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三氯氢硅配方合成及生产工艺技术

发布时间:2023-08-20   作者:admin   浏览次数:76

1、一种监控调配三氯氢硅氢还原多晶硅生长方法
 [简介]:本技术提供了一种监控调配三氯氢硅氢还原多晶硅生长方法,具体步骤如下:S1、将二氯二氢硅送入汽化器进行系统压力下的饱和汽化工作处理,通过管道将其输送至过热器达到系统压力下的过热状态;S2、随后将符合高纯多晶硅制备等级要求的氢气、三氯氢硅与加热汽化好的二氯二氢硅同步输送至混合器中,进行充分混合工作;S3、混合完毕的材料注入还原炉,经过复杂的还原反应之后,从底部排出对应的尾气料。本技术提供了一种实际生产环境下可行的工业化控制方案,通过对三氯氢硅氢还原反应,同步的调控二氯二氢硅、三氯氢硅、氢气在原料反应气中的比例获得稳定高效的三氯氢硅一次转化率和沉积速率,稳定控制13%‑15%。
2、三氯氢硅的提纯方法及多晶硅
 [简介]:本技术提供了一种三氯氢硅的提纯方法及多晶硅,将三氯氢硅混料通入反应器中,所述三氯氢硅混料包括三氯氢硅和杂质,所述杂质包括二甲基氯硅烷和甲基二氯硅烷中的至少之一,所述反应器中放置有催化剂;将反应器加热至反应温度反应预定时间,使得所述二甲基氯硅烷和/或所述甲基二氯硅烷转化为三甲基氯硅烷,得到反应产物;对所述反应产物进行精馏处理,将所述三甲基氯硅烷去除,得到所述三氯氢硅。该方法不仅生产效率高,成本低,并且可以显著提高三氯氢硅提纯率,最终可得到高纯多晶硅产品。
3、循环生产三氯氢硅的工艺方法
 [简介]:本技术提供一种循环生产三氯氢硅的工艺方法,涉及精细化工技术领域。本技术制备三氯氢硅所采用的氯化氢为含氯硅烷醇解酯化反应的副产物氯化氢气体,副产物氯化氢气体经过喷淋净化后,在特定的流化温度和压差下与硅粉反应,反应后的合成气体经过除尘、冷凝,得到高含量的三氯氢硅粗品和尾气,尾气中氯化氢含量低。本技术使氯元素在生产中得到有效的循环使用,节约能耗,可以降低生产成本,减少环境污染,实现绿色生产。
4、一种三氯氢硅反应精馏生产高纯硅烷的方法
 [简介]:本技术提供了一种三氯氢硅歧化反应精馏制备高纯硅烷的工艺,以三氯氢硅为原料,利用反应精馏技术,经过歧化反应精馏、多级冷凝分离、粗硅烷泵的提压、精馏分离提纯制备高纯硅烷。所述方法能够满足了万吨以上硅烷产量的要求,所述方法合理利用冷源,利用多级冷凝系统进行多次冷凝换热,冷源品位逐步升高,被冷却的粗硅烷流量逐步减少,纯度逐步增加,使低温温度的高品位冷源功率达到最小值,能源利用率得到了提高。
5、一种用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化剂组合物
 [简介]:本技术涉及多晶硅生产工艺技术领域,具体涉及一种用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化剂组合物。本技术采用CuCl作为四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的基础催化剂,将不同金属氯化物与硅粉进行混合用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化反应,解决了单纯使用CuCl作为催化剂所存在的转化率低、易流失等问题。本技术所提供的催化剂组合物不需要前处理也不需要活化。具有制备过程简单,而且无耗能,不需要多余的原料等优势。显著提高了冷氢化反应中四氯化硅的转化率。
6、一种四氯化硅合成三氯氢硅的方法
 [简介]:本技术提供了一种四氯化硅合成三氯氢硅的方法,属于三氯氢硅制备技术领域。所述方法包括如下步骤:在固定床中,四氯化硅与氢气在催化剂的作用下反应,即得三氯氢硅。其中,所述催化剂的制备包括凹凸棒土载体的制备、混合载体的制备、负载Ni、负载Ba等主要步骤。本技术选用耐高温的凹凸棒土和HZSM‑5进行复配作为催化剂的基本载体;其中,凹凸棒土在使用前进行了高温条件下的碱性熔融活化,形成了丰富的孔道结构,有利于后续的组分的负载;改性凹凸棒土和HZSM‑5采用直接混合焙烧,方法简单、易于操作;二者混合使用形成的孔隙丰富的复合载体为活性组分及助剂组分的稳定负载提供了良好的基础,保证了催化剂的高活性、高选择性和高稳定性。
