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微波等离子体生产加工工艺技术

发布时间:2019-11-21   作者:admin   浏览次数:130

1 微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置
2 微波导入机构、微波等离子源以及微波等离子处理装置
3 微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法以及微波透过板
4 微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置
5 微波等离子体处理装置
6 微波等离子体处理装置、等离子体点火方法、等离子体形成方法及等离子体处理方法
7 增强微波与等离子体耦合率的谐振腔及微波等离子体装置
8 微波等离子反应装置以及微波等离子反应系统
9 微波等离子体处理装置
10 微波等离子体处理装置、电介质窗制造方法和微波等离子体处理方法
11 微波等离子体处理装置、等离子体处理方法以及微波发射部件
12 微波与等离子体耦合率可调的谐振腔及微波等离子体装置
13 双功能等离子体和非电离微波凝结电外科器械以及整合所述双功能等离子体和非电离微波凝结电外科器械的电外科设备
14 一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置
15 微波等离子体处理装置的顶板、等离子体处理装置以及等离子体处理方法
16 具有两个彼此耦合的微波等离子体源的等离子体处理装置以及用于运行这样的等离子体处理装置的方法
17 一种用于控制等离子体发生器的系统
18 微波等离子体处理装置
19 磁场与电场相互垂直条件下磁化等离子体中微波和等离子体相互作用装置
20 微波等离子吹管
21 微波等离子体处理装置及等离子体处理控制方法
22 用于SiC等离子体氧化的微波等离子体发生装置
23 用于微波感应的等离子体的等离子体焰炬
24 微波等离子体源和等离子体处理装置
25 微波等离子体发生设备和等离子体炬
26 微波等离子体源和等离子体处理装置
27 用于产生均匀可调的微波等离子体的等离子体喷嘴阵列
28 微波等离子体源和等离子体处理装置
29 等离子清洗机用上下料系统和全自动微波等离子清洗设备
30 天线、包括天线的微波等离子体源、和等离子体处理装置
31 一种基于表面等离子激元的微波等离子体大气压射流装置
32 微波等离子体处理装置及其制造方法、等离子体处理方法
33 利用低电功率生成等离子体的便携式微波等离子体生成器
34 微波等离子体装置及等离子体激发方法
35 微波等离子处理装置以及微波的供给方法
36 微波等离子处理装置以及微波的给电方法
37 基于微波-微波等离子混合体加热的低碳锰铁及其制备方法
38 微波腔和双波导微波等离子灯
39 具有微波能输送装置的微波等离子体源
40 一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置
41 一种等离子体微波隔离装置、微波隔离方法及装置应用
42 微波与等离子体相互作用装置
43 微波等离子体增强弧辉渗镀涂层的装置及工艺
44 一种微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定电子烟烟液接触金属器具主要成分的方法
45 降低微波等离子体激发难度的方法
46 利用大气压微波射流等离子体技术脱除工业烟气中二氧化硫的方法
47 便携式弧种子微波等离子体炬
48 一种微波消解等离子体熔融后的玻璃体的方法
49 小功率微波等离子体源
50 基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和多频带微带天线的微波光波转换器
51 一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置
52 陶瓷材料的微波---等离子体分步烧结方法
53 一种微波等离子处理废物的方法
54 医疗废物微波等离子体控氧催化裂解装置
55 直接耦合微波液相等离子体醇类制氢装置及方法
56 测定钨基硬质合金中钴镍铁铌钽钒铬的微波消解-电感耦合等离子体原子发射光谱法
57 微波等离子体离子化检测器
58 一种利用微波等离子体化学气相沉积制备α相碳化钼晶体的方法
59 一种微波等离子体粉体处理装置
60 微波等离子体离子化检测器(MPID)
61 一种利用微波等离子体火炬处理紫茎泽兰的方法
62 一种常压高密度微波等离子体鞋材表面处理方法
63 一种利用微波等离子体焊接金刚石真空窗口的方法
64 微波等离子氧化强化内电解处理工业废水的方法
65 以微波等离子体生产介电层的设备和方法
66 大气压脉冲调制微波等离子体发生装置
67 由微波激发的具有介质波导管的等离子灯
68 圆形波导微波与等离子体相互作用装置
69 一种大面积、高密度微波等离子体产生装置
