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蓝宝石激光加工工艺技术

发布时间:2020-09-03   作者:admin   浏览次数:119

1 一种激光去除蓝宝石表面镀层的装置及其工艺方法 
   简介:本技术提供了一种激光去除蓝宝石表面镀层的装置,包括水平设置的底座,所述底座的上侧侧壁固定连接有两个对称设置的第一支板,且两个第一支板均为竖直设置,两所述第一支板之间设有水平设置的第一夹持机构,两个所述第一支板的上端共同固定连接有水平设置的第二支板,所述第二支板上设有伸缩机构,且伸缩机构的下端设有水平设置的移动机构,所述移动机构的下端设有第二夹持机构,且第二夹持机构上设有激光加工主体与清洗机构。本技术便于对不同大小的蓝宝石进行固定加工处理,且蓝宝石清洗方便。
2 一种加工蓝宝石衬底LED晶圆的方法及激光装置 
   简介:本技术提供了一种加工蓝宝石衬底LED晶圆的方法及激光装置,加工蓝宝石衬底LED晶圆的方法包括:划线,用划线激光在晶圆蓝宝石表面划线形成初始裂纹;切割,用红外激光沿着初始裂纹对蓝宝石表面加热;沿着初始裂纹对LED晶圆蓝宝石表面冷却。红外激光加热组件包括:红外激光器、红外光束第一反射镜组、红外激光束扩束镜组、光束整形组件和红外光束第二反射镜组。通过在LED蓝宝石晶圆表面用划线激光划线,再用红外激光对划线形成的初始裂纹加热,之后对加热区域进行冷却,使LED蓝宝石晶圆在拉应力和压应力的结合下沿初始裂纹裂开,切割质量更佳,切割端面光滑,利于光线通过,增加边缘强度,提高LED芯片的发光效率和使用寿命。
3 一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法 
   简介:本技术实施例提供了一种利用加热激光剥离方法制作图形化蓝宝石衬底的方法,包括采用加热激光剥离设备对报废的LED外延片进行激光扫描,放入高温炉进行高温分解,高温炉内混合气体为氢气、氮气、氯气、氯化氢中的一种及两种以上,气体总流量5‑100L/min,温度600‑1300℃;置于温度为70‑130℃的碱溶液中静置,再置于温度为80‑180℃的酸溶液中静置;再在内有温度为90‑140℃的体积比为1:4‑7的硫酸与双氧水的混合液的石英槽内进行清洗,用去离子水冲洗后甩干。本技术将报废的LED外延片在不损伤图形的基础上去除图形化蓝宝石衬底上的外延层制作成新的图形化蓝宝石衬底,使其重新利用,工艺简单,成本低。
4 激光剥离方法和蓝宝石衬底上发光二极管器件外延结构 
   简介:本技术提供了一种激光剥离方法和蓝宝石衬底上发光二极管器件外延结构,解决了现有技术中激光剥离蓝宝石衬底的过程中冲击波导致产品良率低的问题。该激光剥离方法包括在蓝宝石衬底上生长牺牲层,该牺牲层包括氮化系半导体层;在牺牲层中注入离子,该离子为还原性离子,受热与氮化系半导体层中的电子结合生成气体;在牺牲层表面生长发光二极管器件外延结构;采用激光穿过蓝宝石衬底对牺牲层进行照射使其分解,以将蓝宝石衬底和发光二极管器件外延结构分离。
5 一种紫外激光抛光蓝宝石的装置及方法 
   简介:一种紫外激光抛光蓝宝石的装置及方法,包括基板、转筒、转板、转动马达、转动齿轮和齿环,基板上表面中心有转筒,转筒顶部有转板,基板上表面安装有转动马达,转动马达输出轴安装有齿轮,转板下表面边缘处有齿环,齿环与转动齿轮啮合连接,此紫外激光抛光蓝宝石的装置通过转板的转动调节和横移板的横向位置调节以及纵移板的纵向位置调节,实现蓝宝石平面、弧面、球面的高精度紫外激光抛光加工,夹具通过滑动,可大幅度调整对蓝宝石的固定位置,再通过微调,实现蓝宝石的精确定位。
6 基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器及其制作方法 
