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硅片线切割生产工艺技术

发布时间:2019-11-07   作者:admin   浏览次数:123

1、硅片线切割装置
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割装置,主要包括开有线槽的导轮,缠绕在导轮上的钢丝线网,主要特征是所述导轮上的开槽槽距为不相等的开槽槽距,该不相等的开槽槽距是自钢线缠绕导轮开始,沿导轮的长度方向上依次减小。该减小的开槽槽距与钢线在切割过程中的磨损相适应,由于槽距减小,在现有导轮开槽长度不变的条件下,增加了线槽的数量,相应地绕在导轮上的钢丝线网加密,使一刀一次切割硅片的数量增加,经济效益显著。
2、硅片线切割机
   [简介]:本技术涉及一种硅片线切割机,硅片线切割机包括升降机构和至少两根工作辊,升降机构底面用于固定硅棒,工作辊表面绕有钢线,钢线的直径为120??121um,工作辊能够转动带动钢线对硅棒进行切割。本申请的硅片线切割机,使用上述的硅片线切割机对硅棒进行切割。钢线的直径为120??121um,在切割同样片厚的硅片的情况下,切割效率可达到10330片/天,比直径为130um普通钢线切割效率高出216片/天,需要的导轮槽距为345um,比直径为130um普通钢线需要的导轮槽距小,降低了硅料的损耗。
3、硅片多线切割机
   [简介]:本技术涉及一种硅片多线切割机。其包括:机架;导轮组件,固定于机架上,导轮组件包括成对设置的若干组导轮;晶托组件,位于至少一对导轮的中间外侧;线网,环绕在成对设置的若干组导轮上;以及减振装置,位于导轮之间,减振装置包括辊筒结构和用以支撑辊筒结构的支撑结构,辊筒结构与线网相抵接,支撑结构与机架固定连接;其中,晶托组件和减振装置分别安装在线网的两侧。上述硅片多线切割机,一方面,缩短了线网的支点距离,使得线网的振幅变小,从而降低线网从导轮槽中跳出的几率,解决因跳线造成断线的问题;另一方面,线网的线弓相应变小,能够提高线网的切割效率,从而提高了生产效率,减小了硅片出刀口崩边的几率,提高产品的良率。
4、硅片线切割机
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割机,包括框架、切割室、线筒室,所述切割室内设有切割头和收放线轮工装,所述线筒室,包括主板、收放线轮单元、分别设于收放线轮下方的两个导线轮工装、与导线轮工装相连的导线轮工装移动座、两个横移架、两个张力臂电机、与张力臂电机相连的张力臂、设于所述张力臂下端的张力臂导向轮,所述横移架水平设置。本技术优化导向轮排布结构,线筒安装方式为卧式安装,卧式安装排线负荷均匀,导轮数量减少,导线轮个数减少先增大钢线的破断张力,使进入线网的张力波动变小;线筒跳动小,排线更加稳定,张力臂运行时摆臂稳定。本技术有效监测断线,减少断线造成的线网拉空等损失。
5、硅片多线切割机金刚线切割液系统
   [简介]:本技术揭示一种硅片多线切割机金刚线切割液系统,包括设置有切割硅锭的金刚线的切割机、给所述切割机提供切割液的供给装置及回收所述切割机流下来的切割液的回收装置。供给装置包括切削喷嘴、冷却喷嘴、分别控制所述切削喷嘴及所述冷却喷嘴流量的数个供给阀门、与所述供给阀门连接的供给泵及供所述供给泵连接的供给缸。回收装置包括具有沉淀作用的回流缸及与所述供给缸连接的抽取泵。金刚线的一侧设置有冷却喷嘴,冷却喷嘴用供给阀门单独控制,可大流量喷出切割液以起冷却清洗作用,并且回收装置的回流缸具有沉淀切割液中的硅粉的作用以利于再次使用,从而形成一种适合金刚线切割的硅片多线切割机金刚线切割液系统。
6、硅片多线切割机金刚线切割液生产工艺技术
   [简介]:本技术提供一种硅片多线切割机金刚线切割液,所述的硅片多线切割机金刚线切割液通过矿物油、脂肪酸、极压剂、表面活性剂、胺基醇组合而成,所述的矿物油占硅片多线切割机金刚线切割液总体分量的15%-17%,所述的脂肪酸占硅片多线切割机金刚线切割液总体分量的19%-22%,所述的极压剂占硅片多线切割机金刚线切割液总体分量的10%-19%,所述的表面活性剂占硅片多线切割机金刚线切割液总体分量的20%-23%,所述的胺基醇占硅片多线切割机金刚线切割液总体分量的20%-22%。本技术提供一种硅片多线切割机金刚线切割液,具有优异的润滑、冷却、防腐、防锈、抗极压功能等优点。
7、一种硅片线切割机