70 用于微波等离子体化学气相沉积设备的组合式衬底基座
71 微波等离子体化学气相沉积合成晶相碳氮薄膜
72 微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法
73 一种微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定有机颜料中多种重金属的方法
74 微波等离子炬制备LTCC非晶玻璃瓷粉的工艺方法
75 微波等离子体处理装置及其处理方法
76 微波等离子水杀菌设备
77 微波等离子体化学气相沉积装置
78 用微波等离子体化学沉积工艺形成主要含II和VI族原子的实用沉积膜的工艺
79 一种用于微波等离子体无极陶瓷灯泡
80 狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔
81 一种大面积微波等离子体化学气相沉积装置
82 牛仔布微波与等离子联合涂料染色装置
83 一种ECR微波等离子化学气相沉积带钢镀膜工艺及装置
84 微波脱硫等离子体冶炼高冰镍
85 一种微波消解-电感耦合等离子体质谱法测定电子烟加热丝主要成分含量的方法
86 产生等离子体的微波天线
87 微波等离子体油料发射光谱分析仪
88 一种圆顶式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置
89 微波照明装置的等离子灯的结构
90 蜂蜜中四环素的直接微波等离子体炬质谱检测方法
91 吸收微波等离子板及制作方法
92 微波传播和吸收区分开的等离子体装置
93 微波等离子体烹饪
94 基于微波等离子体法处理工业有机废气的装置
95 一种医疗废物微波等离子体消毒灭菌装置
96 微波等离子体光源
97 微波加热和等离子处理设备
98 微波等离子体处理装置
99 微波等离子体灭菌系统及其施放器
100 微波等离子体炬全谱仪
102 微波等离子体扬声器
103 一种微波氢等离子体处理提升碳纳米管场发射性能的方法
104 一种利用微波和等离子体技术深化处理油泥的装置
105 利用太阳能、微波和等离子体从生物质或煤中制备液体燃料和氢气的方法
106 一种小型化的微波等离子无电极金卤灯
107 微波等离子体分解氟利昂无害化处理方法
108 微波激光混合等离子检测系统
109 一种用于微波等离子体化学气相沉积装置的石英钟罩
110 微波等离子体化学气相沉积法生长多晶金刚石片的方法
111 一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置
112 等离子系统
113 微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置
114 一种氢化物发生器与微波等离子体质谱仪联用装置
115 一种微波等离子体工业有机废气处理系统
116 采用微波垂直注入激励等离子体发生装置
117 微波等离子体化学气相沉积装置和合成金刚石的方法
118 用微波等离子体在热塑性材料容器表面上涂覆涂层的方法和设备
119 一种非旋转式的微波等离子体装置
120 一种动态调谐的波导及微波等离子体装置
121 微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
122 外加磁场增强激光诱导空气等离子体微波辐射装置和方法
123 一种微波等离子体矩管用40CrNiMo合金的车削加工工艺
124 基于微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件的制造方法
125 一种微波等离子火炉装置
126 微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
127 一种微波等离子焚烧医疗废弃物的方法及装置
128 同轴谐振微波放电等离子体大尺度高效助燃装置
129 一种可视化研究微波等离子体辅助点火的实验装置
130 用微波等离子体化学气相沉积制备过渡金属磷化物的方法
131 一种常压微波等离子体激发源装置及应用
132 一种大功率微波等离子体发生装置
133 一种微波等离子体装置
134 一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置及方法
135 基于两步微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件的制造方法
136 模块式微波等离子体源
137 一种低成本的微波等离子体光源谐振器
138 使用介质谐振器的微波等离子体谱仪
139 用于微波等离子体辅助沉积的模块化反应器
140 一种复合式双同轴线大气压低温微波等离子体射流源
141 用于微波等离子体炬激光烧蚀系统的高效出样样品室
142 一种微波液相等离子体发生装置
143 一种平面小功率微波微等离子体圆环形阵列源
144 一种高功率的微波等离子体金刚石膜化学气相沉积装置