   简介:本技术提供了一种基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器及其制作方法,该传感器结构包括蓝宝石光纤(1)、石英光纤(5)及连接这两种光纤的异质光纤熔接点(6),所述蓝宝石光纤(1)尾端具有通过飞秒激光刻蚀加工的法珀微腔(2),法珀微腔(2)所具有的第一反射面(3)和第二反射面(4)产生的两束反射光发生干涉且产生干涉信号(11);当所处的环境温度发生变化时,所述法珀微腔(2)的腔长和材料折射率发生变化,两束反射光之间的光程差随之发生变化,从而导致干涉信号(11)的变化;通过解调干涉信号得到法珀光程差,进而得到被测温度。本技术具有理论创新性,尺寸小、环境适应力强的特点,可用于狭窄测量环境下的高温精确传感。
7 一种调控激光点火用蓝宝石光学窗口热导率的装置及方法 
   简介:本技术提供了一种调控激光点火用蓝宝石光学窗口热导率的装置,包括蓝宝石基底,在蓝宝石基底与点火药接触端面上设置有透光阻热层。本技术还提供了一种调控激光点火用蓝宝石光学窗口热导率的方法。本技术提出的调控激光点火用蓝宝石光学窗口热导率的装置,解决了激光点火用光学窗口在发火阈值与耐压能力之间的矛盾,本技术采用蓝宝石作为窗口基底,蓝宝石具有较高的强度,可防止激光点火过程中发生尾喷失效,同时在蓝宝石基底上制备的透光阻热层热导率小,可防止点火热量大量耗散,相对于采用蓝宝石窗口可降低发火阈值,利于实现工程应用。
8 一种用于高功率光纤激光合束器的键合蓝宝石散热结构件 
   简介:本技术提供了一种用于高功率光纤激光合束器的键合蓝宝石散热结构件,包括金属外框,所述金属外框内设置有中间层蓝宝石、顶层蓝宝石、蓝宝石盖子和蓝宝石散热棒,所述蓝宝石底座顶端设置有中间层蓝宝石和蓝宝石散热棒,蓝宝石散热棒位于中间层蓝宝石内,所述中间层蓝宝石顶端设置有顶层蓝宝石和蓝宝石盖子,蓝宝石盖子位于蓝宝石散热棒上方。本技术,蓝宝石的热膨胀系数比金属要小得多,这种结构可以承载2‑3千瓦功率的激光,当承受更大功率的千瓦级的激光时,蓝宝石键合结构的膨胀相对较小,几乎没有变化,因此合束器的稳定性和可靠性大幅提升。
9 激光去除蓝宝石3D表面PVD镀层的工艺方法 
   简介:本技术属于蓝宝石表面处理技术领域,尤其涉及一种激光去除蓝宝石3D表面PVD镀层的工艺方法,用于去除PVD镀层的装置包括CCD相机、激光器、外光路系统、Z轴、U轴和抽尘系统;该方法包括如下步骤:该方法包括如下步骤:1)根据产品需求,将待去除PVD镀层区域进行分割,分别建立对应的加工模板、Z轴和U轴的位置信息;2)利用CCD相机对产品的正面以及背面轮廓进行抓取定位,将匹配的位置信息传输给激光扫描系统;3)通过调整Z轴与U轴,聚焦的激光分别去除产品的正面、侧面和背面的PVD镀层。本技术实现了产品3D表面的PVD镀层的360°去除,隐形图形拼接,位置精度高,去除区域透光高,PVD镀层去除边缘细腻平滑,蓝宝石材质无损伤。
10 一种适用于激光剥离前蓝宝石片抛光装置及抛光方法 
   简介:本技术提供了一种适用于激光剥离前蓝宝石片抛光装置及其抛光方法,包含:机台;用于支撑所述机台的机架;抛光头,其第一端通过一连接件与机台连接;其第二端用于在对晶圆抛光时,与晶圆的待抛光面接触;真空吸附平台,其设置在机架上,位于抛光头下方,其用于通过真空吸附固定晶圆;第一驱动机构,其与抛光头连接,用于控制抛光头进行自转的同时还沿着任意方向自由摆动。本技术具有减小晶圆受力,提高成品率,降低钻石抛光液的使用量,降低抛光成本的优点。
11 一种大尺寸掺钛蓝宝石激光晶体及其制造工艺
12 一种激光去除蓝宝石表面镀层的工艺方法
13 一种激光诱导KOH化学反应刻蚀和切割蓝宝石的加工方法