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割机,包括切割头、进给台、进给台固定架、收放线工装、线筒室和主电机,所述进给台固定于进给台固定架,所述切割头位于所述进给台下方,所述切割头一侧设有收放线工装,所述进给台固定架另一侧设有线筒室。本技术在切割导轮的两侧设置砂浆喷嘴,砂浆在盒子里面装满后,匀速流出,对硅片冲击力不大,位于两侧砂浆也可以在线网上均匀分布;本技术硅片线切割机的切割头,安装孔的中心距缩小了,线网缩小了,更稳定不容易断线,切割质量更高,提高生产效率和硅片的合格率。
8、线切割机硅片收集槽
   [简介]:一种线切割机硅片收集槽,解决了在单晶硅生产过程中将硅棒进行线切割时硅片落入硅片收集槽中会产生相互挤压、重叠,拾取时极易导致硅片破损的问题。它有一个槽体,在槽体两个端面设有扶手,其特殊之处是:在槽体内放置有支架,在支架上部设置有横向隔筋,在支架下部设置有纵向支撑筋。优点是:可防止硅片下落后挤压、重叠,确保捡取时硅片完好无损。
9、硅片多线切割工装
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割工装,包括粘接于工件连接板上的硅锭或硅棒,连接于工件连接板的燕尾座,作为本技术的改进,所述的硅锭或硅棒与线网切割线平行的两侧面均粘结有固定硅锭或硅棒的固定板,所述的固定板上端面连接于工件连接板上。本技术在粘接于工件连接板上硅锭或硅棒的两侧面粘接设置连接固定板,固定板顶端面固定连接于工件连接板,两固定板支撑加强硅锭或硅棒两侧面产生的硅片,有益效果是两固定板克服硅片的重力和缓冲线网的跳动力,有效防止硅片产生断片。
10、用于硅片的多线切割机
   [简介]:本技术提供了一种可以提高硅片切割质量的用于硅片的多线切割机。该多线切割机包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线,砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通,热交换器的出口连接有第二砂浆管,第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置在切割过程中,砂浆沿砂浆供给管进入盒体内并将其注满,砂浆继续供给会沿侧板的边缘溢出至切割箱内,由于金属线与压辊的接触点与底板之间的距离小于侧板的高度,因此,金属线会被压辊压入盒体内的砂浆中,这种浸入式的砂浆供给装置可以使得金属线表面沾满砂浆并实现均匀的附着,可以大大提高硅片的切割质量。适合在切割设备领域推广应用。
11、新型硅片线切割设备
   [简介]:本技术提供了一种新型硅片线切割设备,其包括线切割设备主体,其还包括砂浆补给装置,在线切割设备主体的工作台上方设有砂浆补给装置,砂浆补给装置的进料口与线切割设备主体的砂浆桶通过砂浆管路连通,在砂浆管路上设有循环泵;砂浆补给装置的喷头设置在线切割设备主体的出线位置。本技术的优点:在线切割设备主体上加装砂浆补给装置,利用设备的砂浆桶为砂浆补给装置提供砂浆,可以对砂浆进行回收利用;在出线端喷射砂浆将会加大砂浆颗粒参与度,减小片厚,进而降低出线端与进线端的片厚差值,保证产品质量。
12、太阳能硅片线切割槽轮
   [简介]:本技术涉及太阳能硅片加工设备,尤其涉及一种太阳能硅片线切割槽轮。本设计设有相同数量布线槽的左槽轮和右槽轮,左槽轮和右槽轮的布线槽的槽距不相等,右槽轮的布线槽的槽距小于左槽轮的布线槽的槽距,且右槽轮两端的第一个布线槽的位置至右槽轮端面的距离大于左槽轮两端的第一个布线槽的位置至左槽轮端面的距离,使布线后槽轮上的钢线线网形状呈等腰梯形。采用本设计,有效解决了硅片进线侧薄、出线侧厚的情况,根除了单向切割太阳能硅片厚度差异问题,确保硅片的厚度呈均匀分布,从而提高了硅片的质量。
13、一种硅片线切割机
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割机,包括切割头、进给台、进给台固定架、收放线工装、线筒室和主电机,所述进给台固定于进给台固定架,所述切割头位于所述进给台下方,所述切割头一侧设有收放线工装,所述进给台固定架另一侧设有线筒室。本技术在切割导轮的两侧设置砂浆喷嘴,砂浆在盒子里面装满后,匀速流出,对硅片冲击力不大,位于两侧砂浆也可以在线网上均匀分布;本技术硅片线切割机的切割头,安装孔的中心距缩小了,线网缩小了,更稳定不容易断线,切割质量更高,提高生产效率和硅片的合格率。
14、一种硅片线切割方法
