1 一种用于大直径单晶硅棒的多次取段复投工艺
简介：本技术提供一种用于大直径单晶硅棒的多次取段复投工艺，包括若干次连续取段拉制单晶硅棒和终段收尾拉制单晶硅棒，每次所述取段拉制单晶硅棒后进行复投，每次所述复投加料重量均相同；每次所述取段拉制单晶硅棒长度相同；所述收尾拉制单晶硅棒后石英坩埚内无剩料。采用本技术设计的一种用于大直径单晶硅棒的多次取段复投工艺，不仅可提高石英坩埚和硅原料的利用率，最大程度低降低埚底废料，保证单晶硅棒质量的一致性，提升单晶品质，降低生产成本。
2 单晶硅生长用掺杂剂的控制方法、装置、设备及存储介质
简介：本技术提供一种单晶硅生长用掺杂剂的控制方法、装置、设备及存储介质，包括：在当前单晶硅制备完成后，获取当前的工艺参数，将当前的工艺参数输入预设模型中，确定掺杂剂的目标挥发比例；获取在当前单晶硅制备完成后的掺杂剂的理论剩余量；根据理论剩余量和目标挥发比例，确定掺杂剂的实际剩余量；获取下次单晶硅生长用掺杂剂的理论需求量，并根据掺杂剂的实际剩余量和下次单晶硅生长用掺杂剂的理论需求量，控制下次单晶硅生长用掺杂剂的实际需求量。本技术实施例通过采用预设模型，能够准确获取当前单晶硅在拉至完成后至下次填料过程中掺杂剂的挥发比例，进而更好的控制下次填料的掺杂剂的量，使得生长的下次单晶硅的电阻率符合预设的要求。
3 一种单晶硅炉用碳碳坩埚预制体编织工艺
简介：本技术提供了一种单晶硅炉用碳碳坩埚预制体编织工艺，步骤如下：S1、根据预制体设计尺寸、密度要求计算总缠绕层数，从而计算出所需无纬布、网胎、纤维长丝总长度，进行连续式缠绕；S2、在工装上先铺一层平纹布，之后铺一层网胎，然后在横向、纵向均用纤维长丝均匀缠绕，再针刺，如此反复至预制体制作完成，其核心为横向、纵向长丝同时均匀缠绕。本技术采用上述一种单晶硅炉用碳碳坩埚预制体编织工艺，大大提高坩埚的强度，从而提高坩埚的使用寿命，同时降低原料成本和加工成本。
4 一种单晶硅电池片返工工艺
简介：本技术实施例是关于一种单晶硅电池片的返工工艺。该工艺包括以下步骤：用盐酸和氢氟酸的混合溶液同时去除电池片正背面的铝浆、氧化膜和氮化硅膜；用硝酸溶液去除残留的银浆；用硝酸和氢氟酸混合液去除所述电池片硅片表面的杂质。本技术提高了返工电池片的EL良率，缩减了电池片的返工步骤，降低了单晶硅电池片在返工时的破片率。
5 大尺寸单晶硅等径生长过程中调控液面位置的装置及工艺
简介：本技术提供了大尺寸单晶硅等径生长过程中调控液面位置的装置及工艺，结构包括外壳和内壳，内壳内设有保温材料和坩埚，坩埚底部设有升降杆，外壳内的上部设有提升机构和与之相连的导流筒，坩埚的侧部和底部均设有加热器；工艺包括稳定温度、引晶、放肩和转肩、等径，在单晶硅等径生长过程中，熔体硅的液面和导流筒可上、下浮动，以调整晶体生长界面的温度梯度。本技术大大增加了等径生长阶段的工艺调控窗口，使单晶硅等径生长阶段断棱率大大降低，提升了单晶棒的良率，同时，配以本技术可以缩短加热器的高度，降低单晶棒中氧含量。
6 一种单晶硅片晶圆图形夹角快速识别方法
简介：本技术提供一种单晶硅片图形夹角快速识别方法，包括：在光刻版(1)的对准线条(4)的垂直方向设置相距一定距离的两个等步距一维阵列式识别标尺(5)，将光刻版(1)上的标尺(5)转置至硅片晶圆(2)的主参考边(3)两端，观察读出识别标尺(5)分别与硅片晶圆(2)的主参考边(3)形成的刻度距离(h1、h2)，从而计算得到单晶硅片图形夹角。本技术的方法通过在光刻版上设置识别标尺，采用光刻工艺中将识别标尺转置到硅片晶圆上，可在显微镜下直接进行夹角定量识别，本技术的方法简单有效、识别精度高，适宜批量流片制造。
7 一种单晶硅提炼生产工艺及其精炼装置