7、一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺
 [简介]:本技术属于多晶硅工业生产技术领域,提供一种多晶硅生产过程中的三氯氢硅提纯工艺。所述工艺包括:脱轻:将来自冷氢化工段的液相粗氯硅烷通入脱轻塔得到液相粗三氯氢硅;络合吸附:将液相粗三氯氢硅通入络合吸附装置,对部分金属杂质及B、P非金属杂质进行络合吸附;粗馏:将络合吸附后得到的液相粗三氯氢硅通入粗馏单元,除去金属杂质及B、P非金属杂质、高低沸物,得到初级提纯的三氯氢硅液;CPS吸附:将初级提纯的三氯氢硅液通入CPS吸附装置,进一步除去杂质;精馏:将CPS吸附后的液相三氯氢硅通入精馏单元,得到高纯度三氯氢硅液。本技术将络合吸附、CPS吸附和精馏工艺优化结合,能有效降低三氯氢硅中的B、P等杂质,并降低精馏成本。
8、一种三氯氢硅中硼杂质的清除方法
 [简介]:本技术涉及三氯氢硅的提纯技术领域,具体涉及一种三氯氢硅中硼杂质的清除方法。本技术提供了一种三氯氢硅中硼杂质的清除方法。相比活性炭及商品树脂等常规吸附剂,本技术所用的氮掺杂碳材料不仅具有比表面积大,孔隙结构发达等特点,并且其在高温改性后具有较好的热稳定性,所引入的氮能增强碳材料对硼杂质的选择性,显著提高对硼杂质的吸附效果。技术人首次发现并验证当氮形态为吡啶氮时,其具有较好的硼杂质吸附效果。本技术所提供的三氯氢硅中硼杂质的清除方法操作简单,成本较低,适合工业化推广。
9、一种三氯氢硅生产残液处理方法
 [简介]:本技术提供了一种三氯氢硅生产残液处理方法,涉及三氯氢硅生产设备技术领域。本技术具体包括以下处理步骤:S1、渣浆收集;S2、渣浆输入;S3、薄膜蒸发;S4、气体回收;S5、固体回收。本技术通过利用加热管、加热套和热交换器膜蒸发器主体的送热管通过热交换器与生产设备中的还原炉的热力系统管连接,进而达到废热资源在利用的目的,将该部分废热输入到加热套的内部,废热不但用于薄膜蒸发器主体的预热工作和主体加热蒸发工作,过高废渣浆输入到预存箱内,高废渣浆也可通过预存箱输入到薄膜蒸发器主体的放液管中,并且预存箱内设置有泵机,通过泵机可达到调节渣浆的输送快慢效果,放液管呈U型结构,可避免渣浆堆积在管道内使其堵塞现象发生。
10、一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法
 [简介]:本技术涉及一种用于三氯氢硅吸附除杂的活性炭吸附方法,其包括:吸附柱壳体,所述吸附柱壳体的顶部和底部均为封闭状;所述吸附柱壳体的外壁缠绕有外盘管;所述吸附柱壳体的上部设有吸附剂进口;所述吸附柱壳体底部设置吸附剂卸放口,所述吸附剂卸放口上连接有吸附剂卸放管,所述吸附柱壳体的下部设有进料管式分布器,所述吸附柱壳体的上部设有出料管式分布器,所述吸附柱壳体的上部设有尾气出口过滤管;本技术通过管式分布器与过滤帽的结合,代替原有支撑板过滤结构,同时对吸附剂卸放结构进行优化,具有安全性高、拆卸容易、液体分布均匀和拦截效率高优点。
11、一种四氯化硅加氢制备三氯氢硅的方法
12、一种分离三氯氢硅中一甲基二氯硅烷杂质的方法
13、一种三氯氢硅的精馏工艺
14、一种提高三氯氢硅品质的方法
15、一种三氯氢硅差压耦合精馏工艺及动态控制方案
16、一种三氯氢硅的配方技术
17、三氯氢硅生产工艺中提高四氯化硅转化率的方法
18、一种同时生产电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅的方法
19、判断精三氯氢硅质量下滑时间的方法
20、一种三氯氢硅生产方法及其应用
21、一种三氯氢硅中分离重金属的方法
22、提纯三氯氢硅的方法
23、提纯三氯氢硅的方法
24、一种四氯化硅加氢制备三氯氢硅催化剂及其配方技术
25、一种转化四氯化硅制取三氯氢硅和多晶硅的方法
26、一种反歧化法制备三氯氢硅的工艺
27、一种三氯氢硅的配方技术
28、一种制备三氯氢硅的树脂催化剂的活化方法
29、一种制备电子级三氯氢硅的方法
30、一种三氯氢硅精制材料的配方技术
31、一种四氯化硅加氢制备三氯氢硅催化剂的配方技术
32、一种四氯化硅加氢制备三氯氢硅催化剂及其配方技术
33、一种四氯化硅氢化工艺和三氯氢硅制备高纯硅工艺
34、一种提高三氯氢硅选择性的方法