   [简介]:本技术涉及一种硅片线切割方法。本方法采用上端面为斜面的金属底座,在斜面上粘接玻璃料板,再将硅棒粘接到玻璃料板上,形成粘接胶层,并保证粘接胶层厚度均匀;将粘接后的金属底座、玻璃料板和硅棒整体倒转过来,吊挂至切割设备的相应位置,吊挂时,根据线弓存在的位置和方向,将硅棒倾斜端置于内侧,然后下压金属底座使硅棒缓慢下降,通过钢线线网携带切割砂浆高速单向水平拉动,从而实现对硅棒的切割。通过将切割硅棒倾斜放置,有效避免了由于较大线弓的存在,使得钢线同时切割三种介质的现象发生,解决了钢线先进入粘接胶层或玻璃料板,后进入硅
15、一种硅片多线切割方法
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割方法,其包括以下步骤:1)将待切割的硅块安装于切割钢线的上方,并使至少一块所述硅块的入刀面相对于所述切割钢线倾斜设置以保证所述入刀面与所述切割钢线具有锐角夹角,且所述入刀面位于所述切割钢线行进方向下游的棱线部位首先与所述切割钢线接触;2)所述切割钢线对所述硅块进行切割。本技术提供的硅片多线切割方法其在减小对硅块出刀切割不良影响的同时,也不会对入刀切割造成影响,进而提高了硅块的切割质量。
16、一种硅片线切割机
   [简介]:一种硅片线切割机,包括支撑平台、夹紧装置、升降装置、切割总成和冷却系统构成,夹紧装置设置在支撑平台上,在夹紧装置上方设有切割总成,切割总成设置在升降装置上,所述的升降装置通过下端设置的液压油缸驱动,本技术其切割效率高,该机切割辊轮挂线999根以上,一次可同时切1000片;每批次所需切割时间仅为10~15分钟(含放、取料时间),切割效率是目前主流机型切割效率的数十倍;所切片数是目前所用线切割机的200%;切割后的硅片质量较好,而且在生产过程环保、能耗低,而且使得产品质量和精度均得到提升。
17、一种硅片多线切割方法
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割方法,其中,切割钢线通过高速运动,使附着在切割钢线上的切割刃料以平稳的切割力场作用于待切割的硅锭或硅块的表面,硅锭或硅块从上至下运动对切割钢线产生压力,使切割刃料被压入硅锭或硅块的表面,对硅锭或硅块进行切割,在切割过程中,通过使硅锭或硅块从上至下运动的同时产生周期性的上下方向的相对振动,使附着在切割钢线上的切割刃料和硅锭或硅块发生间断性地接触,使切割钢线上的切割刃料和硅锭或硅块之间的空间和作用力发生周期性的变化,对硅锭或硅块进行周期性的振动切割。该方法能使切割产生的切割屑及时、有效地从切缝中排出,并增加切割刃料在切缝中的渗透作用。
18、硅片多线切割机的减振装置及硅片多线切割机
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割机的减振装置,包括滚筒结构和位于滚筒结构两侧的支撑结构,滚筒结构包括滚筒轴和包覆在滚筒轴外侧的滚筒,支撑结构包括固定板、支撑件和弹性件,支撑件与固定板转动连接,同时支撑件和滚筒轴相固定,弹性件安装在固定板上,同时与支撑件相抵接。该硅片多线切割机的减振装置在宽轴距的多线切割设备上使用金刚线切割时,支撑件依靠弹性件的弹力保持其与固定板成一定状态,支撑件支撑滚筒,使滚筒与金钢线线网相抵接,使得金刚线在高速运动时产生的一部分振动被弹性件吸收,从而降低金刚线从导轮槽中跳出的几率,解决因跳线造成断线的问题。本技术同时涉及一种硅片多线切割机。
19、硅片线切割机的升降机构
   [简介]:硅片线切割机的升降机构,主要由固定框架、导轨和液压缸组成,两个固定框架相对设置,并通过连接杆连接为一个整体,每个固定框架上均垂直设有导轨槽,每个导轨槽与一个导轨对应,液压缸上的活塞与框架下部连接。升降机构带动线切割总成平稳升降,提高了切割精度和切片质量;利用升降机构和线切割总成自身的重力下降实现切割线对晶体硅棒、锭的切入压力,从而降低了能耗。
20、一种硅片线切割机的夹紧装置
   [简介]:一种硅片线切割机的夹紧装置,涉及线切割机领域,主要由齿轮箱、真空泵和夹紧平台组成,所述的加紧平台其内部呈中空的结构,在其上板面均匀设有多个φ6mm的细孔,在其侧板面设有管嘴通过管道与真空泵连接,在齿轮箱内设有齿轮传动机构和锁紧机构,本技术采用真空夹紧和机械夹紧两种手段相结合,不仅夹紧稳定、锁紧效果好,而且生产过程中物料消耗低、洁净环保,还提高了生产效率近60%。
21、一种硅片线切割机的辊轮支撑机构
   [简介]:一种硅片线切割机的辊轮支撑机构,涉及线切割机领域,主要由固定端板、连接杆、主动辊轮导轨和从动辊轮导轨组成,主动辊轮和从动辊轮设置在固定端板之间,在主动辊轮的一端还设有主动辊轮导轨,在从动辊轮的一端还设有从动辊轮导轨。本技术有效防止主动辊轮和从动辊轮的轴向和径向跳动,为切片的精度提供了保证;采取以上措施使得带有该支撑机构的线切割机切出的产品薄厚误差仅为5μm。
