1、真空泵
[简介]:提供适合用于准确判断泵维护的必要性的真空泵。通过旋转体(2)的旋转将气体抽吸来排出的真空泵(P1)具备用于旋转体(2)的温度调整的温度调整零件(30)、控制温度调整零件(30)的控制机构(31)、以时间数列取得控制机构(31)的温度调整零件(30)的控制状态的取得机构(32)、通过监视由取得机构(32)取得的控制状态的时间数列的变化来推定泵内产物的堆积量从而判定泵维护时期的判定机构(33)。
2、传感器、电磁铁单元以及真空泵
[简介]:本技术提供传感器、电磁铁单元及真空泵,抑制挂在传感器基板的边缘并穿绕到焊盘的绕组活动。电动机(1)具备通过磁力以非接触方式支承转子(3)的磁轴承(4)。磁轴承(4)具备配置于定子(2)的输出侧(L1)的电磁铁单元(20A)及配置于输出相反侧(L2)的电磁铁单元(20B)。电磁铁单元(20A、20B)的传感器(50)具有传感器芯(51)、经由线圈骨架(53)卷绕于传感器芯(51)上的传感器线圈(54)、供从传感器线圈(54)引出的绕组(541)焊接的传感器基板(55),绕组(541)经由设置于传感器基板(55)的端部(554)的绕组保持部(58)穿绕到传感器基板(55)的焊盘。绕组保持部(58)是设置于传感器基板(55)的端面(555)的槽。
3、干式初级真空泵和控制吹扫气体的喷射的方法
[简介]:本技术涉及干式初级真空泵(1),它包括:?串联安装在真空泵的吸入口(3)和排出口(4)之间的至少两个泵送级(2a?2e);?在泵送级中延伸的两个转子(5),这些转子构造成沿相反方向同步旋转以在吸入口与排出口之间驱动待泵送的气体;?构造成在至少一个泵送级中分配吹扫气体的喷射装置(9),该喷射装置包括至少一个喷射构件(12a?12e)、和旨在插置于吹扫气体供应源与至少一个喷射构件之间的至少一个具有开闭控制的喷射阀(13;16a?16e),其特征在于,该真空泵还包括控制装置(10),该控制装置构造成控制至少一个喷射阀的打开和关闭以通过连续脉冲将吹扫气体喷射到至少一个泵送级中。本技术还涉及用于控制这种真空泵中的吹扫气体的喷射的方法。
4、真空排气系统
[简介]:本技术提供一种真空排气系统,其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时,能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。
5、真空安全阀
[简介]:本技术涉及用于真空泵、尤其用于旋转叶片泵的真空安全阀,包括:壳体,其具有在入口与出口之间延伸的流动路径用于输送气体;阀区域,其设置在所述流动路径中,并且可在关闭位置与打开位置之间移动的阀封闭元件布置在阀区域中;控制空间,其与所述阀区域相关联,并且将压力侧与操作侧分开的膜布置在控制空间中;以及控制元件,其在所述膜与所述封闭元件之间活动,其中所述封闭元件可通过在所述压力侧被施加作用的所述膜经由所述控制元件而克服恢复力从所述关闭位置移动到所述打开位置中,并且当移除膜载荷时,由于所述恢复力可移回到所述关闭位置中并保持在所述关闭位置中。
6、定子单元及真空泵
[简介]:本技术提供定子单元及真空泵,抑制设置屏蔽件导致的零件数量的增加,抑制定子单元的大型化,其中,该屏蔽件用于抑制磁噪声对传感器的影响。电动机(1)具备通过磁力以非接触的方式支承转子(3)的磁轴承(4)。磁轴承具备配置于定子(2)的输出侧(L1)的电磁铁(40A)及传感器(50)。定子单元(2A)具备定子和电磁铁及传感器。在电磁铁(40A)和传感器(50)之间配置有磁屏蔽件(60)。磁屏蔽件(60)配置为从轴线方向(L)观察,覆盖卷绕在线圈骨架(43)上的线圈(44)。通过磁屏蔽件(60)可以减少由设置于电磁铁(40A)的线圈(44)产生的磁通对传感器(50)造成的影响。磁屏蔽件(60)被固定于电磁铁(40A)的线圈骨架(43)上。
7、一种真空吸附翻转台板与翻板贴合机
[简介]:本技术涉及一种带有双层气孔的真空吸附翻转台板与包括该台板的翻板贴合机。真空吸附翻转台板包括一个台板主体、A条X轴方向排列的圆柱型导向阀门、B条Y轴方向排列的导气管、一个主气管阀门、B个气管分流阀门。该翻板贴合机包括点胶控制器、真空吸附翻转台板、真空吸附平台、点胶运动机构、按钮控制面板、触摸屏控制器、主机架、电控箱。通过调节主气管阀门、气管分流阀门与圆柱型导向阀门,可以控制所有气孔的开闭,能够满足各种尺寸的方形产品的贴合生产要求,同时节约资源、减少浪费、保护环境,并提高吸附稳定性和工作效率。
