50、一种铜管内壁抛光清洁系统及其方法
51、一种铜材质机电设备的表面抛光处理方法
52、不含氧化亚铜和有机锡的自抛光防污涂料及其配方技术
53、抛光剂、铜件及其抛光处理方法
54、一种抛光剂、铜件及其抛光处理方法
55、用于抛光铜的CMP浆料组合物及使用其的抛光方法
56、一种铜角阀打磨抛光系统
57、一种多功能的铜棒的抛光设备
58、一种铜板抛光装置
59、一种新型铜管外壁抛光设备
60、一种电解铜箔生产用*极辊的抛光工艺
61、一种铜杆抛光机
62、一种提高抛光质量的铜棒抛光设备
63、一种镀锡铜材抛光剂
64、一种铜丝抛光装置
65、一种铜合金的液相等离子纳米抛光液、其配方技术及应用
66、一种铜棒的抛光设备
67、一种铜管内壁的抛光机
68、一种用于铜基衬套的抛光去毛刺装置
69、一种空调冷凝铜管内部抛光清洗设备
70、一种用于铜布线阻挡层钴的碱性抛光液及其配方技术
71、一种铜杆抛光设备
72、低凹陷的铜化学机械抛光
73、一种铜材酸洗抛光液及其配方技术和使用方法
74、一种空调冷凝铜管内部抛光机
75、一种紫铜管工件的化学抛光表面处理方法
76、碱性抛光液在抑制铜钽阻挡层电偶腐蚀的应用
77、一种紫铜抛光液及其使用方法
78、消除带螺旋槽铜套孔划痕的方法及橡胶抛光件及研磨器
79、一种弱碱性铜抛光液
80、一种易切削的铋硅锡黄铜重熔抛光铜锭及其制造方法
81、一种取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液
82、一种低表面能自抛光型防污涂料及其在无氧化亚铜防污漆上的应用
83、一种对铜板表面进行抛光处理的装置
84、无铜环保自抛光海洋防污涂料
85、一种含铜高抛光模具钢及其制备工艺
86、一种镀铜金属抛光剂
87、镀锡锌铜材抛光剂
88、镀铜钨钢抛光剂
89、一种铜球抛光筒及抛光设备和抛光方法
90、一种复杂黄铜的电解抛光方法
91、一种铜元素掺杂氧化硅溶胶的复合磨粒、其抛光液组合物及其配方技术
92、镀锡铜材抛光剂
93、用于清洗抛光后铜件表面蜡垢的除蜡剂
94、用于抑制铜钌阻挡层电偶腐蚀的碱性抛光液及其配方技术
95、镀锌铜材抛光剂
96、空调冷凝铜管内抛光清洗装置
97、碱性抛光液在低压力下提高GLSI铜布线铜膜去除速率的应用
98、紫铜板整平抛光机
99、一种化学机械抛光液及其在抛光ULK-铜互连制程中阻挡层的应用
100、铜阻挡物的化学机械抛光组合物
101、一种无应力电化学抛光铜时去除二氧化硅的方法
102、一种铜合金护套铁路贯通地线环保型抛光钝化串联生产线
103、铜类电极的表面抛光
104、一种丙烯酸铜锌复合自抛光防污树脂制备和应用
105、一种镀锌铜线镀前抛光装置
106、用于化学机械抛光含有钌和铜的衬底的方法
107、一种用于青铜零件研磨抛光的油膏组合物
108、控制GLSI多层铜布线精抛碟形坑延伸的碱性抛光液应用
109、用于抛光铜线的CMP浆料组合物及使用其的抛光方法
110、一种铜及铜合金高光亮化学抛光液
111、一种用于EBSD测试的冷轧铜镍复合基带的电解抛光方法
112、CMP中碱性抛光液抑制GLSI铜钴阻挡层电偶腐蚀的应用
113、一种精细导电铜材抛光后清洗方法
114、铜材抛光装置
115、一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺
116、一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液
117、一种适用于低下压力的弱酸性铜抛光液
118、化学机械抛光浆料组合物和将其用于铜和硅通孔应用的方法
119、一种适用于低下压力的铜化学机械精抛光液
120、一种用于版辊铜面抛光机的抽风除尘装置
121、一种铜或铜合金化学抛光液及其配方技术
122、一种蓝宝石抛光用铜盘及其修盘方法
123、引铸型低铅环保A级抛光铜锭及其制备装置和方法
124、固结磨料化学机械抛光铜的加工方法
125、一种适用于低下压力的集成电路铜抛光液
126、一种用于铜的清洁抛光剂
127、一种铜及其合金的化学抛光方法
128、冷水镀铜焊丝抛光液
129、一种铜抛光的方法
130、一种铜抛光剂及其配方技术
131、一种自抛光丙烯酸铜树脂及其合成方法
132、自力式高压电触头材料尾部铬青铜金相试样的抛光方法
133、一种镀铜实芯焊丝抛光液及其配方技术
134、一种环保型铜制品用化学抛光液及其配方技术
135、一种真空熔炼速凝炉水冷铜棍自动抛光装置
136、用于抛光铜的CMP浆料组合物和使用其的抛光方法
137、铜线阵区域抛光后表面凹陷的测量单元及测量方法
138、一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法
139、一种用于钢铁基体化学镀铜的化学抛光液
140、钢、铜工件抛光后中性脱蜡除油剂及生产方法
141、一种铜质乐器零部件表面抛光方法
142、一种丙烯酸铜/锌自抛光防污树脂的合成方法
143、铜及铜合金工件化学抛光工作液及生产方法
144、一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺
145、基于铜互连中以金属钌作为粘附阻挡层的抛光工艺的抛光液
146、一种用于铜线生产的铜杆抛光机
147、一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺
148、一种铜及合金表面处理用的化学抛光剂及其配方技术
149、一种用于铜互连抛光的工艺方法