22、硅片线切割机的张紧装置
   [简介]:硅片线切割机的张紧装置,涉及一种硅片线切割机,包括压柄、压柄轴和张紧辊轮,张紧辊轮的两端各设有一个压柄,两个压柄的下端通过压柄轴连接,两个压柄分别通过一个弹性压紧机构与线切割机构的固定框架连接;张紧辊轮由芯轴、橡胶体和挡圈组成,橡胶体敷着在芯轴的圆周面上,橡胶体厚度为8-15mm,邵氏硬度为70-90度;弹性压紧机构由棘轮、棘爪和扭转弹簧组成,棘轮设置在固定框架上,棘轮的棘轮轴上设有扭转弹簧,扭转弹簧的两端分别与棘轮和压柄连接;所述的张紧辊轮设置在压柄上的轴承套内。有益效果是:结构简单,成本低,更换维修方便;切割线有均衡、弹性的张紧力,提高了切割机的切片质量和产品成品率。
23、硅片线切割机辊轮的导轨
   [简介]:硅片线切割机辊轮的导轨,导轨为板状结构,在其一端设有圆弧形的卡口,卡口的弧形边缘设有轨道。在导轨上还设有连接孔,用于导轨的安装固定。所述的卡口为半圆形。所述的轨道,其横断面为V形、燕尾形、矩形或圆弧形。将圆弧形的卡口卡在辊轮的轮轴上,轨道与轮轴上的导轨槽相吻合,即可防止辊轮的轴向位移和径向跳动,从而减小切割线的摆幅,保证切割精度。本技术方案的导轨结构简单、可靠、使用效果好。
24、硅片线切割机的减震与自动张紧装置
   [简介]:硅片线切割机的减震与自动张紧装置,涉及一种硅片线切割机,包括平台、框架和传动带,在辊轮两端的框架上,设有一个电机吊篮,电机吊篮内设有一个电机,电机传动轮与辊轮传动轮间设有传动带,电机设置在一个倾斜的底板上,底板的一端与电机吊篮底板连接,另一端悬空,在电机吊篮的底部设有一个弹性机构,弹性机构中的弹簧轴与底板连接。有益效果:成本低,结构紧凑易安装,减震效果自动张紧功能好,提高了线切割精度。
25、硅片线切割机的切割总成
   [简介]:硅片线切割机的切割总成,主要由主动辊轮、从动辊轮、端板和切割线构成,主动辊轮和从动辊轮由端板支撑,主动辊轮和从动辊轮的圆周上分别设有环形的线槽,主动辊轮和从动辊轮上线槽数相等,且任意两个相邻线槽的间距相等,切割线绕设在主动辊轮和从动辊轮的线槽内,所述的切割线为环状,其数量与主动辊轮的线槽数量相等。设置的数百根环状切割线使抗拉强度的大幅提高,减少了断线几率,保证了设备连续作业的能力;可大大提高线速度,因此也大大提高了切割效率,并且保证了切片精度和质量。
26、一种硅片线切割设备的热交换器
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割设备的热交换器,包括前护板、后护板,所述前护板与后护板之间设有散热片,所述前护板上部设有热水入口和冷水出口,所述前护板下部设有冷水入口和热水出口,所述前后护板之间通过固定螺丝连接,所述冷水入口、热水出口、热水入口和冷水出口上分别设有温度传感器。本技术硅片线切割设备的热交换器,体积小,热交换有效面积大,热交换效率高,便于安装,温度传感器可随时检测进水和出水的温度,便于控制。
27、一种硅片线切割的进给台
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割的进给台,包括进给台固定支架、所述进给台固定支架上设有进给台导轨,所述进给台导轨上端设有传动丝杠,所述传动丝杠与传动皮带轮相连,所述进给台导轨上设有进给台滑块,与所述进给台滑块相连设有升降台,所述升降台下部设有硅块固定支架,所述进给台导轨上部和下部分别设有上限位块和下限位块。本技术进给台为单工位,更好地适应新型切割头,适应高速运转,提高切割效率。
28、一种硅片线切割的张力底板
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割的张力底板,包括底板、所述底板上部平行安装有两个张力臂电机,与所述张力臂电机相连设有张力臂,所述底板下部平行设有两个导向轮支架,所述导向轮支架上设有导向轮,左侧导向轮支架位于左侧张力臂电机的右下方,右侧导向轮支架位于右侧张力臂电机的右下方。本技术优化张力臂安装位置,减少过线轮数量,提高了过线稳定性,明显减少跳线、脱线、断线的发生。
29、一种硅片线切割的切割头
   [简介]:本技术提供了一种硅片线切割的切割头,包括切割头底座、位于切割头底座两端的切割头立柱、砂浆喷嘴、碎片盒,所述切割头立柱上设有两个用于安装切割头轴承箱的轴承的切割头安装孔;所述砂浆喷嘴位于所述切割头立柱中间,两个所述砂浆喷嘴之间位于砂浆喷嘴下方设有碎片盒;所述砂浆喷嘴包括蓄水槽,所述蓄水槽上设有进水口,所述蓄水槽侧面设有出水孔,所述出水孔下面设有倾斜的导流板。本技术在切割导轮的两侧设置砂浆喷嘴,砂浆在盒子里面装满后,匀速流出,对硅片冲击力不大,位于两侧砂浆也可以在线网上均匀分布。切割头安装孔的中心距缩小了,线网缩小了,更稳定不容易断线,切割质量更高,提高生产效率和硅片的合格率。
