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硅片线切割生产工艺技术及加工方法

发布时间:2020-08-25   作者:admin   浏览次数:123

1 金刚线切割硅片制绒返工方法 
   简介:本技术提供了一种金刚线切割硅片制绒返工方法,将制程不良硅片置于酸/碱溶液中进行多次化学反应,对返工片进行二次制绒,再将硅片依次经过扩散、湿法切边、去PSG、PECVD镀膜、丝网印刷、烧结和筛选步骤制成成品。本技术对制绒原液进行调整,能够使得返工硅片的刻蚀深度控制在0.35μm左右,并且控制硅片表面反射率在25%以下。
2 一种金刚线切割单晶硅片的倒金字塔结构制绒方法 
   简介:本技术涉及太阳能电池技术领域,且提供了一种金刚线切割单晶硅片的倒金字塔结构制绒方法,包括以下步骤;S1、将金刚线切割单晶硅片浸入包括氢氟酸、双氧水、氟化钠和含银离子添加剂混合水溶液中,反应温度为40‑45℃,反应时间为6‑8min。该金刚线切割单晶硅片的倒金字塔结构制绒方法,具备能够降低硅片绒面结构的反射率低,提升光电转换效率,且硅片不需要酸或碱溶液的预处理,减少制绒工艺步骤,节省化学品用量,节省制绒总体时间,提升硅片加工的效率,以及采用化学处理方法对洗脱溶液中的贵金属进行回收,循环利用在制绒环节中,极大减少对贵金属的消耗量,不仅降低重金属对环境的污染,还可显著降低生产成本等优点。
3 游离-固结复合磨料多线切割硅片的方法及设备 
   简介:游离‑固结复合磨料多线切割硅片的方法及设备,属于半导体材料加工技术领域,解决了硅晶体切片存在的问题,游离‑固结复合磨料多线切割硅片的方法包含采用固结磨料多线切割的方法对硅晶锭进行锯切,同时将含有悬浮金刚石磨粒的研磨液喷洒到切割区域;表面固结金刚石磨粒的金属丝在走丝过程中将含有悬浮金刚石磨粒的研磨液带入硅晶锭的切缝中,形成游离磨粒和固结磨粒共同作用,共同对硅晶锭进行锯切,在一次加工过程中将硅晶锭切割成数片;游离‑固结复合磨料多线切割硅片的设备包含游离磨料多线切割设备,在游离磨料多线切割设备的全部金属丝表面固结金刚石磨粒;本技术用于切割硅片。
4 一种LED用单晶硅片线切割装置 
   简介:本技术提供了一种LED用单晶硅片线切割装置,包括带支脚的工作台,工作台上位于其两侧处设有安装架,安装架的内部横向安装有由电机驱动的导向轮组件,导向轮组件上设有多根切割线,导向轮组件的上方设有固定于安装架上的砂浆喷洒组件,砂浆喷洒组件的顶部设有与其连通的砂浆供给组件,导向轮组件的下方设有滑动连接于工作台上的且由气缸驱动的上料组件,上料组件的的顶部卡接有单晶硅块夹紧机构;本技术由于箱体的内部设有搅拌器,在切割的过程中电机通过皮带轮a、皮带轮b以及皮带的传动作用达到对砂浆搅拌的目的,避免砂浆沉底,由于设有多根切割线和多组夹紧组件,可以同时对多块单晶硅块进行多片切割,切割效率高,上下料方便。
5 金刚线切割硅片的方法 
   简介:本技术涉及一种金刚线切割硅片的方法,包括以下步骤:将粘附有硅块的晶托安装于金刚线线网上方的工作台上;下压工作台,同时导轮带动金刚线运动,对硅块进行切割。技术效果:将往复运动过程中的金刚线的线速度和加速度进行了优化调整,能够减少金刚线的加减速次数,减少金刚线停滞带来的负荷增加,同时,为了保证加减速过程更加平缓,保证稳定性,适当地降低了加速度。通过优化金刚线的线速度和加速度,减少了金刚线的加工时间,从而减少了金刚线停留于硅块和导轮的时间,减少了金刚线在此过程中产生的磨损和形变。
6 一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及应用 
   简介:本技术提供了一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及应用,所述添加剂的组分包括第一添加剂、第二添加剂、第三添加剂、第四添加剂中的一种或多种组合;第一添加剂为聚乙二醇溶液(质量分数为0.5~5%)、聚乙烯醇溶液(质量分数为0.5~5%)和十二烷基苯磺酸溶液(质量分数为0.5~5%)的混合溶液;第二添加剂为亚硝酸钠溶液(质量分数为5~10%);第三添加剂为磷酸溶液(体积分数为5~10%);第四添加剂为冰乙酸溶液(体积分数为5~10%)。本技术通过向酸性腐蚀液中添加添加剂,能够控制反应速率、降低多晶硅片与腐蚀液之间的张力、增加润湿性,使腐蚀液更均匀的附着于多晶硅片表面,通过腐蚀获得形貌优良的制绒绒面,绒面腐蚀坑大小在200~500nm之间。
7 金刚线切割多晶硅片制绒调控剂及含该调控剂的制绒剂 
