1 柔性电容式振动传感器及其制作方法
简介：本技术提供了一种柔性电容式振动传感器及其制作方法。该柔性电容式振动传感器包括第一振动敏感单元、第二振动敏感单元以及隔离层，所述第一振动敏感单元、第二振动敏感单元分别设置在所述隔离层的两侧，并经所述隔离层密封结合成一体。本技术实施例提供的一种柔性电容式振动传感器，结构简单、制备工艺简便、灵敏度高、性能稳定、一致性好、成本低；以及，本技术提供的制作工艺可靠性更高，大大提高了柔性振动传感器的灵敏度；而且提高了器件的稳定性和良率。
2 一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器及其制备工艺
简介：本技术提供了一种宽频带无源耐高温柔性振动传感器，所述的传感器自上而下分为五层，分别是耐高温Al2O3薄膜封装层、电容上极板和矩形电感线圈层、Al2O3薄膜介质层、电容的下极板层和作为基底的聚酰亚胺层。所述聚酰亚胺基底上沉积有电容下极板，所述电容下极板上沉积氧化铝介质层，所述氧化铝介质层上沉积有电容上极板和电感线圈，且电容上极板位于电感线圈的中心处，电容上极板和电感线圈上沉积有氧化铝封装层，所述氧化铝介质层上设有用于实现电容下极板和电感线圈电连接的通孔。本技术选用聚酰亚胺柔性材料作基底，可以完全附着于异形构件表面，在大型装备工作中不易受振脱落，能够实现异形构件表面振动参数的动态精准测量。
3 一种仿蜘蛛柔性低频振动传感器
简介：本技术提供了一种仿蜘蛛柔性低频振动传感器，该传感器同时具有纤毛结构和裂纹结构。在外界物理信号刺激下，所述纤毛结构发生弯曲变形，在纤毛结构根部产生应力集中，使所述裂纹结构发生变形，引起导电层的电阻变化，从而将外界物理信号转化为电信号。本技术的传感器具有柔性好、可重复性好、静态应变灵敏度高、低频振动响应优异等特点，在生物健康检测、地震灾害预警等领域有良好的应用前景。
4 基于激光位移传感器的柔性臂振动测量及控制装置与方法
简介：本技术提供了一种基于激光位移传感器的柔性臂振动测量及控制装置与方法，装置包括直驱旋转电机、连杆单元、滑块平台、滚动导轨组合单元、导轨底板、伺服电机、柔性臂、可调节工作台、激光位移传感器、压电陶瓷传感器、电荷放大器、激光位移传感器控制器、A/D转换器、工业计算机、编码器、D/A转换器、伺服放大器、压电前置放大电路以及压电陶瓷驱动器；压电陶瓷传感器、电荷放大器、A/D转换器以及工业计算机依次连接；激光位移传感器控制器连接激光位移传感器以及A/D转换器；编码器连接工业计算机、直驱旋转电机以及伺服电机。本技术实时动态测量柔性臂的位移变化，通过工业计算机对各测量处理和控制算法，实现对移动柔性臂的振动主动控制目的。
5 基于多激光位移传感器的异形柔性结构振动测量系统
简介：基于多激光位移传感器的异形柔性结构振动测量系统，包括底座，夹持装置，测量机构及处理器；测量机构主要由三个激光位移传感器A,B,C和驱动组件组成；根据每个激光位移传感器在各个测量点获取的位移判断当前振动的类型及各种振动类型导致的位移：判断是否弯曲振动；判断是否扭转振动；既不是弯曲振动也不是扭转振动，则当前振动被识别为弯曲和扭转复合振动。本技术具有能够实现对类似飞机机翼这种非规则的、板状的异形柔性结构进行弯曲和扭转振动位移的同步测量的优点。
6 基于PVDF纳米纤维的柔性振动传感器制作方法
简介：本技术提供提供一种基于PVDF纳米纤维的柔性振动传感器制作方法，所述传感器包括电极本体和封装层；电极本体是自下而上依次分布的基层、PVDF纳米纤维和叉指电极；所述PVDF纳米纤维是通过公知静电纺丝法，在接受极板上两片铝片之间设置的硅片上收集的PVDF纳米纤维层；在PVDF纳米纤维层上通过磁控溅射方法溅射出铝电极；所述封装层以及基层的材质均是聚二甲基硅氧烷PDMS胶体；其特征在于：采用涂覆工艺，将PVDF纳米纤维转移到所述基层（5）PDMS薄膜层上；采用浸涂工艺，将聚二甲基硅氧烷PDMS胶体封装在所述电极本体的外表面。传感器对于不同的振动幅度或者是振动频率，其输出响应敏感性强，可很好的描述一些物体的振动以及运动状态。
7 一种新型柔性振动传感器
简介：本技术提出一种新型柔性振动传感器，包括三维石墨烯和弹性高分子基体，所述三维石墨烯被包覆在弹性高分子基体内部，三维石墨烯的两端设置有导线并穿出弹性高分子基体，导线通过银胶与三维石墨烯连接。本技术能够同时测量静态信号、低频动态信号和高频动态信号，具有频谱宽、配方技术简单经济、操作方便、测试安装简易等优点。
8 柔性导电振膜、柔性振动传感器及其配方技术和应用
简介：本技术提供了一种柔性导电振膜，其包含至少一导电薄膜，所述导电薄膜包括柔性支撑层、叠设于柔性支撑层上的柔性敏感层，叠设于柔性敏感层上的柔性导电层以及与所述柔性导电层电性连接的电极。本技术还提供了所述柔性导电振膜的配方技术以及基于所述柔性导电振膜的柔性振动传感器。本技术通过采用柔性材料、纳米材料和阵列式微结构等技术的组合，使得所获柔性振动传感器具有灵敏度高、制备成本低、重量轻、厚度薄、体积小、可折叠弯曲等特点，可应用于可穿戴、可贴敷电子设备之中。
9 一种基于超声波传感器柔性铰接板振动测量装置
简介：本技术提供了一种基于超声波传感器柔性铰接板振动测量装置，包括铰接板、多个超声波传感器、A/D数据采集卡、计算机及显示器，所述铰接板由柔性板Ⅰ及柔性板Ⅱ通过铰链连接构成，多个超声波传感器安装在铰接板的正前方；多个超声波传感器将采集到的电信号经过A/D数据采集卡传输到计算机，所述计算机与显示器连接，计算机经过解耦运算可以得到铰接板的弯曲和扭转振动信息，用于振动分析或控制。本技术通过合理布置多个超声波传感器，使测量的效果达到最佳。
10 一种地震勘探或振动测试用柔性钳固传感器及其使用方法
简介：本技术提供了一种地震勘探或振动测试用柔性钳固传感器及其使用方法，传感器芯体封装固定在带台阶的传感器外壳内，传感器外壳安插于护筒内部，传感器外壳上的台阶与护筒内部支挡环贴合，柔性阻挡传感器外壳向下方活动，传感器本体顶部由弹簧下端抵压，弹簧顶端则由护筒顶部的盖板抵压，柔性阻挡传感器外壳向上方活动，护筒顶部固定在刚性顶盖上，形成一种柔性钳固传感器。该传感器通过刚性顶盖与其它装置连接固定，应用在不同的现场检测或勘探作业中。本技术是一种能快速移动耦合在被测试介质表面的柔性封装传感器，适合需要传感器机动固定的地震勘探或振动测试场合使用，降低作业强度，提高作业效率。
11 用纳微柔性阵列实现接触时间延长的多向振动阈值传感器
12 一种串联柔性振动压电隔膜式生物传感器及其配方技术
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