30、一种新型金刚线切割硅片用绕线轮
   [简介]:本技术提供了一种新型金刚线切割硅片用绕线轮,包括绕线轮主体,所述绕线轮主体外圆周表面关于该绕线轮主体中间位置横截面对称的开设有多个线槽,所述线槽为V型槽,每相邻两个线槽距离相等,由绕线轮主体端部至绕线轮主体中间位置的线槽槽底直径逐渐增大。本技术所述的一种新型金刚线切割硅片用绕线轮中,通过改变线槽槽底直径的方式对线弓作出补偿,来保证线弓高度相同,进而保证了钢线间切割受力均匀,减小硅片厚度等参数上离散度,保证切割质量。
31、一种晶硅片多线切割机的装载机构
   [简介]:本技术涉及一种晶硅片多线切割机的装载机构。包括晶托、两块并列设置金属底板和两块并列设置玻璃板。采用本技术,硅棒分两次装载,更轻便灵活,更符合生产实际需要。
32、车削线切割硅片导轮的驱动定位机构
   [简介]:本技术一种车削线切割硅片导轮的驱动定位机构,包括主轴连接盘、驱动盘和具有定位球面或定位锥面的活动顶尖,所述的主轴连接盘上设有同一轴线的主轴锥孔和锥柄孔,驱动盘安装在主轴连接盘的端面,且驱动盘至少具有两个以上的驱动销,活动顶尖的锥柄安装在驱动盘的锥柄孔内。本技术具有对导轮表面聚氨酯的均匀性指标要求不高,提高生产效率和降低制造成本的特点。
33、一种硅片多线切割机的布线结构
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割机的布线结构,两个工作台独立运动,四个线导轮A、B、C、D分别由四个电机驱动,下线网的左放线轴上的切割线分别绕过滑轮组I、线导轮C、线导轮D后,再绕过滑轮组II后收在左收线轴上;上线网的右放线轴上的切割线分别绕过滑轮组III、线导轮A、线导轮B后,再绕过滑轮组IV后收在右收线轴上。本技术可以使用细切割线,充分利用硅料,降低了硅料的切口损失,且降低了细切割线断线率,减少切割线断裂对硅片切割造成的不良影响,实现提高晶片切割速度的可能,提高切割机的工作效率,降低晶片切割成本,保持晶片较高的成品率及良率。
34、一种超薄单晶硅片线切割装置
   [简介]:本技术涉及一种制作超薄单晶硅片的线切割装置,硅片厚度为180±20μm,所述的线切割装置具有切割线、主动辊和从动辊,主动辊和从动辊上均具有各自独立均布的线槽,线槽与切割线相配合,线槽的槽口宽度为0.31mm-0.32mm,切割线的直径为0.10mm-0.11mm。本技术改进槽口的宽度,实现在布线过程的设置,减小硅片厚度,在单位硅锭上可以产出更多的单晶硅片,提高了产能,同时也减少了损耗。
35、一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置
   [简介]:本技术提供了一种金刚石线切割硅片脱胶新型装置,它包括设置在槽体(1)内底部的加热器(2)、设置在槽体内并装有硅片(9)的工装上支架(10)和工装下支架(4),在工装下支架下部设置有起泡装置,所述起泡装置包括与进气管(7)相连的起泡管(6),在起泡管上间隔设置有起泡孔(5)。本技术通过在脱胶工装中的水槽体内加入起泡装置,使水槽体中产生(适量)的气泡,气泡的流动可以使清洗槽上层的温度和底部保持一致,使得硅片粘胶部分水体温度和水槽底部加热区域温度保持一致。同时由于气泡的冲击作用硅片表面的胶体很容易在外力的带动下脱离。它不仅缩短了硅片脱胶的时间,脱胶时间缩短了10分钟以上,提高了脱胶生产效率。
36、一种硅片多线切割机装卸料装置
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割机装卸料装置,包括本体、滑动块以及定位组件;本体下部设有导向槽,滑动块位于导向槽内沿导向槽滑动,滑动块下部设有导向滑板;所述定位组件位于本体上方,包括连接块、用于定位切割机门的第一定位块以及用于定位装卸料小车支架的第二定位块。通过第一定位块,便于切割机门打开后的位置固定。本技术通过一个滑动机构作为中间体进行装卸料,从而大大减少了晶托的滑动,通过滑动块的预先滑动完成对接后,晶托只要按轨道滑动即可,避免了现有技术利用晶托定位难的缺陷;同时采用定位块设计使得装料过程中的定位更加简单快捷,提高了装料的工作效率。
37、一种太阳能硅片线切割钢线