   简介:本技术提供了一种金刚线切割多晶硅片制绒调控剂,按质量百分计包括以下组分:成膜剂0.01%‑1%、酸性物质0.01%‑1%、润湿剂0.1%‑1%,余量为去离子水。本技术还提供了一种包含该制绒调控剂的制绒剂。本技术的调控剂应用于制绒剂中,在金刚线切割多晶硅片进行制绒的过程中,能够调节其中的酸与硅的反应,形成硅片微孔结构,使得多晶硅片不仅具有分布均匀的微孔结构,而且微孔大小均一,没有连孔、深孔,形成的这种结构可以降低对光的反射率,提高对光的吸收率;且该调控剂的配制工艺简单,原料廉价易得,不含对环境有害的物质,是一种绿色环保产品。
8 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法 
   简介:本技术提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法,进一步完善了利用湿法蚀刻制备黑硅的工艺,在制备黑硅时选用Fe2+离子,而非传统湿法蚀刻工艺中所用的金、铂或银等贵金属,制备成本明显降低;使用Fe2+相比于使用金、铂或银等贵金属也不会造成严重的环境污染;制备的黑硅反射率低,性能稳定;该方法为提高晶体硅太阳能电池效率和降低生产成本提供了一条新路径,具有良好的经济效应。
9 一种金刚线切割多晶硅片的制绒装置 
   简介:本技术涉及一种便于控制酸蒸汽温度和衬底初始温度的金刚线切割多晶硅片的制绒装置。该装置包括一个保温腔室的温度控制装置、一个产生稳定蒸汽的腐蚀液腔室、一个硅片的保温腔室和一个废蒸汽以及腐蚀副产物的处理与收集装置。保温腔室外面的加热装置为水浴或者油浴。腐蚀液蒸汽腔室与衬底保温腔室由可移动的密封盖隔离,废蒸汽与反应副产物回收装置与衬底保温腔室由导气管连接,温度控制装置的热电偶置于衬底保温腔室中。本技术主要是通过温度控制装置可以有效地控制硅片腐蚀之前的初始温度,而调节硅片距离蒸气腔室口的高度和蒸汽腔室温度,可更有效地控制硅片的腐蚀速率。本制绒装置操作简单,容易控制反应状态,在去除金刚线切割多晶硅片表面线痕的同时,可获得较低的反射率,有很好的应用价值。
10 一种钻石线切割半导体硅片的工艺 
   简介:本技术提供了一种钻石线切割半导体硅片的工艺,采用钻石线设备对半导体硅片进行切割,在切割过程中,工作台下降速度为1.5‑2.5mm/min,钻石线切割线速为1100‑1400m/min,冷却液流量调节为80‑100L/min,冷却液温度为23‑28℃,钢线单片供线量为0.4‑1.5m/片。本技术所述的钻石线切割半导体硅片的工艺,具有单位公斤出片数提升、产能扩大大等优势,可有效降低现有半导体切磨片、抛光片成本,为大尺寸抛光片产品降本计划奠定有力基础。
11 一种金刚线切割硅片预处理设备
12 一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒添加剂及其应用
13 一种单晶硅片用线切割机切削液供给装置
14 一种单晶硅片用线切割机清洗装置
15 一种用金刚线切割硅片废硅粉制备多孔硅的方法
16 硅片多线切割机
17 一种晶硅片金刚线切割废料回收的方法
18 一种金刚线切割硅片冷却液及其配方技术和应用
19 金刚线切割多晶硅片的制绒挖孔添加剂、制绒沉银挖孔液、硅片以及太阳能电池
20 一种太阳能级硅片用金刚石线切割机
21 一种60μm金刚线切割180μm厚度单晶硅片的工艺
22 硅片线切割方法
23 金刚线切割硅片废料回收用于锂离子电池负极材料制备的方法
24 一种采用金刚线切割的硅片脱胶药液配置系统
25 一种具有类倒棱台绒面结构的金刚线切割多晶硅片及其制绒方法
26 一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液
27 一种利用金刚线切割硅片的方法
28 一种金刚线切割多晶硅片制绒工艺
29 一种金刚线切割多晶硅片制绒抛光调控剂
30 一种用于金刚线切割多晶硅片太阳能电池的制绒方法
31 太阳能硅片用金刚石多线切割机
32 金刚线切割硅片断线入刀方法
33 低表面反射率金刚线切割多晶硅片绒面的配方技术
34 一种用于金刚线切割多晶硅片制绒的添加剂及方法
35 用于金刚线切割硅片太阳能电池正面银浆料及其配方技术
36 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
37 一种金刚线切割多晶硅片的预制绒方法
38 一种减小硅片多线切割时硅片翘曲的方法
39 金刚线切割单晶硅片专用碱制绒添加剂及其使用方法
40 金刚线切割多晶硅片专用酸制绒添加剂及其使用方法
41 金刚线切割硅片用树脂板及脱胶处理方法