145 具有旋转微波等离子体源的工件处理腔室
146 微波等离子体处理装置
147 用于产生等离子体的同轴微波施加器
148 微波放射机构和表面波等离子体处理装置
149 一种微波等离子体激发装置
150 微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置
151 一种参数可调的微波等离子体产生装置
152 微波加热激发低温等离子体方法
153 用于制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器
154 微波等离子体处理装置、电介质窗部件及其制造方法
155 铂族元素锑试金微波消解电感耦合等离子体质谱的测定法
156 一种直接分析固体样品的微波等离子体原子发射光谱法及其系统
157 一种等离子体微波谐振腔
158 一种用于微波等离子体重整器的点火进气装置
159 医疗废物微波等离子体消毒灭菌催化裂解处置系统
160 一种基于微波等离子体的氮氧化合物脱除装置
161 一种用于原子荧光光谱仪的微波耦合等离子体原子化器
162 一种金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积方法及装置
163 半导体硅晶片的微波杂化和等离子体快速热处理
164 一种大功率等离子体微波谐振腔
165 微波激励的等离子体处理设备
166 一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积设备
167 微波等离子体的产生方法和装置
168 车载燃料的等离子体微波功率合成系统
169 一种微波耦合等离子体激发光源
170 用微波等离子体在热塑性容器中沉积内部屏蔽涂料的装置
171 采用微波等离子体制备饱和氮杂硅酸镧固体电解质薄膜的方法
172 负离子模式下水中金属元素的微波等离子体炬质谱检测方法
173 用于通过化学汽相沉积制造合成金刚石材料的方法
174 一种车载微波重整器等离子点火装置
175 生产白色单晶金刚石的方法
176 用于等离子体光源的微波谐振腔
177 微波辅助的等离子体催化空气净化方法及净化装置
178 微波等离子体点火内燃机燃烧系统
179 微波与磁化等离子体相互作用装置
180 微波增强等离子体化学气相沉积中功率?气压?温度耦合方法
181 微波等离子体消除设备
182 基于微波等离子体的常压解吸离子源及其应用
183 一种基于介质阻挡放电预电离的微波等离子体激发系统
184 微波等离子体离子化检测器(MPID)
185 用于散热应用的厚聚晶合成金刚石晶片以及微波等离子体化学气相沉积合成技术
186 TM021模式的高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
187 微波等离子体装置及制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的方法
188 一种可拆式微波诱导等离子体炬管
189 微波等离子体产生器与质子转移电离质谱仪
190 微波等离子体处理装置及其处理方法
191 一种微波等离子体垃圾处理装置及其处理方法
192 微波等离子体源及其产生方法
193 一种超硬氮化钛薄膜的微波等离子体制备方法
194 大气压微波等离子体处理的多孔膜
195 液相源雾化微波等离子体化学气相沉积制备薄膜的方法
196 一种微波等离子体火炬波导激励腔
197 微波等离子体基低能离子注入小管径金属圆管内表面装置
198 用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜的方法
199 具有旋转磁场的微波等离子灯
200 微波等离子体炬仪器炬管的表面处理方法
201 塑料助剂中硅元素的微波消解?电感耦合等离子发射光谱检测方法
202 微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
203 一种自动点火的微波等离子作用腔
204 一种大面积微波等离子体化学气相沉积系统
205 一种氮化铝薄膜的微波等离子体制备方法
206 调谐器和微波等离子体源
207 一种微波等离子体汽车发动机点火器
208 一种微波等离子体质谱仪
209 可自调谐的微波等离子体炬及其自调谐装置
210 一种微波等离子体化学气相法生长单晶金刚石的基片台和方法
211 微波等离子体化学气相沉积装置和金刚石的合成方法
212 基于微波等离子体的碳化硅氧化方法
213 一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的检测方法
214 微波ECR等离子体阴极环形束电子枪及3D打印方法
215 一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置
216 一种微波脉冲共振放电等离子体射流体模加热改性装置
