1 一种电磁式双反射镜MEMS光开关
简介：本技术提供了一种电磁式双反射镜MEMS光开关，包括支撑框架，支撑框架的顶部和底部分别设有顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈，顶部平面驱动线圈和底部平面驱动线圈的中心部位分别设有顶部坡莫合金铁芯和底部坡莫合金铁芯，支撑框架的中部的内壁连接有左双悬臂梁和右双悬臂梁，左双悬臂梁和右双悬臂梁之间连接有具有磁性的弹性平台，弹性平台的顶部和底部的中心部位分别设有上光反射微镜和下光反射微镜，弹性平台上水平穿设有中央通孔。本技术的电磁式双反射镜MEMS光开关，通过底部平面驱动线圈和顶部平面驱动线圈产生的电磁力吸引弹性平台发生上下位移，从而完成三条光路切换，具有响应快速且稳定、集成能力好的特点。
2 一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器
简介：本技术属于可调滤波器技术领域，具体涉及一种基于MEMS开关的T型可调滤波器，包括衬底，所述衬底上固定有两个镜像设置的T型可调谐振器，所述衬底上设有输入谐振器及输出谐振器。所述T型可调谐振器是由弯折T型谐振器、多个射频MEMS开关和多个接地端子组成，所述T型谐振器的尾部弯折，从而缩短整体尺寸。T型谐振器的头部左右两侧分别设有射频MEMS开关，所述射频MEMS开关另一端分别与接地端子相连，接地端子通过TSV通孔与背面接地层相连。本技术可减小滤波器尺寸，降低系统复杂度，具有体积小、高Q值、低损耗、高带外抑制、易集成等优点。在0.01‑22GHz的范围内，有着优越的实用性，实现了MEMS开关与微带线结构的高度集成。本技术用于不同频率的滤波。
3 一种实用化射频MEMS开关双层牺牲层的配方技术
简介：本技术属于牺牲层的配方技术技术领域，具体涉及一种实用化射频MEMS开关双层牺牲层的配方技术，包括下列步骤：准备晶圆；旋涂聚酰亚胺，平流并预固化；刻蚀开关锚点通孔，固化聚酰亚胺；旋涂AZ5214光刻胶；光刻、显影，保留下聚酰亚胺下凹处的AZ5214光刻胶，作为第二层牺牲层；溅射种子层；以AZ4620光刻胶作掩模，电镀开关上电极；释放牺牲层得到开关。本技术射频MEMS开关通过旋涂双层牺牲层获得了较好平整度，提升了射频MEMS开关的成品率和寿命，且射频MEMS开关的微波性能良好，接触灵敏，可应用于各类射频开关场景中。本技术用于射频MEMS开关牺牲层的制备。
4 一种MEMS开关结构
简介：本技术提供了一种MEMS开关结构，包括MEMS开关组件和上盖，其中所述MEMS开关组件包括基底，多晶硅层，电介质层，埋设在所述电介质层内的第一导体和第二导体，位于电介质层上的控制电极和悬臂梁，固定触点和可动触点；所述上盖设置在所述MEMS开关组件外围，用于密封所述MEMS开关组件，其包括位于最底层的临接层，位于所述临接层上的键合层及位于所述键合层上的圆片封冒，所述圆片封冒具有凹槽，所述MEMS开关组件位于凹槽内部，密封的圆片封冒内部充有灭弧气体。本技术通过优化MEMS开关结构，将MEMS开关组件设置在圆片封冒内部，并采用灭弧气体充满MEMS开关周围，降低了电弧产生的时间和几率，提高了MEMS开关的稳定性和寿命。
5 一种单片集成多波段控制MEMS开关
简介：本技术提供了一种单片集成多波段控制MEMS开关，衬底、三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线、波段控制单元、封帽；三个串联接触式MEMS开关单元、信号传输线和波段控制单元制作在衬底上，信号传输线将三个开关单元连接成一串两并的电路拓扑结构；3个开关单元的控制单元包括高阻值薄膜、连接金属线和控制焊盘，由3个控制电压组合完成多个波段MEMS开关功能；衬底与封帽形成密封腔体，将MEMS开关电路的可动结构封装在腔体内；三个串联接触式MEMS开关单元可分别由蟹型梁式、悬臂梁式开关结构中选择。本技术优化了宽频段下MEMS开关的插入损耗、提高了MEMS开关的隔离度，为相控阵雷达天线、通信装备等向小型化高性能发展提供了新的解决方案。
6 一种基于MEMS反射器的多芯光纤开关
简介：本技术提供的是一种基于MEMS反射器的多芯光纤开关。所述的多芯光纤开关由MEMS反射器基座、基座外壳、MEMS反射器、准直微透镜阵列、偏转光窗外壳、输入输出光纤阵列和MEMS反射器控制驱动板组成。所述输入输出光纤阵列由一根标准单模光纤和M根N芯光纤(M和N均为大于1的整数)组成。所述MEMS反射器可以沿两个互相垂直的转轴在一定角度内转动。经过输入输出光纤阵列输入的光，经准直微透镜阵列准直，由MEMS反射器偏转后被准直微透镜阵列耦合进输入输出光纤阵列输出。本技术作为多芯光纤开关或多芯光纤选通器可广泛用于多芯光纤传感，光通信等领域。
