1、多层薄膜热电堆及采用该多层薄膜热电堆的辐射温度计、多层薄膜热电堆的制造方法
[简介]：本技术目的在于提供一种不增加内部电阻r、而热电偶数量增加的高输出高S/N的热电堆、高灵敏度辐射温度计，还进一步提供一种有机材料薄膜的制造方法、以及均匀的、廉价的、高灵敏度的多层薄膜热电堆和高灵敏度辐射温度计及其制造方法。将在与基板热分离的薄膜上形成的热电堆设置在温度感应部的温度传感器中，所述薄膜为多层薄膜，在其各层薄膜中，形成层热电堆，所述层热电堆用作为基板热沉以形成诸如热电堆基准温度的一个接点。另外，各层热电堆串联连接形成组合热电堆，该串联连接设计成输出大的结构。将该组合热电堆作为温度传感器使用，制成辐射温度计。
2、热电堆及应用该热电堆的汽车尾气余热发电制冷装置
[简介]：目前的各类汽车尾气余热发电装置工艺复杂、成本高，集成度低、体积庞大，体积庞大，热电转换效率低。本技术提出一种集成度高、结构简单、成本低、可靠性高的热电堆，同时利用该热电堆作为发电与制冷的核心部件构成一种汽车尾气余热发电制冷装置。成型为长方体柱状的P型热电偶臂与N型热电偶臂交错排列，相邻热电偶臂之间紧贴放置绝热绝缘薄膜材料隔离，消除了空气气体的对流、辐射引起的冷、热面温差下降的弊端，提高了热电转换率。热电偶臂之间的电连接通过柔性导热导电材料完成，缓冲了热应力并消除它对产品的不良影响，解决了热应力导致热电堆变形、破裂与热电偶臂之间焊点脱落，严重影响产品的可靠性与使用寿命的问题。
3、热电堆传感器及带有热电堆传感器的辐射测温装置
[简介]：本技术涉及热电堆传感器并特别涉及带有所述热电堆传感器的辐射测温装置或运动探测装置。所述热电堆传感器包括在壳体内支撑的热电堆。热电堆的冷端和热端及其支撑结构的热容量与支撑结构的热导率相互协调，以便壳体的温度变化引起冷端和热端同等幅度的温度变化。也就是说，所述热电堆中不存在温度梯度。
4、一种混联结构的堆叠式热电堆
[简介]：本技术提供了一种混联结构的堆叠式热电堆，属于半导体技术领域。包括衬底；所述衬底上设置有相互串联的并联结构的热电偶。本技术结构简单，容易实现。增加了接触面积，提高了输出电压，从而提高热电堆探测器的灵敏度和温度分辨率。
5、一种圆箔热电堆热流传感器
[简介]：本技术提供了一种能大大提高热流传感器灵敏度又不影响传感器响应时间的圆箔热电堆热流传感器，包括至少两对圆箔差分热电偶和绝缘块(5)，每对所述圆箔差分热电偶包括箔片(1)，热沉(2)，第一热偶丝(3)、第二热偶丝(4)，相邻两对所述圆箔差分热电偶间，通过所述第一热偶丝(3)与所述第二热偶丝(4)相串联，且两对所述圆箔差分热电偶间通过绝缘块(5)绝缘隔离；在每对所述圆箔差分热电偶中，所述箔片(1)水平放置并焊接于所述热沉(2)上；所述第一热偶丝(3)焊接相连于所述箔片(1)中心点，所述热沉(2)与所述第二热偶丝(4)焊接相连。
6、一种红外热电堆内建自测试电路及方法
[简介]：本技术提供了一种红外热电堆内建自测试电路，包括热电堆、信号采集单元、发热电阻、自测试信号产生电路和测试分析电路，其中：信号采集单元，用于采集并处理热电堆的输出响应电势差值；发热电阻，用于为热电堆提供热辐射源；自测试信号产生电路，用于为发热电阻提供不同的输入激励电压；信号采集单元输出的响应电势差值及发热电阻两端的输入激励电压值分别连接至测试分析电路的输入端，根据输出响应电势差值及输入激励电压值，测试分析电路进行测试分析。该内建自测试电路能够提高测试效率，并有效降低产品的成本，利于产品的商业化。
7、其中带有参考传感器的热电堆温度传感器
[简介]：一种传感器封装件，其具有设置在其中的热电堆传感器以及参考热电堆传感器。在一个或多个实施方式中，所述传感器封装件包括基板、设置在基板之上的热电堆传感器、设置在基板之上的参考热电堆传感器、以及设置在热电堆传感器和参考热电堆传感器之上的盖体组件。所述盖体组件包括传递发生在有限的波长光谱内的电磁辐射的透明结构、以及设置在所述盖体组件之上的电磁阻挡件。电磁阻挡件在热电堆传感器之上限定孔缝，使得电磁阻挡件的至少一部分被放置在参考热电堆传感器之上。所述电磁阻挡件被配置为至少大体上阻挡发生在有限的波长光谱内的电磁辐射以使其不能到达参考热电堆传感器。
8、提高热电堆红外探测器响应率的晶圆级封装结构
[简介]：本技术提供一种提高热电堆红外探测器响应率的晶圆级封装结构，包括红外探测器和承载红外探测器的承载基板；所述红外探测器包括硅基底，悬浮膜，在硅基底中的空腔结构，位于悬浮膜中的热电堆结构，热电堆结构的一端为热端，另一端为冷端，在悬浮膜上引出引线电极，在引线电极上设置焊料凸点；所述红外探测器倒扣叠加在承载基板上。本技术的改进之处在于：在所述红外探测器的硅基底的背面生长红外增透膜，在所述空腔结构正下方悬浮膜正对的承载基板表面设置红外反射膜。进一步改进在于，所述红外增透膜为图形化的红外增透膜，覆盖在除所述冷端上方的硅基底背面对应区域以外的硅基底背面。本封装结构提高了红外探测器响应率。
9、红外热电堆温度传感器的自校正电路