150、一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法
151、用来化学机械抛光铜的方法
152、铜管抛光机
153、一种降低铜的化学机械抛光形成表面蝶形凹陷的方法
154、一种取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液
155、一种用于抛光铜的化学机械抛光浆料
156、用于结晶器铜管的抛光机
157、用于铜互连层电化学机械抛光的电解液及其配方技术
158、丙烯酸锌或丙烯酸铜自抛光防污树脂的合成工艺
159、含铜固结磨料研磨抛光垫
160、一种铜化学机械抛光组合物
161、一种集成电路铜互连结构中铜的电化学机械抛光液
162、表面露出铜和硅的晶片的抛光方法
163、适用于精细雾化CMP的铜抛光液
164、ULSI多层铜布线铜的低下压力化学机械抛光的组合物
165、一种原位组合磨粒铜抛光组合物
166、一种抛光硅和铜的化学机械平坦化浆料
167、超大规模集成电路铜布线表面低压化学机械抛光方法
168、一种取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液
169、超大规模集成电路多层铜布线化学机械抛光后的洁净方法
170、核/壳型复合纳米磨料铜化学机械抛光液
171、ULSI铜表面高精密加工过程中化学机械抛光液的配方技术
172、ULSI铜材料抛光后表面清洗方法
173、一种建立铜互连化学机械抛光工艺模型的方法
174、铜金属层化学机械抛光后的表面处理方法
175、一种抛光包含铜互连金属的图案化半导体晶片的方法
176、用于抛光镶嵌结构中的铝/铜和钛的组合物
177、铜化学机械抛光的过程控制方法和系统
178、黄铜化学抛光液及其配制方法
179、铜互连工艺中的化学机械抛光方法
180、铜互连工艺中化学机械抛光的返工方法
181、高去除率、低损伤的铜化学机械抛光液及配方技术
182、制造铜互连的阻挡层抛光的CMP浆料组合物、使用其的抛光方法及通过其制造的半导体器件
183、降低铜化学机械抛光粗糙度的抛光液
184、抛光组合物
185、铜化学机械抛光方法
186、包含离子型聚电解质的铜化学机械抛光组合物及方法
187、一种集成电路铜布线的无磨粒化学机械抛光液
188、铜钝化化学机械抛光组合物和方法
189、含铜基底的化学机械抛光方法
190、一种金属铜的抛光液
191、H62黄铜抛光液及其配方技术
192、铜/钌/钽基材的化学机械抛光
193、一种用于铜制程的化学机械抛光液
194、用于抛光镶嵌结构中的铝/铜及钛的组合物
195、用于铜膜平面化的钝化化学机械抛光组合物
196、在化学机械抛光期间调节低k对铜除去速率的方法和浆料
197、铜抛光中用的纳米二氧化硅磨料抛光液
198、一种用于铜制程的化学机械抛光液
199、一种金属铜的抛光液
200、含沸石的用于铜的化学机械抛光组合物
201、铜片衬底的半固着磨粒抛光方法
202、ULSI多层铜布线化学机械抛光中平整度的控制方法
203、ULSI多层铜布线化学机械抛光中碟形坑的控制方法
204、铜制品抛光剂的制造方法
205、铜/钌基板的化学机械抛光方法
206、铜纯化的化学机械抛光后清洗组合物及使用方法
207、ULSI多层铜布线化学机械抛光中粗糙度的控制方法
208、铜的化学机械抛光浆料
209、集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液
210、用于铜的低下压力抛光的组合物和方法
211、用于铜和相关材料的改进的化学机械抛光组合物及其使用方法
212、用于步骤II的铜衬里和其他相关材料的化学机械抛光组合物及其使用方法
213、采用抛光垫和抛光流体的抛光方法和抛光流体
214、用于铜的受控抛光的组合物和方法
215、用于抛光铜的组合物和方法
216、铜和阻障层之整合化学机械抛光的方法和设备
217、用于铜膜平面化的钝化化学机械抛光组合物
218、化学机械抛光铜表面用的腐蚀延迟抛光浆液
219、抛光和/或清洁铜互连和/或薄膜的方法及所用组合物
220、用于铜布线化学机械抛光的清洗液提供装置
221、用于抛光铜基金属的浆
222、抛光和/或清洁铜互连和/或薄膜的方法及所用的组合物
223、使用磺化两性试剂的铜化学机械抛光溶液
224、铜化学-机械抛光工艺用抛光液
225、超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平面化抛光液
226、超大规模集成电路多层铜布线中铜与钽的化学机械全局平面化抛光液
227、铜-氧化物大马士革结构的化学机械抛光
228、用于化学-机械抛光法的浆料和系统及其用途
229、一种化学-机械抛光铜镶嵌结构所用的浆料
230、研磨无机氧化物颗粒的浆液以及含铜表面的抛光方法
231、形成铜互连线的方法
232、抛光混合物和减少硅晶片中的铜混入的方法
233、用于铜基材的化学机械抛光浆料
234、用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料
235、用于铜/钽基材的化学机械抛光浆料
236、铜基材料表层的机械化学抛光方法
237、抛光铜膜后清洁处理半导体衬底的方法和设备
238、抛光铜膜后清洁处理半导体基材的方法和设备
239、用于铜的化学机械抛光(CMP)浆液以及用于集成电路制造的方法
240、铜锌合金表面的电抛光方法
 
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