7 一种MEMS开关结构和制造方法
简介：本技术提供了一种MEMS开关结构，包括：设于第一介质层上的控制电极、第一连接电极和第二连接电极，设于第一介质层之上的导电支撑柱和第二介质层，支撑柱的下端连接第二连接电极，支撑柱的上端连接导电悬臂梁，悬臂梁的下表面上设有突出的导电触点，第二介质层的侧面上设有相上下衔接的第一卡槽和第二卡槽；当在控制电极上施加电压时，使悬臂梁受到吸引产生向下的弹性形变而使悬臂梁的自由端由第一卡槽中滑出并落入第二卡槽中使开关闭合；当取消施加在控制电极上的电压时，悬臂梁在自身张应力的作用下产生向上的弹性回复而使悬臂梁由第二卡槽中滑出并落入第一卡槽中使开关打开。本技术可以实现超低功耗的开关及其电路功能。
8 光开关的控制系统和控制方法
简介：本技术提出了一种光开关的控制系统和控制方法，其中控制系统包括：控制器，与光开关连接，控制器适于向光开关输出电压，以使光开关在电压加载下受静电吸引力而旋转；电源，与控制器连接，电源适于为控制器供电；升压组件，连接于电源和控制器，升压组件适于对待输入至控制器的供电电压进行升压转换；处理器，与控制器连接，处理器适于根据控制参数、编译参数和simulink仿真工具编译控制器的控制代码，一方面能够提供较大的直流电源，解决对于不同的静电驱动MEMS光开关需要开发特定的硬件控制系统的问题，降低生产成本，另一方面，基于simulink的图形化编程构造算法，能自动生成代码并下载到系统中。
9 基于MEMS开关矩阵的可重构重叠子阵天线
简介：本技术提供了一种基于MEMS开关矩阵的可重构重叠子阵天线，天线阵列中的每个天线单元与一个1分2功分器相连，天线单元的输出与MEMS开关网络相连，MEMS开关为单刀N掷开关，MEMS开关数量与天线单元数量相等，MEMS开关的状态数N决定可重构重叠子阵的状态数，MEMS开关网络的输出与子阵波束形成网络层相连，实现不同重叠子阵多波束。本技术实现模拟多波束形成，采用子阵模拟波束形成网络实现了阵面的波束形成功能，相对于数字波束形成，减少了数字器件的使用，降低了系统的成本和功耗，重叠子阵的使用可以降低由于子阵划分而引入的栅瓣影响，具备低成本、高集成度的特征。
10 基于MEMS开关矩阵的四维天线阵
简介：本技术提供了一种基于MEMS开关矩阵的四维天线阵，数字层产生L路同源相参的中频基带信号，经上下变频层的上变频作用，变为射频信号，传输至功分馈电层，由功分器功分后，传输至TR组件层进行射频信号的放大作用后，传输至MEMS开关矩阵，开关矩阵与天线阵元相连，开关矩阵受数字层数字控制信号的控制，按时间参数进行不同导通状态的控制，从而实现天线阵面发射状态的四维控制。本技术各种参数随时间变化的灵活控制，从而实现阵面的四维控制，实现对阵面的灵活控制，常规三维空间参数随着时间维度的实时变化，通过对时间维度各参数的实时变化，可以实现阵面对不同空域、不同目标的不同发射或接收状态设置。
11 面向可见光通信的集成式可控开关型平面波导分路器及其配方技术
12 一种基于单刀双掷开关级联的电子校准件
13 一种基于MEMS开关的多通道交指型可调滤波器
14 一种基于MEMS的雪花型单刀五掷开关
15 一种结合单刀四掷开关的射频MEMS四路蛇形延时器
16 一种提高射频MEMS开关中聚酰亚胺牺牲层平整度的方法
17 一种超大带宽硅基波导MEMS光开关
18 一种硅基金属触头自锁定MEMS开关
19 一种基于MEMS开关的频率可重构天线
20 FBAR滤波器与放大器或开关单片集成的器件及方法
21 一种MEMS微镜及MEMS光开关
22 一种MEMS碰撞开关控制擦地XX发火方法及装置
23 一种微机械碰撞开关控制装置
24 一种光开关装置、系统及封装结构
25 一种RF-MEMS开关复合牺牲层配方技术
26 一种基于MEMS开关的混合移相器
27 一种MEMS开关及其制作方法
28 一种K型单刀四掷射频MEMS开关
29 微机电系统开关电路和相关设备
30 一种星型单刀四掷射频开关
31 一种电容式RF-MEMS开关
32 光学隔离的微机电(MEMS)开关和相关方法
33 一种隔离开关分合闸状态监测设备及其应用
34 一种基于MEMS技术的单刀双掷敏感组件及含有该敏感组件的压力开关
35 一种基于MEMS的光开关
36 一种柔性MEMS静电驱动开关力学动态模型分析方法
37 一种带有上浮栅结构的梯形射频MEMS开关
38 一种基于阵列光波导和MEMS微镜的1×N端口光开关
39 一种采用光驱动控制的MEMS光开关