217 微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统
218 一种微波消解-电感耦合等离子体发射光谱法测定工业锅炉用水中钙、镁、铁、铜的方法
219 一种微波等离子体炬管用GH4169合金的车削加工工艺
220 一种微波等离子真空镀膜设备及使用方法
221 一种大功率高效多用途微波等离子体炬
222 一种微波等离子体点燃器
223 一种采用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的方法
224 一种微波消解-电感耦合等离子体质谱法同时测定硫磺中18种微量元素的方法
225 一种微波等离子体系统及其波导同轴转换器
226 微波输出装置及等离子体处理装置
227 微波与弱磁等离子体相互作用的测试装置
228 基于微波等离子体化学气相沉积的石墨烯制备方法
229 低温富氧条件下利用微波等离子辅助活性炭还原NO的方法
230 微波同轴腔等离子体灯
231 在多电极微波等离子体激发源中的电极冷却系统
232 微波输出装置及等离子体处理装置
233 一种微波等离子渗镀硫工艺
234 一种微波放电等离子体催化重整温室气体装置及方法
235 氩气微波放电等离子体辅助甲烷空气旋流燃烧装置及方法
236 一种微波等离子体高温热处理丝状材料的装置
237 使用微波等离子体形成氮化硅膜的方法
238 一种微波等离子体化学气相沉积装置
239 一种微波等离子体改性二氧化钒粉体的制备方法
240 车载在线制氢的微波低温等离子体重整器系统
241 车载在线制氢的微波低温等离子体重整器系统
242 一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置
243 车载燃料的微波等离子在线制氢系统
244 一种微波等离子体炬装置
245 微波处理系统中的等离子体调谐杆
246 通过微波辐射进行放电激发的等离子体显示板
247 一种碘化亚铜半导体膜的微波等离子体制备方法
248 微波等离子体发生器的气体管端盖
249 一种基于微波诱导等离子体快速获取碳/碳化硅同轴纤维的方法及应用
250 微波等离子体处理装置
251 具有以直接上转换对微波场的旋转频率进行的数字控制的等离子体反应器
252 大区域微波等离子装置
253 采用微波等离子法连续制成大面积功能淀积薄膜的方法以及适用该方法的设备
254 微波-热等离子体生产活性富钛料及人造金红石的方法
255 经微波等离子体刻蚀的一维纳米碳储氢材料及其制备方法
256 一种微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈
257 CVD金刚石涂层刀具的微波等离子退涂、重涂方法
258 微波等离子反应器
259 应用微波等离子体CVD连续形成大面积实用淀积薄膜的方法和装置
260 一种微波等离子生物质气流床气化炉及工艺
261 一种大气等离子体圆柱形微波激励腔
262 钙磷生物陶瓷的微波等离子体烧结方法
263 低温等离子废气净化器微波激发汇流增强管
264 用于RF和微波电路保护的微等离子体限制器
265 微波等离子体炬串联质谱鉴别蜂蜜掺假的方法
266 微波等离子体炬的油烟净化装置
267 用微波等离子化学气相沉积法形成以III和V族原子为主组分的功能沉积膜的方法
268 一种混合气体微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法
269 一种利用微波等离子体处理废气的装置
270 一种微波等离子体汽车发动机点火器
271 具有固态发生器的微波等离子体处理容器设备和调节方法
272 微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法
273 车载在线制氢的微波低温等离子体重整器系统
274 一种微波等离子体化学气相沉积设备
275 微波等离子处理装置
276 经微波等离子体刻蚀的富勒烯储氢材料及其制备方法
277 微波等离子体处理方法
278 一种外热型微波等离子气化炉及合成气生产方法
279 微波等离子体激发装置
280 一种大气压低功率脉冲微波冷等离子体射流发生器
281 电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化学汽相沉积外延系统与方法
282 矩形波导微波与等离子体相互作用装置
283 一种微波电离式等离子体推进器
284 由微波激发的具有介质波导管的等离子灯
285 常温下微波等离子体和激光联合处理材料表面的方法
286 微波等离子体常压解析电离源及其在质谱分析中的应用
287 波导直馈式微波等离子体炬装置
288 微波等离子体化学气相沉积装置
289 一种高气压微波等离子体激励装置
290 微波烘干结合等离子气化的石油焦辅助垃圾处理系统
291 横磁波模微波等离子推力器谐振腔
292 利用微波等离子体在热塑容器上沉积内阻挡涂层的装置
293 高功率微波介质窗击穿真空侧等离子体诊断装置及方法