[简介]：本技术提供一种红外热电堆温度传感器的自校正电路，其结构包括：用于提供自校正标准发热源的发热电阻，发热电阻一端通过一个开关与供电电源相连，所述开关由自校正信号产生控制电路控制；发热电阻的另一端与恒流电流源相连，发热电阻两端的电压差通过模数转换模块连接到响应率计算逻辑电路的输入端；发热电阻产生的热辐照被红外热电偶对所吸收，从而得到相应的电压差值也通过模数转换模块连接到响应率计算逻辑电路的输入端；响应率计算逻辑电路的输出端连接到红外热电堆温度传感器的温度计算逻辑电路。本技术实现了针对红外热电堆温度传感器的自校正，这套自校正框架及温度计算方法同样可被利用于其他类型的响应率随环境温度变化的温度传感器中。
10、一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法
[简介]：本技术涉及一种高占空比非致冷热电堆红外探测器的结构及制作方法，其特征在于在采用了L形折叠型热电偶臂设计，摒弃了传统热电堆结构笔直的结构设计，将热电偶臂进行了折叠处理，折叠部分的热电偶臂相互垂直。热电堆结构冷结区(21)固定在硅基体(13)上，热电堆结构热结区端(20)固定在红外吸收区(15)上，热电堆结构下方的硅衬底(16)通过硅腐蚀技术去除，而热电堆传感器的热电偶臂(14和12)则通过折叠的方式分布在吸收区四周。本技术微机械热电堆结构可广泛应用于红外探测器、气体传感器和真空传感器等微机电传感器。
11、一种热电堆读出电路
[简介]：本技术涉及一种读出电路，尤其是一种热电堆读出电路，属于集成电路的技术领域。按照本技术提供的技术方案，所述热电堆读出电路，包括斩波放大电路，与热电堆相连，用于对热电堆的输出信号进行斩波放大；多重反馈滤波电路，与斩波放大电路的输出端连接，用于滤除斩波放大电路产生的纹波及热电堆输出的高频噪声；Sallen-Key滤波电路，与多重反馈滤波电路的输出端连接，用于对多重反馈滤波电路输出信号中的高频噪声及纹波进行滤除，并将热电堆的输出信号进行输出。本技术结构紧凑，能实现低失调低噪声的信号读取，无需冷端补偿，易于集成，降低成本，安全可靠。
12、控制热电致冷中热电堆特性逆变的方法
[简介]：本技术提供的控制热电致冷中热电堆特性逆变的方法，其特征是在特定的环境范围(用途)达到预设的温度标准停机后，同步为热电堆提供一个略大于零工作点的临界工作电压，使热电堆继续处在微工作状态下，其临界点的工作电压一般应为热电堆额定工作电压的25~35%。本技术针对热电堆的特性，采用“临界点”特定的供电方式，在热电堆停止正常工作后，继续为热电堆提供一定的电能，使其工作处在特定“临界点”状态，保证热电堆的吸、放热端不发生逆变，永远处在正常工作的特定状态下，既阻止了外界热源的迅速渗入，又不间断地为特定环境范围提供部分冷源，节能效果和制冷效果均明显提高。可广泛应用于热电致冷系列化产品中，具有较高的实用和推广价值。
13、一种三维MEMS热电堆红外探测器结构
14、具有隐藏式热电偶支脚的热电堆红外线元件及其制造方法
15、一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其配方技术
16、一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法
17、高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其配方技术
18、微机械热电堆红外探测器
19、一种多级半导体复叠制冷元件及制冷热电堆
20、使用热电堆传感器的温度感测电路
21、斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列
22、半导体热电堆红外探测器及制造方法
23、用于非接触式热电堆温度计中使用接近度传感器的温度校正的设备以及方法
24、复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法
25、热电堆红外探测器及采用该探测器的360环视阵列探测装置
26、一种双层MEMS热电堆结构
27、一种双向热电堆式薄膜热流计及热流测量方法
28、一种红外线热电堆传感器元器件
29、形成MEMS热电堆探测器空腔结构的体硅微加工方法
30、高性能的红外热电堆传感器的读出电路及其控制方法
31、一种非接触式开关柜触头红外热电堆测温环
32、支持SMD的红外热电堆传感器
33、高分辨率热电堆红外传感器阵列
34、包括红外热电堆探测器的监测系统
35、基于CMOS工艺的集成热电堆红外探测系统及其制作方法
36、热电堆线材、绕组支承件以及用于制造热电式发电机的方法和机器
37、微机械热电堆红外探测器及其制造方法
38、一种应用于电磁炉的热电堆红外温度传感器及其制作方法
39、架空式热电堆红外探测器
40、微机械热电堆红外探测器及其制作方法
41、热电堆感测元件及其制造方法
42、自对准制作微结构的方法及其制作的红外热电堆探测器