35、用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化剂及其配方技术
36、一种三氯氢硅提纯用纯化助剂的配方技术
37、一种制备三氯氢硅的方法
38、一种提高冷氢化生产三氯氢硅转化率的生产工艺
39、硅氢氯化法生产三氯氢硅的催化剂、其配方技术及其催化生产三氯氢硅的方法
40、一种三氯氢硅提纯用吸附剂的配方技术
41、一种四氯化硅氢化制备三氯氢硅的方法
42、一种冷氢化制备三氯氢硅的方法
43、一种三氯氢硅中ppb级硼和磷元素杂质的吸附除杂工艺
44、一种反歧化法制备三氯氢硅的工艺
45、一种利用还原提纯三氯氢硅制高品质电子级多晶硅的方法
46、一种四氯化硅加氢脱氯制备三氯氢硅的催化剂的方法
47、一种包括尾气回收精馏处理的三氯氢硅精馏工艺
48、提纯三氯氢硅的方法
49、利用反应精馏生产硅烷及三氯氢硅的方法
50、一种高纯精制三氯氢硅的生产工艺
51、一种四氯化硅制备三氯氢硅的方法
52、一种三氯氢硅的配方技术
53、纯化三氯氢硅的方法
54、一种三氯氢硅中杂质砷的测定方法
55、制备三氯氢硅的方法
56、离子液体中四氯化硅和三氯氢硅的温控转相分离方法
57、一种提高三氯氢硅ICP杂质检测过程中硼、磷富集率的方法
58、一种四氯化硅氢化制备三氯氢硅的方法
59、一种用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化剂及其配方技术
60、一种制备三氯氢硅的工艺
61、采用三氯氢硅和二氯二氢硅混合原料生产多晶硅的方法
62、四氯化硅氢化制备三氯氢硅的方法
63、一种三氯氢硅精制方法
64、三氯氢硅合成气的除尘方法
65、一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法
66、一种三氯氢硅合成尾气的处理方法
67、一种三氯氢硅合成气的处理方法
68、一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法
69、一种改进的低压合成工艺制备三氯氢硅的方法
70、一种四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的方法
71、一种二氯二氢硅反歧化生产三氯氢硅工艺
72、三氯氢硅红外透过光谱分析制样方法及其制样样品池
73、一种用于催化氢化四氯化硅制备三氯氢硅的复合催化剂
74、一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔
75、适用于三氯氢硅合成的HCl脱水纯化方法
76、利用光伏晶体硅加工废砂浆生产三氯氢硅方法
77、由多晶硅副产物三氯氢硅制备苯基三氯硅烷的方法
78、一种处理三氯氢硅合成过程产生的废弃硅粉的方法
79、三氯氢硅汽化工艺
80、四氯化硅转化三氯氢硅的方法
81、一种多晶硅生产中的三氯氢硅生产方法
82、用于多晶硅生产中三氯氢硅合成气的湿法除尘工艺
83、一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
84、一种稳定调节三氯氢硅纯度的控制方法
85、一种四氯化硅转化生产三氯氢硅的方法
86、一种利用循环热对三氯氢硅进行精馏提纯的方法
87、一种高纯度三氯氢硅的提纯方法
88、一种从三氯氢硅尾气中回收氢气的方法
89、一种三氯氢硅的合成工艺
90、三氯氢硅和四氯化硅的精馏方法
91、一种三氯氢硅的精馏方法
92、一种三氯氢硅生产过程中废硅粉的回收利用方法
93、一种三氯氢硅精馏工艺
94、一种生产三氯氢硅的方法
95、三氯氢硅尾气绿色环保回收利用方法
96、一种连续投加硅粉生产三氯氢硅的方法
97、四氯化硅氢化制三氯氢硅的催化剂及其配方技术
98、一种三氯氢硅的生产方法
99、一种从三氯氢硅尾气中回收氯化氢的方法
10-0、去除三氯氢硅中硼杂质的方法
10-1、一种三氯氢硅制备硅烷的方法
10-2、一种三氯氢硅生产过程中硅粉干燥及加料的方法
10-3、一种四氯化硅中三氯氢硅杂质的去除方法
10-4、一种三氯氢硅的精制方法
10-5、一种三氯氢硅生产尾气粉尘处理的方法
 
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