1 乙硅烷的生产提纯工艺
简介：本技术涉及一种乙硅烷的生产提纯工艺，该乙硅烷的生产提纯工艺包括检测与所述反应釜连接的吸附管道的底面内壁上设置的压力感应器的在预设时间周期内的数值变化，所述反应釜上还设置有气体出口，将第一反应溶液和第二反应溶液进行化学反应生成的生成物利用气体出口通过导气管导入吸附管道内；根据所述数值变化，调节设置在第一进液口上的第一阀和设置在第二进液口上的第二阀，所述第一阀、所述第二阀和所述压力感应器分别与控制单元连接，所述控制单元设置在所述反应釜的外壁上，以调节所述反应釜内第一反应溶液和第二反应溶液的添加量。本技术可以提高乙硅烷的产出率其能够提高纯度。
2 一种液态双氨基取代的乙硅烷配方技术及其产物的应用
简介：本技术提供一种液态双氨基取代的乙硅烷的配方技术及其产物在薄膜ALD沉积中的应用。该方法是在惰性气体保护下，向反应容器中加入非极性溶剂和六氯乙硅烷，降温至‑20℃及以下，加入单取代的有机胺，反应后经过滤、蒸馏得到双氨基取代的四氯乙硅烷中间体，与四氢呋喃混合，降温至‑40℃及以下，再向体系中滴入含有还原剂的四氢呋喃溶液进行还原，滴加完成后将体系缓慢升至室温，并持续搅拌，然后用非极性溶剂进行萃取，将萃取溶液浓缩、蒸馏得到纯度≥99％的粗产品，精馏提纯得到纯度≥7N的液态的双氨基取代的乙硅烷。
3 一种乙硅烷反应釜
简介：本技术涉及合成反应设备技术领域，且提供了一种乙硅烷反应釜，包括釜体，釜体顶部的一侧固定安装有进料漏斗，进料漏斗一侧的顶部固定安装有活动盖，活动盖的一侧通过固定栓与进料漏斗另一侧的顶部螺纹连接，釜体顶端的中部活动套接有旋转轴，旋转轴侧面的底部固定安装有搅拌叶片，且旋转轴的顶端固定套接在电机的输出轴上，电机的外部通过固定架与釜体的顶部固定连接。该乙硅烷反应釜，通过过滤装置可以在乙硅烷气体收集的过程中，对乙硅烷气体中的杂质进行吸收过滤，避免了因氯化氢的挥发对乙硅烷气体造成影响的问题，提高了乙硅烷气体的纯度，且收集箱可以对乙硅烷气体进行低温冷藏，保证了乙硅烷气体存储过程中的安全性。
4 一种制备高纯度六氯乙硅烷的工艺
简介：本技术涉及一种高纯六氯乙硅烷的制备领域，尤其是一种制备高纯度六氯乙硅烷的工艺，本技术采用山梨醇代替螯和树脂进行金属杂质的吸附，在提纯过程中加入氮气伴送成为惰性气体保护精馏，通入氮气的作用主要是降低蒸馏温度，加强塔釜内液体的搅拌防止釜内液体局部过热，从而避免六氯乙硅烷受热变质。本技术精馏效率高且工艺成本低。
5 一种硅烷热解法制备乙硅烷和丙硅烷的系统及其方法
简介：本技术提供了一种硅烷热解法制备乙硅烷和丙硅烷的系统及其方法，特点是包括依次连接的原料加热器、硅烷热解反应器、换热与压缩系统、氢气分离器、硅烷粗分离器、硅烷分离塔、乙硅烷粗分离器和乙硅烷分离塔，氢气分离器的气相出口、硅烷粗分离器的气相出口和硅烷分离塔的气相出口分别与换热与压缩系统的壳程进口连接，换热与压缩系统的壳程出口与原料加热器进口连接，乙硅烷粗分离器的顶部气相出口和乙硅烷分离塔的顶部气相出口分别与外部乙硅烷储罐连接，乙硅烷分离塔的底部液相出口与外部丙硅烷储罐连接，优点是转化效率好且产品纯度高。
6 乙硅烷的配方技术
简介：本技术提供了一种乙硅烷的配方技术。该配方技术包括：对多晶硅残液进行过滤，得到滤液；对滤液进行精馏过程，得到氯代乙硅烷；使氯代乙硅烷与还原剂进行还原反应，得到乙硅烷。多晶硅残液中包含氯代乙硅烷，以多晶硅残液为制备原料能够省去氯代乙硅烷的制备步骤，大大降低乙硅烷的制备成本。通过过滤步骤将多晶硅残液中的固体杂质(如颗粒状物质、金属聚合物、含无定形硅和金属的杂质)去除，最后将得到的滤液与还原剂进行反应，得到所需的产品乙硅烷。上述配方技术具有成本低和乙硅烷纯度高等优点。
7 乙硅烷的制备装置