   [简介]:本技术涉及一种太阳能硅片线切割钢线。该钢线包括金属线及结合在金属线外表面的固体微粒,固体微粒通过非晶态合金结合在金属线外表面。本技术提供的钢线能满足线锯用线材对强度、耐磨性的特殊要求,提高太阳能硅片的切割效率,降低成本。
38、太阳能硅片线切割钢线的制备装置
   [简介]:本技术涉及一种太阳能硅片线切割钢线的制备装置,包括对拉拔后的钢线外表面进行电镀耐磨层的电镀装置以及设置在电镀装置两端的放线机构和收线机构,电镀装置包括立体旋转电镀机构,立体旋转电镀机构包括立体旋转电镀镍或镍钛电极、为立体旋转电镀镍或镍钛电极提供循环电镀液的电镀液稳定循环系统和电镀电源。本技术在电镀时高悬浮电镀液中的碳化硅微粒或金刚石微粒能均匀地360°地围绕钢线进行沉降电镀于钢线表面,能够确保切割钢线长时间连续电镀且镀层均匀一致,满足切片所需的100-400公里以上的线长要求。
39、一种太阳能硅片线切割机专用电源
   [简介]:本技术提供一种太阳能硅片线切割机专用电源,市电供电部分包括交流电源和与交流电源连接的第一可控硅开关电路KG1;三相全桥整流电路的输出与自适应逆变器连接,自适应逆变器的输出与第二可控硅开关电路KG2连接;第一可控硅开关电路KG1和第二可控硅开关电路KG2共同与电源输出端连接;蓄电池通过互锁转换开关分别与三相全桥整流电路的输出和自适应逆变器的输入端连接;后级监控模块的输出与第一可控硅开关电路KG1、第二可控硅开关电路KG2和自适应逆变器的控制端连接;前级监控模块的输出与互锁转换开关的控制端连接;后级监控模块的输入端与采集负载电流的互感器和自适应逆变器的信号端连接;前级监控模块的输入端采集市电供电交流电源信号。
40、硅片多线切割断线检测装置
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割断线检测装置,包括断线检测控制器,所述断线检测控制器分别通过一对电刷与多线切割设备的放线辊和收线辊的转轴电连接,每对电刷在所述转轴的轴向上错开设置。本技术的硅片多线切割断线检测装置位于同一转轴外侧的两个电刷在转轴的轴向上错开设置,减少了旋转轴的磨损。同时电刷采用石墨碳刷,更进一步减少了转轴的磨损,防止了因铜屑聚集电导通而发生误报警停机的情况,同时石墨本身有润滑转轴与电刷接触面的作用。
41、单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶装置
   [简介]:本技术提供了一种单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶装置,包括粘接于连接板上待脱胶的工件硅片,可容纳悬置工件硅片的承载框架,所述的承载框架包括底板、分别设置于前侧面、后侧面与定位工件硅片配合的挡板,所述的前侧面、后侧面的两挡板上设有间隔穿插于工件硅片间的定位插条,所述的连接板悬置于承载框架上,所述的粘接于连接板上待脱胶的工件硅片底部相对于底板悬空,所述的底板上铺设有工件硅片脱胶后下落的缓冲层。本技术自动脱胶装置,可完全消除人为因素的影响,方法可行,操作安全,且装置制作简单,应用方便,效果明显。
42、硅片多线切割后的脱胶工装
   [简介]:硅片多线切割后的脱胶工装,包括槽体,其特征在于,所述槽体的两侧安装有侧耐腐蚀硅胶防护挡条,侧耐腐蚀硅胶防护挡条的两端设置有工装侧板,支撑横梁安装在槽体的上面,加工夹具均布布设在支撑横梁的中间,所述槽体的底部设置有下耐腐蚀硅胶防护挡皮,所述槽体的内部均布布设有分检隔板。本技术的有益效果:本技术整根硅棒装框脱胶,可完成约2000片硅片生产量,该装置的投入使用,大大提高了用户生产效率,整个脱胶过程无需人工接触硅片,做到了过程管控,将合格率提升到了98%,降低了碎片率,提高了经济效益,适合推广使用。
43、金刚石线切割硅片用槽轮
   [简介]:本技术提供了一种金刚石线切割硅片用槽轮,其包括槽轮主体,槽轮主体包括刚性主体和设置在刚性主体外部的聚氨酯涂覆层,槽轮主体头部直径和尾部直径相同,槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径,槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。本技术的有益效果在于:本技术所述的槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径,且槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化,有效改善槽轮中部线弓及硅片参数离散的情况,提高了硅片成品率。
44、一种硅片数控多线切割机