8、一种可调式数控真空镀膜机
[简介]:本技术提供了一种可调式数控真空镀膜机,属于真空镀膜机领域,一种可调式数控真空镀膜机包括镀膜室,镀膜室的顶部中心固定有电机,电机的底端固定连接有螺纹轴,螺纹轴位于镀膜室的内部,螺纹轴的中部螺接有若干工件架,镀膜室内部的上下两壁均固定有调节组件,调节组件均与螺纹轴螺纹配合,位于靠近工件架一侧的调节组件上均固定有加热器,工件架和调节组件均可沿螺纹轴移动。本技术的可调式数控真空镀膜机即可带动工件架转动,又可以调节工件架和加热器的位置。
9、真空泵和在该真空泵中使用的磁轴承装置以及圆环状电磁铁
[简介]:【课题】提供能够在不改变以往的圆环状定子铁芯的大小的情况下增加卷绕于各线轴的线圈绕组的匝数来增大电磁铁的吸引力的、真空泵和在该真空泵中使用的磁轴承装置以及圆环状电磁铁。【解决方案】装配于圆环状定子铁芯31的齿状物31b的线轴33具备:在外周卷绕线圈绕组34a且插入齿状物31b来装配于齿状物31b的两端开口的线轴主体35;在位于圆环状定子铁芯31的中心O侧的线轴主体35的一个端面设置的矩形中空状的第1凸缘部36;在线轴主体35的另一个端面设置的矩形中空状的第2凸缘部37;以及线圈卷绕量增大单元30,所述线圈卷绕量增大单元30形成在至少第1凸缘部36和第2凸缘部37的一个,将卷绕于线轴主体的线圈绕组34a的卷绕量增大。
10、真空泵、转子、转子翅片及壳
[简介]:本技术在真空泵中不损害排气效率地抑制粒子的逆流。该真空泵具备具备转子中心部(12)和从转子中心部(12)延伸而具有既定的仰角的多层的转子叶片部(3a)的转子(11)、容纳该转子的壳(1)。该转子(11)还具备转子翅片(21),转子翅片(21)具备与转子中心部(12)的端部连接的翅片轴部(31)、从翅片轴部(31)延伸而使经由吸气口(7)向上述的端部落下来的粒子(101)向转子(11)的外周方向反弹的移送叶片(32)。并且,移送叶片(32)的转子轴方向的高度及张数基于粒子(101)的落下速度及转子(11)的旋转速度设定成,粒子(101)不与移送叶片(32)碰撞,不向上述的端部落下。
11、一种真空镀膜装置
[简介]:本技术提供一种膜层厚度均匀的真空镀膜装置,包括真空镀膜的腔体、磁钢、靶材、靶罩与基片,所述腔体构造出一立方体空间,所述靶材、靶罩与基片均设置于所述立方体空间内,所述磁钢设置于所述腔体的外壁上,所述靶材设置于所述腔体的内壁上,所述靶罩设置于所靶材上方和侧面,形成一门型,将所述靶材覆盖于所述靶罩内,同时在靶罩的上方设有一开口,所述开口与靶材在腔体上的投影相一致,所述基片设置于所述靶材上方50?100mm的范围内。在靶罩上设置有挡块,所述挡块外部连接有一旋钮,所述旋钮上设有一把手,所述把手位于真空镀膜腔体外部。在真空镀膜工作条件下,可以灵活调整真空镀膜装置内部挡块结构,进而满足膜层均匀性要求。
12、真空泵和用于该真空泵的叶片零件及转子以及固定的叶片
[简介]:本技术提供一种真空泵、用于该真空泵的叶片零件及转子以及固定的叶片,其能够在不损害真空泵的气体分子排出性能的情况下,有效地防止颗粒从真空泵向真空腔逆流,适合于防止由于逆流的颗粒导致的真空腔内的污染。真空泵在从吸气口至排气口之间具有作为将气体分子排出的机构发挥功能的多个排气层(PT),并且在多个排气层(PT)中的最上层的排气层(PT(PT1))至吸气口之间,作为沿气体分子的排气方向移送颗粒的颗粒移送层,具备与构成最上层的排气层(PT1)的旋转叶片(7(71、75))一同旋转且比构成最上层的排气层(PT1)的旋转叶片(7)的张数少的张数的叶片(NB)。
13、一种安全性高的数控真空镀膜机
14、真空泵的排气系统、装备于真空泵的排气系统的真空泵、吹扫气体供给装置、温度传感器单元及真空泵的排气方法
15、真空泵、主传感器及螺纹槽定子
16、真空泵、应用于该真空泵的温度调节用控制装置、检查用夹具、以及温度调节功能部的诊断方法
17、多弧离子数控真空镀膜机
18、真空泵和其加热装置
19、一种真空镀膜装置
20、真空泵、真空泵所具备的旋转部及不平衡修正方法