简介：本技术提供了一种乙硅烷的制备装置。该乙硅烷制备装置包括：过滤单元、精馏单元和还原单元，过滤单元设置有多晶硅残液入口和滤液出口；精馏单元设置有滤液入口和氯代乙硅烷出口，滤液入口与滤液入口经滤液输送管路相连通；还原单元设置有加料口，加料口与氯代乙硅烷出口经氯代乙硅烷输送管路相连通，加料口也用于加入还原剂。以多晶硅残液为原料能够省去氯代乙硅烷的制备，大大降低制备成本。通过过滤单元将多晶硅残液中的固体杂质去除，得到滤液；然后通过蒸馏单元去除滤液中的有机杂质组分，得到氯代乙硅烷；使氯代乙硅烷与还原剂进行还原反应，得到乙硅烷。采用上述乙硅烷制备装置制备乙硅烷具有成本低，工艺流程短及乙硅烷纯度高等优点。
8 乙硅烷的配方技术
简介：本技术一实施方式提供了一种乙硅烷的配方技术，包括如下步骤：提供改良西门子法产生的氯代乙硅烷副产物；将所述副产物进行过滤，得到滤液；将所述滤液通过精馏处理，得到氯代乙硅烷的纯化液；以及，还原所述纯化液中的氯代乙硅烷，制得所述乙硅烷。本技术一实施方式的配方技术，通过对改良西门子法多晶硅生产过程中的氯代乙硅烷进行回收、精制，制备出满足半导体行业应用的高纯乙硅烷。
9 乙硅烷的制备装置
简介：本技术一实施方式提供了一种乙硅烷的制备装置，包括过滤单元、第一精馏塔、第二精馏塔和反应器；其中，所述第一精馏塔与所述过滤单元相连，所述第二精馏塔与所述第一精馏塔相连，所述反应器与所述第二精馏塔相连。本技术一实施方式的装置，以多晶硅残液为原料，可制备出满足半导体行业应用的高纯乙硅烷。
10 1,1,1-三氯乙硅烷的合成
简介：提供了一种制造三卤代乙硅烷的方法，所述方法包括：将还原有效量的烷基氢化铝、包含至少4个卤素原子的卤代乙硅烷、和溶剂在＆lt;150℃的温度下组合，并还原所述卤代乙硅烷以形成包含三卤代乙硅烷和烷基卤化铝的反应产物混合物。
11 包括乙硅烷基胺化合物的含硅薄膜沉积组合物以及用其制备含硅薄膜的方法
12 乙硅烷基胺化合物，其配方技术，以及包括其的含硅薄膜沉积组合物
13 电子级六氯乙硅烷萃取提纯的方法及萃取精馏系统
14 一种六氯乙硅烷的纯化方法
15 六氯乙硅烷的回收方法
16 六氯乙硅烷的回收装置
17 三(乙硅烷基)胺
18 一种乙硅烷的制造方法
19 一种乙硅烷储罐
20 一种乙硅烷反应釜
21 一种乙硅烷生产装置
22 一种乙硅烷的制造方法
23 气相催化转化氯代乙硅烷制备氯代单硅烷的工艺及其专用催化剂
24 由在工艺废气流中所含的氯硅烷混合物获得六氯乙硅烷的方法
25 一种硅化镁法连续制备甲硅烷和乙硅烷的装置和方法
26 五氯乙硅烷的制造方法以及采用该方法制造的五氯乙硅烷
27 一种利用多晶硅副产物制备氯代乙硅烷的方法
28 六氯乙硅烷机台及其保养维护方法
29 有机氨基乙硅烷前体和包含该前体的薄膜沉积的方法
30 有机氨基乙硅烷前体和包含该前体的薄膜沉积的方法
31 有机氨基乙硅烷前体和包含该前体的薄膜沉积的方法
32 有机氨基乙硅烷前体和包含该前体的薄膜沉积的方法
33 从氯硅烷残液中回收和提纯六氯乙硅烷的间歇操作方法及装置
34 六氯乙硅烷的合成方法
35 合金化复合物与氯化铵在液氨中反应生产乙硅烷的方法及设备
36 采用硅化镁与氯化铵反应来生产乙硅烷的方法
37 一种生产高纯乙硅烷的系统及其方法
38 处理含有六氯乙硅烷的蒸气的方法
39 从六氯乙硅烷中除去钛的方法
40 六氯乙硅烷的回收方法及用于该方法的设备
41 通过来自乙硅烷前体的远程等离子体CVD的高质量氧化硅膜
42 制备高纯度六氯乙硅烷的方法
43 抗蚀乙硅烷和饱和烃桥接的含硅聚合物及制备和使用方法
44 使用六氯乙硅烷或其它含氯硅前驱体的微构件填充工艺和装置
45 以六氯乙硅烷进行的含硅膜的沉积
46 六(单烃基氨基)乙硅烷及其配方技术
47 生产六氯乙硅烷的方法
以上为本套技术的目录及部分简要介绍,完整内容都包括具体的配方配比和生产工艺制作过程。收费200元，购买或咨询更多相关技术内容可联系：微信/电话：13510921263