   [简介]:本技术提供了一种硅片数控多线切割机,涉及硅片加工设备技术领域。一种硅片数控多线切割机,包括支架,支架顶端设置第一伺服电机,第一伺服电机输出轴上设置丝杠,丝杠位于第一伺服电机下方,丝杠上安装丝母,丝母两端设置连接杆,支架侧壁上设置凹槽,连接杆一端位于支架侧壁的凹槽内,连接杆另一端设置直轴,直轴位于连接杆下方,直轴底端设置托板,托板底端设置玻璃板,所述玻璃板底端设置硅锭,硅锭与玻璃板底端胶接,硅锭下方设置传动装置。托板底端设置滑槽,滑槽上设置滚花纹,玻璃板位于滑槽内。本技术的有益效果是:本装置结构简单,运行平稳,噪声小,切割效率高,切割的硅片表面平整度高,厚度均匀,精度高。
45、一种电镀线切割硅片用主导线辊
   [简介]:本技术公布了一种电镀线切割硅片用主导线辊,表面包覆有聚氨酯耐磨材料,且刻有与硅片目标厚度对应的同心圆V槽。电镀线往复缠绕在一对主导线辊上,所述一对主导线辊的轴心均与旋转轴的轴心偏离100μm,使得主导线辊旋转时为偏心轮状态,表面跳动值为200μm。一对主导线辊静止状态下的高点方位形成180°。本技术能改善切割废硅屑的排出能力和冷却液的冷却性能,提高金刚砂切削能力,最终提高加工效率,改善硅片表面品质的电镀线切割硅片用主导线辊。
46、金刚石线切割硅片冷却液回收系统
   [简介]:本技术提供了金刚石线切割硅片冷却液回收系统,其包括太阳能硅片切割设备、冷却液供给泵、冷却液回收泵、冷却液桶和单晶原料仓,其还包括有废液收集池、过滤装置、调配箱、硅粉收集箱,冷却液桶上还设有溢流出口和补液口。优点:通过本技术系统,可以实现冷却液的循环利用,同时,冷却液时时被过滤,降低冷却液中硅粉含量,提高冷却液的质量,因此,有效的改善切割环境,提升切割硅片的合格率;可有效回收利用冷却水及浓缩冷却液,降低排污量;可减少冷却水及浓缩冷却剂的使用量,降低生产成本;由于冷却液更换无需人工操作,可降低员工劳动强度。
47、一种多线切割机硅片分切模具
   [简介]:本技术提供了一种多线切割机硅片分切模具,包括两块平行侧板和设置于两侧板之间的两块平行连接板,侧板与平行连接板围成一上下开放的长方体结构,所述侧板的内侧均匀分布有若干凹槽,且两块平行侧板上的凹槽一一对应,所述凹槽的宽度与待切割硅片宽度一致,用于固定所述待切割硅片。本技术的分切模具上端具有导向延伸设计可提升多线切割机入刀精度;下端的树脂条空隙结构可更好地保证粘接精度。
48、一种带砂浆防护罩的硅片多线切割机
   [简介]:本技术提供了一种带砂浆防护罩的硅片多线切割机,包括切割室,在切割室内设有硅片切割装置,还包括砂浆防护罩,砂浆防护罩位于切割室内,砂浆防护罩为结构相同的一对,且对称设置于护套主体左右两侧,砂浆防护罩包括一端与切割室内壁固定连接的吊顶板,吊顶板由与切割室内壁固定的一端向上倾斜伸向护套主体方向,之后再向下倾斜,橡胶板的一端紧贴并固定在吊顶板向下倾斜的部位,橡胶板的另一端向下压贴在护套主体的外壁上。本技术可有效地防护砂浆侵害,并有效导流飞溅砂浆,具有使用寿命长、工作安全可靠等特点。
49、硅片多线切割机断线检测装置
   [简介]:本技术提供了一种硅片多线切割机断线检测装置,涉及硅片切割设备技术领域,包括检测体、接近开关和工控机,检测体一端通过拉线固定、另一端与拉伸元件相连,接近开关设置在检测体一侧,拉线平行设置在多线切割机导轮外侧,工控机分别与接近开关及多线切割机相连。多线切割机的金刚线出现断开情况时,断开的金刚线以极高的速度打在拉线上使其断开,检测体在拉伸元件的作用下离开接近开关的检测范围,此时,接近开关输出信号到工控机,工控机控制多线切割机停机,避免断线抽空产生损失。本技术具有结构简单、灵敏度高的优点,将电压检测式报警改为位置检测式报警,能够在断线后让导轮及时停转,有效的保证了检测结果的准确性和即时性。
50、线切割机用硅片收集装置
   [简介]:本技术涉及一种线切割机用硅片收集装置,包括一槽体,所述槽体的一端敞开,在槽体内至少设有一移动存放机构,其包括设置在槽体的支撑体,以及通过支撑体支撑设置在槽体内的移动平台。在硅棒切割中,对切割好的硅片进行收集时,没有将移动平台放置在槽体内,先由槽体的底部空间对硅片进行收集,在底部空间收集满后,再将移动平台放置在支撑体上,再由移动平台上端的空间对硅片继续进行收集,而在拾取或移动硅片时,只要将移动平台从槽体中抽取出来便可,再将备用的移动平台放置在槽体内继续收集,从而不会影响硅片的切割工作,提高了工作效率;采用多层收集平台对硅片进行收集,避免了硅片的挤压、堆积,保证了硅片收集过程中的质量。
51、一种八英寸硅单晶硅片多线切割机
 