21、真空泵、装备于真空泵的磁轴承部及轴杆
22、真空泵装置及用于真空泵装置的运转控制方法
23、柔性产品卷绕式真空镀膜设备
24、柔性产品卷绕式真空镀膜设备
25、真空泵装置、及用于该真空泵装置的泵主体单元、控制单元、以及间隔件
26、一种真空吸附翻转台板、翻板贴合机及其使用方法
27、润滑油密封式真空泵
28、带有报警装置的数控真空镀膜机
29、控制器及真空泵装置
30、控制装置、搭载于该控制装置的基板以及应用了该控制装置的真空泵
31、真空泵、磁轴承装置及转子
32、真空泵和电动机控制装置
33、磁性轴承控制装置和真空泵
34、真空泵和控制装置
35、真空吸附垫和基板保持装置
36、一种立式数控真空镀膜机
37、一种真空吸尘器的清洁头
38、干压缩式真空泵
39、真空泵
40、螺杆真空泵
41、真空泵转子
42、抽真空系统及方法
43、抽真空系统
44、具有消音器的真空泵
45、真空泵以及应用于该真空泵的连接器、控制装置
46、一种多级复合高真空干泵
47、一种真空环境气体流量的测控方法及测控系统
48、液封式真空泵
49、用于驱动真空泵的装置和方法
50、真空泵以及配备于真空泵的控制装置
51、真空泵控制装置及真空泵、以及真空泵控制装置的组装方法
52、真空运行泵
53、真空泵及应用于该真空泵的防水构造、控制装置
54、具有星形-三角形切换的真空泵驱动器
55、真空泵、以及真空泵中具备的螺旋状板、间隔件及旋转圆筒体
56、用于操作真空泵系统的方法
57、真空泵系统和用于操作真空泵系统的方法
58、真空泵螺杆转子
59、真空泵及真空泵中具备的螺旋状板、旋转圆筒体、以及螺旋状板的制造方法
60、一种真空泵测试系统及测试方法
61、真空泵、用于其的定子柱及其制造方法
62、定子、旋转轴、干式真空泵及相关制造方法
63、一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法
64、真空泵以及真空泵所具备的固定圆板
65、真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法
66、真空泵及被使用于该真空泵的静翼部
67、干式真空泵装置和真空排气系统
68、真空泵及真空泵中具备的旋转圆筒体
69、一种真空镀膜机及其微面积产品光学镀膜工装
70、风扇洗涤器以及真空泵装置
71、真空泵及用于该真空泵的挠性罩及转子
72、真空泵转子
73、一种真空镀膜系统及其柔性产品光学镀膜工装
74、适配器及真空泵
75、一种真空下用于纳米颗粒制备的孔径可调的气孔装置
76、真空泵及在其中使用的分割静翼部
77、真空泵及被用于其中的转子及定子
78、真空泵
79、具有两个变频器的真空泵驱动器
80、真空泵系统
81、制造真空泵的构件的方法、真空泵的构件和真空泵
82、干式真空泵
83、用于金属成型设备的抽真空装置
84、真空泵及搭载于该真空泵的旋转翼、反射机构
85、真空泵的转子
86、真空泵
87、一种真空镀膜设备及其工件悬挂装置
88、真空泵
89、排气系统
90、电磁铁单元、磁轴承装置及真空泵
91、连结型螺纹槽间隔件及真空泵
92、真空泵及在该真空泵中使用的隔热间隔件
93、一种用于真空获得设备的节能控制系统及方法
94、一种半导体严苛工艺环境下的真空干泵氮气加热装置
95、一种干式真空泵的排气结构
96、一种真空阀门
97、真空泵
98、真空泵以及该真空泵的异常原因推定方法
99、一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法
100、真空泵
101、用于平衡真空泵转子或真空泵旋转单元转子的方法
102、排气口零件及真空泵
103、用于真空泵的转子设施及其制造方法
104、一种涡旋干式真空泵
105、除害装置
106、真空泵的控制装置和具备它的真空泵
107、一种节能型真空泵氮气吹扫装置
108、真空泵系统
109、带除害功能的真空泵以及带除害功能的系统
110、磁力轴承装置和具备该磁力轴承装置的真空泵
111、真空排气机构、复合式真空泵以及旋转体部件
112、隔膜真空泵
113、真空泵
114、真空泵
115、一种前置于真空获得设备的气体过滤装置
116、霍尔维克泵级的定子元件及制造方法和带该泵级的真空泵