40 基于MEMS开关的电子校准模块、系统及方法
41 一种基于三段式短斜梁双稳态结构的MEMS惯性开关
42 一种级联MEMS光开关的N×M光交换矩阵
43 一种基于三段式长斜梁双稳态结构的MEMS惯性开关
44 一种基于V型梁双稳态结构的MEMS惯性开关
45 一种基于三段式双稳态梁结构的MEMS惯性开关
46 用于配电系统的配电开关
47 一种二维MEMS OSW光开关Hitless点的智能选择方法和装置
48 一种T型四悬臂梁式电子校准件开关
49 一种基于射频MEMS开关的可调滤波器
50 一种基于无释放孔上电极结构的射频MEMS开关
51 一种RF-MEMS单刀双掷开关及微带天线阵列
52 一种MEMS光开关
53 一种NXN阵列光开关
54 一种基于MEMS传感器的开关电路
55 一种基于MEMS传感器的数字开关
56 基于mems技术的双电源开关监控的测试方法
57 一种应用于射频领域的大功率MEMS开关
58 一种高性能高功率容量的射频MEMS开关
59 低能触发Si基开关集成XXXX箔起XX装置及其配方技术
60 一种基于量子隧道效应的机械式光电开关
61 制备高性能射频微机电系统开关的方法及微机电系统开关
62 一种具有柔顺机构的分段式双层膜电热驱动MEMS开关
63 一种基于MEMS多光纤开关的付立叶变换光谱仪
64 一种多级MEMS光开关单元和光交叉装置
65 MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法
66 一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统
67 一种电热驱动双稳态MEMS开关
68 用于MEMS开关器件的保护方案
69 具有近零冲击着陆的MEMS RF开关
70 一种MEMS超环面微镜光纤光开关及其制造方法
71 一种直板型单刀单掷开关单片集成衰减器
72 一种带有弹性梁触点的射频MEMS开关
73 一种用于射频MEMS开关的封装方法
74 一种直板型实用化射频MEMS开关
75 一种实用化射频MEMS开关的制造方法
76 具有半导体开关元件和微机电开关元件的开关胞元
77 有源MEMS惯性开关
78 使用MEMS开关用于故障中断的系统和方法
79 多通道硅基开关滤波器组及其制作方法
80 基于光敏BCB键合的RF MEMS开关封装结构及其封装方法
81 有源开口MEMS开关装置
82 阈值可调MEMS惯性开关的测试系统
83 一种基于柔性基板MEMS开关结构的曲率传感器
84 一种N×N通道的MEMS光开关模块
85 一种Z型梁结构的微惯性开关
86 用于ESD保护的自然闭合的MEMS开关
87 具有受控的接触着陆的MEMS RF开关
88 RF开关的腿和锚中的电流处理
89 RF开关中改进的接触部
90 高功率RF MEMS开关的热管理
91 贯序旋转结构无阻塞RF-MEMS开关矩阵
92 一种1×N通道的MEMS光开关模块
93 一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关
94 一种基于MEMS开关的USB漏电保护芯片
95 一种可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关
96 一种微机电系统开关
97 一种开关梁
98 一种微机电系统开关
99 MEMS开关用高升压倍数电荷泵电路及其制造方法
100 基于石英基底共面波导的石墨烯射频机械开关
101 基于硅衬底的紧凑型MEMS电容式射频开关及配方技术
102 一种LCP基材的RF MEMS开关配方技术
103 具有集成机电开关的LED芯片
104 一种MEMS开关切换的无源无线多参数传感系统
105 一种RF MEMS开关的圆片级封装方法
106 一种射频MEMS开关及其制造方法
107 具有直插式MEMS开关的多通道继电器组合件
108 一种3DMEMS光开关阵列
109 MEMS开关装置及其制造方法、驱动方法、显示装置
110 一种MEMS光开关
111 一种基于体硅材料的外力驱动MEMS开关及其制作方法
112 用于保护开关的方法和装置以及包括该保护装置的MEMS开关
113 氮化镓基低漏电流悬臂梁开关场效应晶体管混频器
114 氮化镓基低漏电流固支梁开关场效应晶体管混频器
115 MEMS开关装置、阵列基板及其制作方法和显示装置
116 一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关
117 MEMS开关
118 具有内部导电通道的MEMS开关
