1 一种MEMS扬声器及其制造工艺
简介：本技术提供了一种MEMS扬声器及其制造工艺，该MEMS扬声器包括基底、活塞板、驱动组件以及柔性导向件，该基底形成有空腔，该活塞板活动设置在空腔内，驱动组件连接于所述活塞板，用于驱动所述活塞板沿着所述空腔做往复运动，柔性导向件和所述活塞板形成一体化结构，且所述柔性导向件设置在所述基底和所述活塞板之间，用于使所述活塞板沿预设路径运动。本技术由于柔性导向件和活塞板形成一体化结构，使得MEMS扬声器在结构上更为简单，并且柔性导向件和活塞板可以同步成型，还有利于简化制造工艺。
2 MEMS扬声器
简介：本技术提供了MEMS扬声器，包括基座、位于所述基座上方的振膜以及设于所述基座和所述振膜之间的驱动电极部，所述驱动电极部上形成有用于驱动所述振膜沿上下方向振动的驱动电极，所述驱动电极部包括至少三层导电层和两层绝缘层。通过设置多层结构的驱动电极部，实现非接触式的驱动振膜，相较于传统的接触式驱动振膜，本技术能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小，保障MEMS扬声器达到设定的声压要求，且相较于传统的接触式驱动振膜，本技术能够独立的调整振膜的刚度和静电驱动力的大小，保障MEMS扬声器达到设定的声压要求；另外，本技术能通过差分激励的电极减小谐波失真。
3 MEMS扬声器及其制造方法
简介：本技术提供了一种MEMS扬声器，具有互相平行的上底面和下底面，二者之间具有侧壁，所述扬声器中的执行器的振动方向平行于其底面；所述执行器具有多个分支，多个所述分支在所述扬声器的高度方向布置为一层或多层。采用本技术的技术方案，能够更充分的利用扬声器内部空间，有助于提高扬声器整体空间推动空气的体积，提高扬声器的声压输出。
4 MEMS压电扬声器
简介：本技术提供了一种MEMS压电扬声器，该扬声器的负载盘与执行器叠置，使二者在横向不互相挤占位置，从而都可获得更大的设计空间，在微型扬声器有限的横向尺寸下，执行器和负载盘有较大的横向面积/尺寸和纵向振动位移，使扬声器能够具有更大的输出声压。
5 MEMS压电扬声器
简介：本技术提供了一种MEMS压电扬声器，包括负载盘和执行器，负载盘为多边形、圆形、或椭圆形，执行器的各分支为条形并且沿着负载盘的边缘的延伸方向设置。根据本技术的技术方案，有效利用了扬声器内部的空间，使执行器有较大的有效长度，提高负载盘的振动幅度，增大了扬声器的输出声压。
6 MEMS扬声器
简介：本技术提供了MEMS扬声器，包括具有声腔的基底和固定于基底的至少两个电声换能器，电声换能器的声波传播方向均朝向声腔，基底贯穿开设有与声腔连通的出声孔；至少两个电声换能器的声波传播方向相交。由于本实施例中的MEMS扬声器至少包括两个电声换能器，两个电声换能器发出的声波的传播方向相交，从而能够使两个电能换声器的声波相叠加，进而能够增高音频的输出水平，使本实施例中的MEMS扬声器的整体的声学性能大大提高。
7 MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的配方技术及电子设备
简介：本技术涉及一种MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的配方技术及电子设备。一种MEMS微型扬声器，所述MEMS微型扬声器包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜，所述支撑结构上开设有背腔以裸露部分所述压电振膜；其中，所述压电振膜包括与所述背腔相对的低频区，所述低频区包括高频区和低频子区域，且所述低频子区域刚性小于所述高频区刚性。上述MEMS微型扬声器、MEMS微型扬声器的配方技术及电子设备，在同一个发声单体中能够同时发出高频频段声波和低频频段声波，从而延伸带宽范围；同时相比于传统的整合多个发声单体的方式，还能增大压电振膜的有效区域面积，减小MEMS微型扬声器整体尺寸。
8 MEMS扬声器及其制造方法
简介：本技术提供了MEMS扬声器及其制造方法，其中，MEMS扬声器包括基底、振动组件、隔膜以及连接杆，基底包括基座和自基座一侧延伸的支撑座，基座沿其厚度方向贯穿设有第一腔体，支撑座呈环形并围合形成与第一腔体连通的第二腔体，第一腔体沿垂直于厚度方向的内径小于第二腔体；振动组件固定于基底且至少覆盖部分第一腔体，连接杆的一端与振动组件连接、另一端经第一腔体延伸至第二腔体并与隔膜连接，隔膜悬设于第二腔体中并与支撑座的内壁间隔设置。本技术的MEMS扬声器，通过振动构件带动隔膜做活塞运动而产生声音，使其在单位时间内可以排开更多体积的空气，从而提高了MEMS扬声器的声音输出。
9 压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法
简介：本技术提供了压电式MEMS扬声器基本特性的数值仿真分析方法，该方法包括以下几个步骤：1)建立MEMS扬声器仿真几何模型；2)设置物理场和边界条件，它包括在“固体力学”、“电场”、“压力声学，频域”和“热粘性声学，频域”物理场中分别设置材料模型、压电本构关系、阻尼、约束条件、阻抗边界和电压载荷等；3)定义材料参数；4)设置网格类型和尺寸，并划分网格。5)求解计算：分别采用“频域”和“特征频率”研究对该有限元模型进行求解；6)结果后处理：通过后处理得到该压电式MEMS扬声器的声压级频响曲线、声压和声压级分布图、电容值随频率的变化关系、振动部件上应力/应变/位移/速度/加速度的大小和分布图，以及该MEMS扬声器的共振频率和振型。
10 MEMS扬声器
简介：本技术属电声产品技术领域，尤其涉及一种MEMS扬声器，包括壳体，在壳体上围成环形槽，在壳体上设有沿环形槽的轴线方向延伸的透声通道，还包括盖设在环形槽的槽口上的压电振膜。将MEMS扬声器与电子产品进行电连接，通过电压信号的变化可以使压电振膜产生相应的振动从而发出声音，使用时，由于使压电振膜正对用户耳部，可以将MEMS扬声器发出的声音直接传递至用户耳部，能够减少声音向四周扩散而干扰周围的人，而且在MEMS扬声器上设有用于将外界声音传递至用户耳部处的透声通道，外界声音可以穿过透声通道传递至用户耳部，本技术实施例的MEMS扬声器既能保证MEMS扬声器发出的声音直接传递至用户耳部处而不会干扰周围的人，又不会阻碍外界声音传递至用户耳部。
11 一种具有MEMS扬声器阵列的听筒及通信装置
12 具有软支撑结构的MEMS压电扬声器及其配方技术
13 MEMS压电扬声器及其配方技术
14 一种硅基MEMS微扬声器
15 一种硅基MEMS阵列扬声器
16 具有位置传感器的MEMS扬声器
17 基于MEMS的扬声器实现
18 具有声生成器和声放大器的MEMS扬声器装置
19 具有执行器结构和与其间隔开的隔膜的MEMS扬声器
20 热双晶振膜的制作方法及MEMS扬声器
21 MEMS声换能器、MEMS麦克风、MEMS微型扬声器以及扬声器阵列
22 具有MEMS技术的电动式扬声器结构
以上为本套技术的目录及部分简要介绍,完整内容都包括具体的配方配比和生产工艺制作过程。收费200元，购买或咨询更多相关技术内容可联系：微信/电话：13510921263