42 金刚线切割多晶硅片的装置及切割方法
43 一种用于硅片的单组份金刚线切割液
44 一种金刚线切割硅片用扩孔槽的槽体
45 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
46 一种基于金刚线切割硅片的制绒工艺
47 金刚线切割硅片的冷却液及降低发热量的切割工艺
48 硅片线切割机
49 一种降低金刚线切割的多晶硅片反射率的金属催化制绒方法
50 一种金刚线切割后的硅片清洗方法
51 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法以及电池片制备工艺
52 金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及应用
53 一种电镀金刚线切割硅片的方法
54 一种太阳能硅片线切割废砂浆铁粉在线回收装置
55 一种用多线切割机二次切割硅片的水平测量方法及工装
56 一种金刚石线切割硅片的表面处理装置及表面处理方法
57 一种硅片线切割的切割头
58 一种硅片线切割机
59 一种金刚线切割的晶体硅片的清洗方法
60 金刚线切割的晶体硅片的脱胶方法及使用的超声水槽
61 一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置
62 一种用于金刚线切割硅片过程中弓线检测的装置
63 一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂
64 一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及制绒方法
65 一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除方法
66 一种湿法去除金刚石线切割多晶硅片表面线痕的方法
67 硅片多线切割机
68 用于金刚线切割单晶硅片制绒的添加剂及其应用方法
69 硅片多线切割后的脱胶工装
70 一种硅片线切割废砂浆中去除硅和二氧化硅装置
71 一种超细钢线切割超薄硅片的方法
72 一种电镀线切割硅片用主导线辊
73 金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺
74 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
75 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
76 一种金刚线切割的多晶硅片的制绒方法
77 一种金刚线切割的多晶硅片的制绒方法
78 金刚线切割硅片废切割浆液中硅料的回收方法
79 一种用于金刚石线切割硅片的冷却液
80 一种用于金刚砂线切割硅片的水性切割液
81 一种单面制绒的金刚线切割多晶硅片及其制绒方法
82 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
83 一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺
84 一种硅片线切割废砂浆分离用组合式旋流器
85 一种多线切割机硅片分切模具
86 硅片多线切割机金刚线切割液
87 基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法
88 基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液
89 金刚石线切割硅片的表面处理方法及制绒方法
90 一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用
91 一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用
92 一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用
93 一种应用低颗粒电镀金刚线切割硅片的方法
94 一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法
95 一种用于光伏硅片多线切割的托板
96 一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法
97 一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液
98 一种硅片带电多线切割方法及带电多线切割装置
99 一种硅片多线切割方法