294 一种常温常压下利用微波激发气体产生等离子体的方法
295 一种用于制备纳米材料的微波等离子体反应装置
296 一种内燃发动机用微波等离子体点火耦合装置
297 用于制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器
298 微波诱导等离子体离子迁移谱仪
299 微波谐振器处理系统中的等离子体调谐杆
300 一种快速制备材料的微波等离子反应装置
302 一种基于微波等离子体的发动机点火装置
303 一种微波耦合等离子体谐振腔
304 医疗废物微波等离子体无氧催化裂解装置
305 具有偏心开槽可变介质导波管的线型微波等离子体源
306 一种微波等离子体处理塑料垃圾装置
307 微波等离子照明装置
308 微波-热等离子体处理含钴氧化矿
309 一种双腔激励的增强型微波等离子体炬发生装置
310 一种微波等离子体化学气相沉积装置
311 微波等离子体处理装置
312 大体积微波等离子体制备类金刚石薄膜的装置
313 一种微波等离子生物质气化固定床气化炉及工艺
314 微波等离子体处理装置
315 用于微波等离子体炬光谱仪的固体样品直接进样装置
316 一种微波等离子体化学气相沉积装置及其生产方法
317 一种改进的微波等离子体炬装置及应用
318 一种增强型微波液相放电等离子体发生装置
319 利用微波激发等离子体对医疗器械进行灭菌的方法及装置
320 通过微波微结构电极放电产生局部等离子区的装置及方法
321 一种微波等离子体炬制备高纯硅粉的方法
322 微波等离子体氧化水处理方法及其应用
323 大气压下直接耦合微波液相等离子体发生装置和方法
324 具有更高的羽流稳定性和加热效率的微波等离子体喷嘴
325 微波等离子体CVD系统
326 一种微波等离子体粉体处理装置
327 一种用于微波等离子体灯的介质谐振腔
328 微波等离子体化学气相沉积装置及其应用
329 一种对含硫金矿物进行微波等离子焙烧和非氰浸金的方法
330 微波消解-电感耦合等离子体发射光谱仪法测定高纯铝中杂质元素
331 微波等离子体化学气相沉积装置和漏点检测方法
332 污泥微波等离子体干化造粒系统
333 一种用于沉积金刚石薄膜的微波等离子体谐振腔
334 用于微波等离子体环境的微球驱动装置
335 具有含有开槽式螺旋波导的旋转微波等离子体天线的工件处理腔室
336 利用结合电场的紧凑型微波等离子体施加器
337 一种微波等离子体炬原子发射光谱仪
338 用于制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器以及制造合成金刚石材料的方法
339 一种二次耦合微波等离子体重整装置
340 等离子体化学气相沉积微波谐振腔及装置
341 一种高温微波等离子体发生器及废物处理系统
342 空间用小型微波ECR等离子体电子束发生装置及方法
343 可调微波等离子体照明灯
344 一种微波等离子体矩管用Cr17Mo2Ti材料的车削加工工艺
345 微波消解-电感耦合等离子体质谱测定固体样品中稀土元素含量的方法
346 一种微波等离子体分解NO的方法
347 一种双腔型等离子体微波谐振腔
348 一种等离子体复介电常数瞬态微波反射测量方法及装置
349 基于交流电压下微波等离子体的碳化硅氧化方法
350 微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置
351 一种基于超材料的无线激励小型化微波微等离子体阵列源
352 用于水处理的微波等离子体发生模块、反应器及其应用
353 用于微波等离子体发生装置的微孔微纳结构双耦合谐振腔
354 微波等离子体处理装置
355 基于两步微波等离子体氧化的碳化硅氧化方法
356 一种微波等离子体炬的屏蔽装置
357 一种微波等离子体化学气相沉积装置放取样系统
358 一种大功率微波等离子体谐振腔
359 微波微等离子体电子源
360 微波等离子体炬原子发射光谱仪
361 一种产生大气压微波辉光等离子体的装置
362 微波萃取等离子体质谱法测定土壤中有效硼含量的方法
363 用于生成微波激发的微等离子体的便携式电源装置
364 一种低功率微波等离子体条件下合成氯氧化合物的方法及采用的合成装置
365 微波等离子体强化内电解光催化氧化一体化水处理设备
366 利用微波等离子体的硫化氢及硫化羰去除装置及方法
367 用于等离子体反应器的微波功率传输系统
368 微波等离子体生成装置和采用该装置的磁控溅射成膜装置
369 用于制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器
370 微波等离子活性炭再生方法
371 一种用于微波等离子体炬发射光谱的固体进样分析系统
372 一种微波等离子体的温度控制方法及设备
373 一种大米中黄曲霉毒素B1的直接微波等离子体炬质谱检测方法
374 一种微波等离子体辅助的多晶硅提纯方法
375 反射销式车载微波重整器等离子点火装置
