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氧传感器芯片生产工艺技术制造方法

发布时间:2020-04-17   作者:admin   浏览次数:136

1 氮氧传感器陶瓷芯片性能检测方法及系统 本技术涉及一种氮氧传感器陶瓷芯片性能检测方法,包括:将陶瓷芯片置于空气气氛下工作,在泵氧电极和主电极之间施加电压,回路中形成电流IP0,作为氧满程电流值;在辅泵电极和主电极之间施加电压,回路中形成电流IP1,作为NOx零点电流值;将陶瓷芯片置于NOx气氛下工作,在泵氧电极和主电极之间施加电压,回路中形成电流IP0,作为氧零点电流值;在辅泵电极和主电极之间施加电压,回路中形成电流IP1,作为NOx满程电流值;所述满程和零点同时满足陶瓷芯片的设计要求时则判断为合格。本技术提供一种自动化检测出性能偏低或有缺陷的陶瓷芯片的方法和系统,在陶瓷芯片装配成产品前,通过本方法和系统可以发现有缺陷的芯片,以防故障件流到下一步。
2 一种带扩散障片式氧传感器芯片 本技术提供了一种带扩散障片式氧传感器芯片,其特征是包括扩散障一、泵氧池外电极、泵氧池层、泵氧池内电极、测试空腔、中间层、参比池内电极、参比池层、参比池外电极和扩散障二共同组成芯片整体,所述扩散障一和扩散障二处的芯片整体从上到下共有九层,所述泵氧池层、中间层和参比池层都有氧化锆陶瓷电解质制成,所述泵氧池外电极、泵氧池内电极、参比池内电极和参比池外电极都为铂电极薄片层。本技术整体结构简单,感测灵敏度高,生产工艺容易控制,氧传感器芯片整体抗热振效果好,解决了普通氧传感器芯片大多通过异质烧结而成,由于异质在热振时膨胀系数不同,使得片式传感器芯片的热振效果差,加工工艺复杂的问题。
3 一种氧传感器芯片自动限位压装机 本技术提供一种氧传感器芯片自动限位压装机,其特征是包括支架装置、传动装置、下压装置、位置感应装置和控制装置,传动装置安装在支架装置上面,下压装置安装在支架装置下面,位置感应装置安装在支架装置上,控制装置安装在支架装置右侧,所述下压装置有压板、连接柱、调节压头和固定座。本技术能够将氧传感器芯片匀速压装到氧传感器内部,能够在恒定压力下持续保持一段时间,整体运行稳定,定位精确,操作方便,适合在氧传感器芯片压装到氧传感器内部生产过程中推广使用。
4 一种氮氧传感器芯片老化测试装置 本技术提供了一种氮氧传感器芯片老化测试装置,包括壳体和传感器固定装置,所述壳体外侧壁的中部通过支架安装有电动机,所述电动机的输出端延伸至壳体的内部并与转动盘相连接,所述转动盘远离电动机的一侧连接有连接杆的一端,所述连接杆的另一端与转动环相连接,所述转动环与转动盘相互靠近的一侧分别设置有插孔,且壳体的下端设置有电热丝,本装置使用时,先将氮氧传感器芯片固定在传感器固定装置,再将传感器固定装置固定在转动盘与转动环之间,启动电动机、风扇和电热丝,风扇配合电热丝能够向壳体内部输送热空气,电动机能够带动转动盘转动,此时使得氮氧传感器芯片在壳体内转动,使得氮氧传感器芯片能够受热均匀。
5 一种氮氧传感器陶瓷芯片 本技术提供了一种氮氧传感器陶瓷芯片,包括从上到下依次叠压而成的第六层基片,其将氮氧传感器催化NOX催化分解和测量区域均设计为三维多孔结构,在很大程度上增加了气体与电极之间的接触面积,各功能层材料界面之间紧密结合,很好的解决了测试区域受热均匀性和稳定性问题,对NOX气体浓度的测量更加精确。本技术结构上提高了芯片测试区域受热的均匀性和稳定性,也在一定程度上提高了芯片的结构强度,且可以有效防止高温烧结过程中无催化活性金属Au的挥发对测试电极的污染,测量精确度更高,制作工艺简单,易于生产,使用寿命长。
6 一种氮氧传感器陶瓷芯片的膜片 本技术提供了一种氮氧传感器陶瓷芯片的膜片,包括从上至下依次叠压的第一至第五层膜片,第一至第三层膜片均为YSZ膜片,第四层膜片和第五层膜片为Al2O3膜片,第三层膜片和第四层膜片之间叠压有过渡层,所述过渡层由上过渡层、中间过渡层、下过渡层从上至下依次叠压而成,上过渡层、中间过渡层、下过渡层均为采用流延成型工艺制备的掺Al2O3的YSZ膜片,其中上过渡层的主体材料中Al2O3的掺杂量为15%~25%,中间过渡层的主体材料中Al2O3的掺杂量为40%~55%,下过渡层的主体材料中Al2O3的掺杂量为75%~85%。本技术膜片之间的烧结匹配性良好,明显提高了加热器层的绝缘性能,无漏电现象。