119 用于微机电系统光子开关的设备及方法
120 一种2×2通道MEMS光开关
121 碳纳米管MEMS开关及其配方技术
122 光开关
123 一种MEMS光开关
124 基于MEMS开关的程控步进衰减器
125 微电机系统光开关和交换节点
126 一种射频MEMS单刀双掷开关
127 一种2×2通道MEMS光开关
128 一种毫米波RFMEMS开关的配方技术
129 用于微机电系统光开关的设备和方法
130 利用MEMS电阻开关和MIM电容器的DVC
131 MEMS开关设备和制造方法
132 一种采用MEMS光开关的自动光旁路方法
133 一种MEMS电容开关
134 基于静电斥力的电容式射频MEMS开关
135 一种具有PN结的MEMS电容开关
136 一种状态可自锁定的大位移MEMS光开关
137 MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法
138 使用集成MEMS开关的pMUT阵列
139 一种耐冲击硅梁MEMS复合开关
140 一种MEMS开关仿真分析方法
141 一种3D‑MEMS光开关
142 具有封装壳体的MEMS开关
143 光学单元及波长选择开关
144 用于XXXX箔起XX器的肖特基结平面XXXX开关及其配方技术
145 MEMS光开关
146 MEMS光纤开关
147 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器
148 一种含MEMS开关的可重构匹配网络匹配器
149 一种3D‑MEMS光开关
150 一种射频MEMS开关及其形成方法
151 接触时间长的微机电万向惯性开关及其制造方法
152 微机电系统（MEMS）电容式欧姆开关和设计结构
153 一种无源驱动MEMS光开关及加工工艺
154 多播光学开关
155 一种MEMS微镜双稳态结构的制作方法及光开关
156 使用开关电路保护微电子机械系统开关使其免受射频信号影响的系统和方法
157 基于微机电开关（MEMS）的过电流电机保护系统
158 包括微机电开关（MEMS）装置的配电系统
159 波长选择开关及切换方法
160 多播光学开关
161 具有调整施加到开关阵列的选通信号的时间分布的电路的开关阵列
162 基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关
163 一种波长选择光开关
164 包括微机电系统(MEMS)阵列的电源开关系统
165 基于MEMS的开关系统
166 一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器
167 MEMS开关
168 微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器及配方技术
169 微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器及其配方技术
170 双通道射频MEMS开关及其制造方法
171 具有布置成传导开关电流的衬底的MEMS开关阵列
172 MEMS可动电极式火花隙开关
173 MEMS开关器件、逻辑门以及集成电路
174 光开关以及MEMS显示器
175 MEMS开关及其制作方法
176 MEMS开关
177 用于光开关气密性封装的多芯光纤插芯体
178 具有格栅作为中间电极的RFMEMS开关
179 垂直集成电路开关及其制造方法
180 通过采用分割层悬臂沉积方案来制造基于MEMS的悬臂式开关
181 一种悬浮射频开关的制造方法
182 使用微机电系统开关的静电放电保护
183 具有改进的关态电压控制的MEMS开关
184 具有导电机械停止器的MEMS微开关
185 具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关
186 用于集成电路封装内的MEMS开关的方法和系统
187 基于微机电系统的开关器件
188 一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器及其配方技术
189 光开关模块
190 基于微机电系统的开关
191 基于微机电系统的开关
192 供热通风空调系统中的基于微机电系统的开关
193 基于MEMS微开关阵列的限流使能的电路中断设备
以上为本套技术的目录及部分简要介绍,完整内容都包括具体的配方配比和生产工艺制作过程。收费260元，购买或咨询更多相关技术内容可联系：微信/电话：13510921263