376 高温等离子气体超导电磁线圈及微波脉冲发生装置
377 微波等离子体容器处理装置
378 一种超硬氮铝化钛薄膜的微波等离子体制备方法
379 一种微波等离子光氧催化净化设备
380 使用微波辅助的催化剂上甲烷等离子体分解制造富氢燃料的方法和系统
381 微波等离子低温合成金刚石膜的方法
382 微波等离子体光源及其实现方法
383 连续形成大面积膜的微波等离子体化学汽相淀积方法及设备
384 一种矩形波导微波等离子体源发生装置
385 微波同轴谐振腔等离子体点火助燃装置
386 用微波等离子氢化四氯化硅制三氯氢硅和二氯氢硅的方法
387 基于微波等离子体对铜铟镓硒表面改性的处理方法及系统
388 一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法
389 一种微波液相等离子体醇类制氢方法
390 微波等离子体化学气相沉积装置
391 生成由在电子回旋共振(ECR)场中的微波能激发的等离子体以在丝状部件周围执行表面处理或产生涂层的方法和设备
392 微波驱动等离子体光源
393 同轴形微波等离子枪
394 等离子体增强微波热解制备陶瓷基复合材料的方法及装置
395 一种微波等离子体重整装置
396 多功能微波等离子紫外线除臭成套设备
397 等离子处理装置以及微波导入装置
398 一种同轴微波等离子体沉积薄膜的设备
399 一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置
400 一种微波等离子体激励装置
401 大气压微波等离子体发生装置
402 用于将电磁微波辐射施加于等离子体腔室中的装置
403 人工表面等离子激元型微波带通滤波器
404 微波等离子化学汽相淀积装置
405 一种采用微波等离子体炬电离源的电离质谱分析方法
406 集成微波源和等离子体焰炬、以及相关方法
407 微波等离子照明装置
408 用于借助微波生成等离子体的装置
409 试样台和微波等离子体处理装置
410 微波等离子体处理装置
411 使用等离子体诱导微波振荡器频率变化的电子密度测量和控制系统
412 大功率微波等离子体炬
413 微波等离子体处理装置
414 一种微波等离子体汽车发动机点火器
415 经微波等离子体刻蚀及储氢金属或储氢合金修饰的富勒烯储氢材料
416 用于化学气相沉积金刚石膜的高功率微波等离子体反应装置
417 一种基于锁相环的微波等离子体灯扫频源系统
418 微波等离子体源离子注入装置
419 一种椭球形高功率微波等离子体金刚石膜沉积装置
420 用于微波等离子体增强化学气相沉积的波导同轴转换器
421 一种生活垃圾微波等离子气化和回收一体化系统
422 一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置及方法
423 微波消解电感耦合等离子光谱法测定铝土矿中钪方法
424 利用微波等离子体的氮氧化物消减系统
425 一种平面小功率微波微等离子体线性阵列源
426 一种自动点火的微波等离子体炬装置
427 一种微波等离子体化学气相沉积装置
428 基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器
429 用于制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器
430 一种可拆卸的微波感应等离子体炬管
431 使用微波等离子体的薄膜沉积
432 一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台
433 一种基于低温等离子、微波光催化氧化处理有机废气的方法及装置
434 微波等离子体反应腔
435 微波等离子体产生室
436 真空压力控制装置和微波等离子体化学气相沉积装置
437 一种可调谐圆抛腔式高功率微波等离子体化学气相沉积装置
438 一种便携式常压微波等离子体炬产生装置及方法
439 一种微波等离子体处理的水稻育种方法
440 微波等离子体源
441 微波等离子体处理装置
442 介质阻挡等离子体改性微波活化木质素基炭电极制备方法
443 一种微波等离子废气净化方法
444 低温等离子废气净化器微波激发汇流增强管
445 一种微波等离子真空镀膜设备及使用方法
446 一种标准波导及微波等离子体装置
447 具有改进的功率均匀性的微波等离子体施加器
448 一种微波等离子装置
449 表面等离子体共振与电子回旋共振双激励式微波推力器
450 基于交流电压下微波等离子体氧化的凹槽MOSFET器件制造方法
451 一种微波等离子体金刚石膜沉积设备
452 一种小功率集成微波微等离子体源
453 具有微孔微纳结构双耦合谐振腔的微波等离子体发生装置
454 用于微波等离子体裂解制氢的装置
455 车载燃料的微波等离子体重整系统
 



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