14 一种渐进式微米级蓝宝石衬底激光剥离工艺
15 一种利用激光切割蓝宝石衬底LED芯片的方法
16 蓝宝石晶片的加工方法和激光加工装置
17 一种蓝宝石亚微米级切面的激光高精加工方法
18 一种蓝宝石掺杂晶体激光高温传感系统及方法
19 一种激光刻蚀错位半球与ODR结合的蓝宝石图形衬底及配方技术
20 一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用
21 一种高速激光蚀刻蓝宝石镜片的方法
22 一种利用激光切割制备蓝宝石衬底LED芯片的方法
23 一种用于切割蓝宝石玻璃的红外激光加工装置
24 用于减少在管芯水平激光剥离期间机械损伤的蓝宝石收集器
25 基于激光划线加工工艺的蓝宝石晶圆裂片装置及方法
26 一种用于切割蓝宝石玻璃的红外激光加工装置
27 一种蓝宝石衬底LED芯片激光切割方法
28 用于减少在管芯级激光剥离期间所受机械损伤的蓝宝石收集器
29 用于减少在管芯级激光剥离期间所受机械损伤的蓝宝石收集器
30 一种用于激光切割油墨丝印蓝宝石的方法
31 基于飞秒激光技术的GaN薄膜与蓝宝石衬底的剥离方法
32 蓝宝石的激光切割方法
33 用于使用多种气体介质激光切割蓝宝石的系统和方法
34 激光输出装置及其蓝宝石挖槽方法
35 用激光来激光切割蓝宝石基材的方法和有系列缺陷边缘的含蓝宝石制品
36 红外激光切割蓝宝石玻璃的加工装置及其方法
37 一种激光加工蓝宝石面板的工艺及夹具
38 基于蓝宝石包层的片状钕玻璃激光放大器的冷却装置
39 一种蓝宝石激光挖槽装置及其挖槽方法
40 一种激光切割蓝宝石/陶瓷镜片的方法
41 一种激光成形切割蓝宝石基片的加工方法和装置
42 一种双激光束序列扫描精密加工蓝宝石的方法
43 用于加工蓝宝石的激光系统和方法
44 一种氮化镓LED蓝宝石衬底柔性电子应用的激光剥离方法
45 切割蓝宝石玻璃的光纤激光设备及切割方法
46 飞秒激光直写蓝宝石环形光波导及其配方技术
47 增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置的加工方法
48 一种将激光打孔应用于蓝宝石片打孔的方法
49 一种蓝宝石衬底的分布式激光打标
50 一种用于制备蓝宝石衬底的GaN基半导体激光器腔面的方法
51 一种激光加工中对准划切4寸LED蓝宝石晶片的控制方法
52 一种绿激光划片蓝宝石的工艺方法
53 利用紫外激光划切蓝宝石晶圆表面的加工方法
54 一种蓝宝石图形衬底激光剥离的方法
55 绿光和紫外光激光抛光蓝宝石的复合工艺方法
56 利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法
57 产生高重复频率周期量级飞秒脉冲的掺钛蓝宝石激光器
58 一种高光束质量的脉冲掺钛蓝宝石激光器
59 激光生长蓝宝石晶体的方法及其装置
60 从氮化物倒装芯片激光去除蓝宝石
61 掺钛蓝宝石激光晶体的生长方法
62 利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线
63 利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线的系统及方法
64 掺钛蓝宝石晶体激光棒的表面加工方法
65 掺钛蓝宝石和蓝宝石复合激光晶体的生长方法
66 掺钛蓝宝石自锁模激光器的自启动方法
 
  以上为本套技术的目录及部分简要介绍,完整内容都包括具体的配方配比和生产工艺制作过程。收费260元,购买或咨询更多相关技术内容可联系:微信/电话:13510921263



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