52、金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置
 
53、一种用于太阳能硅片线切割的槽轮
 
54、防呆报警装置及硅片线切割机
 
55、一种硅片带电多线切割装置
 
56、一种硅片多线切割用带电切割机构
 
57、一种硅片多线切割机浆料挡板
 
58、一种用于光伏硅片多线切割的托板
 
59、一种硅片多线切割机分线网走线装置
 
60、硅片多线切割断线检测护板组件
 
61、一种硅片线切割的切割头
 
62、一种用于太阳能硅片的线切割液
 
63、多线切割硅片的废旧料浆回收方法
 
64、硅片线切割机的切割总成
 
65、一种硅片多线切割机及其供电电路
 
66、硅片线切割断线抢救方法
 
67、一种金刚线切割硅片的清洗方法
 
68、一种多线切割硅片的工艺
 
69、一种用于硅片的水基型线切割液生产工艺技术
 
70、一种对硅片进行气体线切割的装置
 
71、一种使用直径0.11mm钢线切割硅片的工艺
 
72、一种使用直径0.1mm钢线切割硅片的工艺
 
73、线切割机用硅片收集装置
 
74、一种多线切割硅片的进刀方法
 
75、硅片线切割方法及其装置
 
76、一种太阳能硅片线切割槽轮
 
77、一种金刚线切割硅片的清洗方法
 
78、一种多线切割机硅片分切模具
 
79、一种超细钢线切割超薄硅片的方法
 
80、一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
 
81、一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
 
82、一种电镀线切割硅片用主导线辊
 
83、一种用于光伏硅片多线切割的托板
 
84、一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法
 
85、硅片多线切割后的脱胶工装
 
86、一种硅片多线切割机装卸料装置
 
87、降低多线切割硅片损伤层的方法
 
88、一种硅片线切割机作业管理系统
 
89、双导向辊式硅片线切割系统
 
90、设有均匀喷浆装置的硅片线切割设备
 
91、一种金刚线切割硅片的制绒方法
 
92、一种金刚线切割后的硅片清洗方法
 
93、一种金刚线切割多晶硅片用的冷却液生产工艺技术
 
94、一种用于金刚石线切割硅片的冷却液生产工艺技术
 
95、一种硅片多线切割断线检测的方法
 
96、从硅片线切割加工废砂浆中回收碳化硅微粉和线切割液的方法
 
97、一种硅片带电多线切割方法及带电多线切割装置
 
98、一种金刚线切割多晶硅片的单面制绒方法及单面制绒的金刚线切割多晶硅片
 
99、一种金刚石线切割硅片的表面处理装置
 
100、生产太阳能硅片线切割砂浆用抽粉装置
 
101、改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的装置
 
102、硅片多线切割机接地检测系统及其检测电极
 
103、太阳能硅片线切割机的排线器检测装置
 
104、用于硅片切割的线切割机及其浆料分流装置
 
105、太阳能硅片线切割导辊与专用镀膜机和电镀机
 
106、太阳能硅片砂浆切割设备改造金刚线切割结构
 
107、一种线切割断线后硅片冲洗和吹干装置
 
108、一种硅片线切割废砂浆分离用组合式旋流器
 
109、一种太阳能硅片线切割机的排线检测装置
 
110、一种太阳能硅片多线切割机用防拉偏断线装置
 
111、一种硅片多线切割设备的砂浆冷却供给系统
 
112、一种用于金刚线切割太阳能硅片的冷却液
 
113、一种硅片多线切割张力控制系统及控制方法
 
114、太阳能硅片的线切割湿碳化硅砂料的制作方法
 
115、一种太阳能硅片线切割钢线及其制作方法
 
116、太阳能硅片线切割钢线的制备装置与方法
 
117、单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶方法及其装置
 
118、一种用于多线切割后硅片的预冲洗方法
 
119、用于太阳能硅片线切割的湿碳化硅砂料
 
120、太阳能硅片线切割耐磨钢线的制作方法
 
121、一种新太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法
 
122、太阳能电池用硅片的钻石线切割设备及工艺
 
123、一种太阳能硅片的线切割砂浆的制作方法
 
124、金刚线切割多晶硅片的电池的制作方法
 
125、一种用于金刚线切割太阳能硅片的冷却液
 
126、固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法
 
127、硅片的磨削/电解复合多线切割加工方法
 
128、表面无金属镀层硅片的电火花线切割法
 
129、一种硅片线切割用水基切削液及其制备方法
 
130、用于硅片多线切割机的绕线轮滑轨装置
 
131、一种应用低颗粒电镀金刚线切割硅片的方法
 
132、一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法
 
133、一种硅片线切割废砂浆分离用组合式旋流器
 
134、一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂
 
135、一种金刚线切割的多晶硅片的制绒方法
 
136、一种用于金刚砂线切割硅片的水性切割液
 
137、一种金刚线切割的多晶硅片的制绒方法
 
138、金刚线切割硅片废切割浆液中硅料的回收方法
 
139、太阳能硅片线切割导辊专用镀膜机和电镀机
 
140、一种太阳能硅片线切割钢线及其制作方法
 
141、硅片线切割废砂浆的分离再生生产工艺
 
142、金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及应用
 
143、金刚石线切割硅片的表面处理方法及制绒方法
 
144、金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺
 
145、硅片清洗烘干器及多线切割中的断线硅片清洗烘干方法
 
146、一种超薄单晶硅片和制作该硅片的线切割装置及切割方法
 
147、基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法
 
148、基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液
 
149、一种自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置
 
150、一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置
 
151、一种用于多线切割硅片清洗过程中的真空烘干装置
 
152、一种太阳能硅片线切割废砂浆铁粉在线回收装置
 
153、一种湿法去除金刚石线切割多晶硅片表面线痕的方法
 
154、一种用于金刚线切割硅片过程中弓线检测的装置
 
155、用于太阳能硅片线切割的等密度砂浆切割方法及装置
 
156、改善多线切割硅片入刀口处厚薄不均匀的方法及装置
 
157、用于太阳能硅片线切割的等粘度砂浆切割方法及装置
 
158、太阳能硅片线切割的等密度切割砂浆及其制造方法
 
159、太阳能硅片线切割导辊及制作方法与专用镀膜机和电镀机
 
160、一种使用金刚石线切割的太阳能级多晶硅片的方法
 
161、一种用于太阳电池硅片加工的多线切割工艺组合
 
162、一种防止线切割钢丝断裂提高硅片得片率的方法
 
163、一种回收硅片多线切割过程中产生的废浆料的方法
 
164、一种八英寸硅单晶硅片多线切割机及其切割方法
 
165、一种用于金刚线切割多晶硅片酸制绒的添加剂及使用方法
 
166、一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法
 
167、一种金刚石线切割硅片的表面处理装置及表面处理方法
 
168、一种用多线切割机二次切割硅片的水平测量方法及工装
 
169、一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及制绒方法
 
170、一种硅片线切割废砂浆中去除硅和二氧化硅装置
 
171、用于金刚线切割单晶硅片制绒的添加剂及其应用方法
 
172、金刚线切割的晶体硅片的脱胶方法及使用的超声水槽
 
173、一种金属催化金刚线切割多晶硅片的湿法制绒工艺
 
174、一种多晶硅片表面金刚线切割损伤层的去除装置
 
175、一种基于金刚线切割的单晶硅片的湿法制绒方法
 
176、用多线切割机将多个薄硅片沿径向一次性分切的方法
 
177、一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法以及电池片制备工艺
 
178、一种降低金刚线切割的多晶硅片反射率的金属催化制绒方法
 
179、一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用
 
180、一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用
 
181、一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用
 
182、一种用硅片线切割后的废弃碳化硅/硅微粉来制作耐磨抗静电地坪涂料的方法
 
183、一种用太阳能硅片线切割后废弃的碳化硅/硅微粉来制作复合防静电耐磨陶瓷的方法
 
184、一种用太阳能硅片线切割后废弃碳化硅微粉来制作耐磨共聚树脂的方法
 



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