100 一种用于金刚线切割太阳能硅片的冷却液
101 一种太阳能硅片线切割钢线及其制作方法
102 金刚线切割多晶硅片的电池的制作方法
103 一种硅片线切割用水基切削液及其配方技术
104 一种太阳能硅片线切割槽轮
105 一种防止线切割钢丝断裂提高硅片得片率的方法
106 表面无金属镀层硅片的电火花线切割法
107 用于硅片多线切割机的绕线轮滑轨装置
108 线切割机用硅片收集装置
109 一种硅片多线切割方法
110 一种硅片多线切割机及其供电电路
111 一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及使用方法
112 一种用于金刚线切割太阳能硅片的冷却液
113 硅片多线切割机金刚线切割液系统
114 一种金刚线切割硅片的清洗方法
115 降低多线切割硅片损伤层的方法
116 一种多线切割硅片的进刀方法
117 一种硅片线切割方法
118 双导向辊式硅片线切割系统
119 一种硅片线切割机作业管理系统
120 设有均匀喷浆装置的硅片线切割设备
121 一种基于金刚线切割的单晶硅片的湿法制绒方法
122 固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法
123 一种硅片多线切割机装卸料装置
124 一种硅片多线切割张力控制系统及控制方法
125 一种硅片多线切割断线检测的方法
126 一种使用金刚石线切割的太阳能级多晶硅片的方法
127 一种回收硅片多线切割过程中产生的废浆料的方法
128 一种超薄单晶硅片和制作该硅片的线切割装置及切割方法
129 用于太阳能硅片线切割的等粘度砂浆切割方法及装置
130 改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的方法及装置
131 单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶方法及其装置
132 一种用于硅片的水基型线切割液
133 一种太阳能硅片线切割钢线
134 太阳能硅片线切割导辊专用镀膜机和电镀机
135 太阳能硅片线切割钢线的制备装置与方法
136 太阳能硅片线切割导辊及制作方法与专用镀膜机和电镀机
137 一种金刚线切割硅片的制绒方法
138 一种金刚线切割硅片的清洗方法
139 硅片线切割断线抢救方法
140 用于太阳能硅片线切割的等密度砂浆切割方法
141 太阳能硅片线切割的等密度切割砂浆及其制造方法
142 一种多线切割硅片的工艺
143 太阳能硅片线切割耐磨钢线的制作方法
144 硅片清洗烘干器及多线切割中的断线硅片清洗烘干方法
145 太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺
146 一种使用直径0.1mm钢线切割硅片的工艺
147 一种使用直径0.11mm钢线切割硅片的工艺
148 一种用于多线切割后硅片的预冲洗方法
149 从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法
150 一种用硅片线切割后的废弃碳化硅/硅微粉来制作耐磨抗静电地坪涂料的方法
151 一种用太阳能硅片线切割后废弃的碳化硅/硅微粉来制作复合防静电耐磨陶瓷的方法
152 一种用太阳能硅片线切割后废弃碳化硅微粉来制作耐磨共聚树脂的方法
153 一种新太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法
154 硅片线切割废砂浆的分离再生生产工艺
155 太阳能硅片的线切割湿碳化硅砂料的制作方法
156 用于太阳能硅片线切割的湿碳化硅砂料
157 一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法
158 硅片的磨削/电解复合多线切割加工方法
159 一种硅片线切割机
160 硅片线切割机的切割总成
161 一种用于太阳电池硅片加工的多线切割工艺组合
162 一种用于太阳能硅片的线切割液
163 一种对硅片进行气体线切割的装置
164 多线切割硅片的废旧料浆回收方法
165 硅片线切割方法及其装置
166 用多线切割机将多个薄硅片沿径向一次性分切的方法
 
  以上为本套技术的目录及部分简要介绍,完整内容都包括具体的配方配比和生产工艺制作过程。收费260元,购买或咨询更多相关技术内容可联系:微信/电话:13510921263
 



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