117、一种用于多级干式真空泵的脉冲水冷系统
118、用于多级真空泵的防冲击结构和具有该结构的多级真空泵
119、一种双级涡旋干式真空泵
120、真空泵内转子间隙调整装置
121、保护轴承、轴承装置及真空泵
122、一种干式真空泵防腐方法
123、真空泵
124、干式真空泵轴封离心冷却机构
125、一种应用于化工领域的干式罗茨真空泵清洗系统
126、真空泵
127、具有真空泵的布置以及对磁场进行补偿的方法
128、真空干泵装配工具
129、带有除害功能的真空泵
130、一种用于多级干式真空泵的气路系统
131、一种真空泵用复合密封
132、真空泵及其运转方法
133、真空系统
134、带除害功能的真空泵
135、转子磁轴承、对其磁环涂覆和/或涂漆的方法及真空泵
136、带有除害功能的真空泵
137、真空泵
138、水胶真空贴合机
139、真空泵
140、真空泵
141、磁力轴承装置、以及真空泵
142、真空泵的固定部件
143、螺纹槽泵机构、使用该螺纹槽泵机构的真空泵、及用于前述螺纹槽泵机构的转子、外周侧定子及内周侧定子
144、真空泵
145、真空泵用配件、西格班型排气机构、以及复合型真空泵
146、真空泵
147、固定圆板及真空泵
148、真空泵用电机转子以及具有该电机转子的电机及真空泵
149、电磁旋转装置和具备该电磁旋转装置的真空泵
150、真空泵用电机及具有该真空泵用电机的真空泵
151、高真空三室三掩模库薄膜沉积系统
152、一种用于真空设备的宽量程控压系统及方法
153、真空泵
154、封闭电动机和真空泵
155、干式真空泵抽气工艺模拟测试方法及测试系统
156、密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵
157、真空泵用零件以及真空泵
158、真空泵
159、真空泵
160、用于高效抽除小分子量气体的真空系统
161、排气泵的堆积物感测装置以及排气泵
162、一种适用于复杂工作介质的真空过滤器
163、真空泵
164、转子及具备该转子的真空泵
165、真空泵用IPM马达
166、固定侧部件及真空泵
167、干式真空泵装置和在该干式真空泵所使用的控制装置
168、一种真空泵粉尘沉积过滤装置
169、一种真空泵传动结构
170、真空泵
171、一种能自动调压的干式真空泵控制方法
172、真空热水锅炉
173、真空泵
174、一种立式/角度式真空干泵的供油系统
175、用于真空泵的适配器和相关的泵送装置
176、一种无油真空泵轴承噪声监测保护装置及方法
177、一种具有组合式螺杆转子的螺杆型干式真空泵
178、干式真空泵单元及具有该干式真空泵单元的干式真空泵
179、固定部件及真空泵
180、真空泵及其转子
181、无转换层的真空泵组件
182、真空泵
183、一种应用于真空镀膜领域的链传输机构
184、一种干气密封螺杆真空泵
185、带滚动轴承的真空泵
186、转子和真空泵
187、真空泵
188、真空泵
189、真空泵的旋转体、与其相对设置的固定部件以及具备它们的真空泵
190、一种真空镀覆的方法与装置
191、一种真空机螺旋转子的制造方法
192、涡轮分子泵
193、真空泵控制装置及真空泵
194、真空泵
195、真空泵用的保护网和具备其的真空泵
196、干式真空泵设备及冷却干式真空泵设备的方法
197、排气泵
198、排气泵的堆积物检测装置和具备该装置的排气泵
199、真空泵
200、磁性轴承的控制装置和具备该装置的排气泵
201、一种热水真空锅炉系统的智能控制装置
202、排气泵
203、气体处理系统
204、干式真空泵装置、排气单元和消音器
205、真空泵以及真空泵中使用的部件
206、真空泵
207、螺纹槽排气部的筒形固定部件以及使用该部件的真空泵
208、具有罗茨转子和螺旋转子的复合干式真空泵
209、控制温度的方法
210、真空泵单元
211、真空排气系统
212、真空泵自诊断方法、真空泵自诊断系统以及真空泵中央监控系统
213、真空站及其运行方法
214、真空泵及其起动方法
215、真空泵
216、用于真空泵的中空转子及其制造方法以及一种真空泵
217、真空阀控制器
218、真空污水系统用的真空阀控制器
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