7 氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置 一种氮氧传感器陶瓷芯片气敏性的测试方法及装置,依次检测氮氧传感器陶瓷芯片主泵、辅助泵、测量泵的气敏性,根据检测对象,配置出相应浓度的氧气;将氮氧传感器陶瓷芯片加热到合适的工作温度,再向待测氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵的氧泵加载渐变的电压,测试该氧泵电流和氧浓差电势;根据氧泵电压和氧泵电流以及氧浓差电势,判断氮氧传感器陶瓷芯片主泵或辅助泵或测量泵氧泵的泵氧能力和反应空腔氧气浓度的能力。本技术具有工作效率高、节省人力、对待测芯片无损伤的优点。
8 智能氮氧传感器感应芯片 本技术涉及传感器感应芯片领域,尤其是智能氮氧传感器感应芯片。该感应芯片包括外电极、电极触点一、上层氧化锆基板、副泵内电极、主泵内电极、中层氧化锆基板、参比空气电极、测量泵内电极、电极触点二、底层氧化锆基板、绝缘包裹层、电极触点三、参比空气通道、第一测量腔、第二测量腔和加热线路,所述外电极、引线、电极触点一印刷在上层氧化锆基板的上端面;所述副泵内电极、主泵内电极、引线印刷在上层氧化锆基板的下端面;所述测量泵内电极和参比空气电极印刷在底层氧化锆基板的上端面;所述底层氧化锆基板上印刷有加热线路、电极触点三、两层绝缘包裹层。该技术使用三层氧化锆基板,其制备工序简单、生产效率高、稳定性好。
9 一种氧化锆陶瓷与氧化铝陶瓷共烧的片式氧传感器陶瓷芯片 本技术涉及一种片式氧传感器陶瓷芯片。一种氧化锆陶瓷与氧化铝陶瓷共烧的片式氧传感器陶瓷芯片,该片式氧传感器陶瓷芯片包括保护层、第一氧化铝陶瓷基体、外电极引脚、内电极引脚、铂金外电极、氧化锆反应层、铂金内电极、外电极通孔铂金导线、内电极通孔铂金导线、第二氧化铝陶瓷基体、第三氧化铝陶瓷基体、加热器、第四氧化铝陶瓷基体、第一加热通孔铂金导线、第二加热通孔铂金导线、第一加热电极引脚和第二加热电极引脚。本技术制作工艺流程更加简化;另外,大大提高外电极引脚、内电极引脚分别与第一加热电极引脚和第二加热电极引脚之间的绝缘电阻值及绝缘性。
10 无线脉搏血氧传感器收发机芯片 本技术提供一种无线脉搏血氧传感器收发机芯片,归属于微电子学,光学和医学电子学等领域,包括电源管理模块,脉搏血氧采集模块,信号处理模块和无线收发模块,是无线脉搏血氧系统的核心部分;无线脉搏血氧系统可用于对人体血氧饱和度和脉搏信息的中短程无线无创伤采集,对现代医学的发展具有重大现实意义,无线脉搏血氧传感器收发机芯片旨在对脉搏和血氧信号进行简单的处理,如放大,滤波和去噪处理,再将信号通过RFID技术发送到上位机端口进行分析处理;本技术结合集成电路技术,射频技术与生物医学电子学技术,有利于医疗设备小型化,智能化,便捷化,大大减轻繁杂的操作,医护人员只需经过简单的培训就能轻松上手,操作简单。
11 一种可用于氧传感器芯片的多孔扩散障材料
12 片式氧传感器芯片
13 一种片式氧传感器芯片的制造方法
14 一种氮氧传感器芯片铂电阻零度阻值检测系统及方法
15 一种氮氧传感器芯片泵电流的测试方法及装置
16 一种氮氧传感器芯片老化测试装置及老化测试方法
17 一种氧传感器芯片及其配方技术
18 氧传感器芯片填孔设备
19 一种片式宽域氧传感器芯片的制作方法
20 极限电流型宽域氧传感器芯片及其制作方法
21 用于氧传感器芯片的烧结设备
22 氧传感器芯片叠压装置
23 氧传感器芯片的制作方法
24 一种片式寛域汽车氧传感器芯片的制作方法
25 一种氧传感器芯片上被覆多孔陶瓷材料保护层的配方技术
26 宽域型氧传感器芯片及其制造方法
27 氧传感器芯片的制造方法
28 一种片式氧传感器芯片的配方技术
29 平板式氧传感器芯片结构及其制造方法
30 锇膜电阻线原子氧传感器芯片的制造方法
31 平板式氧传感器芯片的制造方法
32 一种芯片及其含有这种芯片的双向串联片式氧传感器
 
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