43、致热型MEMS热电堆红外探测器结构及其配方技术
44、空腔形成方法、热电堆红外探测器及其制作方法
45、自聚焦透镜热电堆传感器及其组装工艺
46、基于柔性薄膜热电堆的圆箔式辐射热流测量装置
47、具有单片集成信号处理的高分辨率热电堆红外传感器阵列
48、一种热电堆探测器的快速响应实现方法
49、热电堆差示扫描量热仪传感器
50、用于热梯度环境中的热电堆温度感应装置的盖组件
51、基于CMOS DPTM工艺的红外热电堆型传感器及其制作方法
52、具有自校正功能的红外热电堆温度传感器的温度计算模块及温度计算方法
53、基于热电堆原理对高压隔离开关非接触测温系统
54、一种SiC热电堆型高温热流传感器及其配方技术
55、一种热电堆传感器及其控制方法
56、一种新结构薄膜热电堆
57、一种热电堆
58、与互补金属氧化物半导体工艺兼容的微机械热电堆红外探测器及制作方法
59、一种热电堆传感器
60、热电堆传感器及其制造方法
61、微小型热电堆元件形成热隔离的方法
62、具有高填充水平的热电堆红外线传感器结构
63、垂直堆叠式热电堆
64、微机械热电堆红外探测器的制造方法
65、采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构及制作方法
66、硅-金属双层结构薄膜热电堆
67、一种基于能斯特效应和原子层热电堆的复合光热探测器
68、热电堆红外传感器及其制作方法
69、热电堆传感器
70、外加电场型温差发电热电堆电池及其制冷装置
71、用于热电堆探测器的共光路发射接收装置
72、热电堆红外探测器、阵列及其配方技术
73、基于柔性薄膜热电堆的条纹式辐射热流测量装置
74、基于TiN反射层的热电堆红外探测器
75、阵列红外热电堆传感装置及传感方法
76、整合电容的热电堆感测结构
77、红外热电堆温度传感器及其自测试、自诊断和容错的方法
78、一种基于双层热电堆结构的风速风向传感器及检测方法
79、一种自校准红外热电堆温度传感器及自校准方法
80、热电堆探测器与信号处理电路封装结构
81、运动跟踪用热电堆阵列传感器及其应用
82、提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性的结构
83、热电堆红外探测器及其制作方法
84、用于测量温度和检测气体的热电堆红外单个传感器
85、双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其配方技术
86、基于黒硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其配方技术
87、一种MEMS热电堆结构及其制造方法
88、微机械热电堆红外探测器及其制作方法
89、平面热电堆红外线微传感器
90、可自检微机械热电堆生物反应热探测器及配方技术
91、红外热电堆温度传感器的自测试和自校准系统
92、一种基于微机械热电堆的非接触式红外测温系统
93、利用CMOS制造技术形成热电堆传感器
94、IR热电堆探测器
95、热电堆红外探测器及其配方技术
96、一种用于热电堆红外探测器的入射光线聚集器的制作工艺
97、一种双环形集成热电堆传感器
98、基于八边形热电堆结构的风速风向传感器及其配方技术
99、集成微机械热电堆红外探测系统及其制作方法
100、一种热电堆红外探测器
101、一种原子层热电堆材料及其应用
102、一种环状热电堆温度传感器
103、红外热电堆传感器及其故障检测方法、装置及设备
104、一种微机械CMOS热电堆红外测温传感器
105、用于半导体工艺监视和控制的红外热电堆检测器系统
106、一种用于量热计的平面热电堆制作方法
107、MEMS热电堆红外探测器芯片、其内芯片及本身的制造方法
108、热电堆红外探测器及其制造方法
109、一种热电堆热流传感器及其制作工艺
110、一种热电堆检测装置
111、环境温度免校准的热电堆红外传感器
112、石墨烯热电堆器件的信号读出方法和读出系统
113、一种基于热电堆原理的热流传感器
114、一种多量程热电堆激光功率计实现相同零点功率的方法
115、使用集成阻光层和透镜的热电堆温度感测器的视场窄化
116、一种用于MEMS热电堆的红外探测器的制作方法及红外探测器
117、一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及配方技术
118、热阻式薄膜热电堆型瞬态热流计及配方技术
119、热电堆真空传感器及其制造方法
120、基于纳米PN结和纳米热电堆的热电光电能量收集器
121、一种自测试红外热电堆温度传感器及自测试方法
122、一种多感应元的热电堆传感器
123、与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器
124、一种热电堆式气体流量传感器及其配方技术
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