简介：本技术属于单晶硅提炼技术领域，尤其为一种单晶硅提炼生产工艺及其精炼装置，包括底座，底座顶端的中部固定安装有炉体，底座的边侧垂直固定有四根导向柱，四根导向柱的中部活动嵌合有升降板，升降板的中部固定扣接有炉盖，炉盖的顶端垂直连通有拉伸管道，拉伸管道的内壁活动嵌合有石墨活塞，石墨活塞的底端垂直连接有籽晶棒，石墨活塞的顶端垂直固定连接有滚珠丝杆。本技术设置伺服电机通过变速箱带动丝杆螺母转动，进而螺合带动滚珠丝杆和石墨活塞沿着拉伸管道向下移动，使得籽晶棒接触硅熔体中，能够精确的控制转速，因此能够很好的保证缩颈生长工序、放肩生长工序、等径生长工序和尾部生长工序，以及精确的控制单晶硅棒料的生成速度。
8 一种用于清洗太阳能单晶硅片的清洗工艺
简介：本技术提供了一种用于清洗太阳能单晶硅片的清洗工艺，包括以下步骤：一）超声波清洗：将线割机切割下来的单晶硅片浸泡在装有自来水的超声清洗机内进行超声波清洗，清洗时间为10～15min，水温为30～35℃；二）放水：将步骤一）中清洗后的自来水排出，经过过滤净化处理后进行储存；三）碱性清洗：往步骤一）中超声清洗机内添加APM溶液，单晶硅片在APM溶液中清洗5～10min，清洗温度为45～55℃。本技术同样选用APM溶液和HPM溶液利用湿式化学法对单晶硅片进行清洗，但本技术一方面增加清洗液设计，使其在APM溶液之后使用，可以对单晶硅片的表面有机物进行清理，同时可以对APM溶液清理后残留的微粒再次进行清理，从而提高清洗效果。
9 一种太阳能单晶硅的制绒工艺
简介：本技术提供了一种太阳能单晶硅的制绒工艺，包括以下步骤：一）单晶硅片预清理：首先将单晶硅片依次用碱性溶液和酸洗溶液进行清洗后，再将其放入HF溶液浸泡1min，然后再通过超声波清洗仪进行清洗10～15min，最后经过烘干箱烘干得到清洁的单晶硅片。本技术通过选用十二烷基苯磺酸钠替代IPA，取消IPA的使用，一方面可以提高了制备工艺的环保性，降低了对环境的污染，同时降低了工艺制备难度，并且十二烷基苯磺酸钠同样可以降低制绒溶液的表面张力，增加制绒溶液对单晶硅片的润湿作用，促进气泡快速脱离单晶硅片，并且通过恒温加热搅拌器进行机械消泡，从而加快的消泡处理效率，对制绒工艺的效果进行保证。
10 基于无栅线、无掺杂接触的单晶硅异质结太阳能电池
简介：本技术提供了一种基于无栅线、无掺杂接触的单晶硅异质结太阳能电池，从上至下依次包括减反射薄膜、超薄金属薄膜、空穴选择性接触、单晶硅、电子选择性接触、背电极；所述的超薄金属薄膜为连续薄膜，厚度小于10nm。空穴选择性接触、电子选择性接触分别可为两层或者为一层。本技术引入超薄金属薄膜，避免了传统电池中栅线电极对太阳光的遮挡效应，增加了光生载流子的收集效率，同时增强了对长波段太阳光的限制作用，可大幅提高电池的短路电流；该金属薄膜还可提高电池稳定性，增加其柔韧性；整个电池结构简单，设计灵活，工艺简单，无需额外掺杂工艺，无需定义电极图形结构，工艺温度可控制在100℃以内，成本低廉。
11 评价单晶硅电池表面金字塔织构均匀性的方法
12 一种单晶硅片的配方技术
13 在单晶硅基片上外延生长制备双层钙钛矿锰氧化物薄膜的方法
14 一种用于生产高纯度单晶硅工艺用的机械密封装置
15 一种高效单晶硅电池的氧化退火工艺
16 湿法激光单晶硅嵌入式倒金字塔绒面制备
17 单晶硅制绒工艺及装置
18 一种单晶硅缺陷区域的检测方法及装置
19 表面沉积有氮化铝薄膜的单晶硅垫片的清洗方法
20 一种高效单晶硅片切割工艺
21 大直径高效N型单晶硅的制备工艺
22 低制绒添加剂耗量的单晶硅制绒方法
23 一种He离子束加工单晶硅的损伤轮廓确定方法
24 一种单晶硅生产工艺
25 一种金刚线切割单晶硅废料在线制造高纯工业硅的方法
26 基于液相抛光环境调控的单晶硅无损抛光方法
27 单晶硅多次加料连续生长的装置和工艺
28 单晶硅的制造方法、外延硅晶片、以及单晶硅基板
29 一种单晶硅抛光片热处理装置及工艺
30 一种六边形单晶硅棒的加工工艺
31 一种多边形单晶硅棒及其加工方法
32 一种用于晶体硅太阳能电池的制绒槽及单晶硅制绒工艺
33 一种提高单晶硅片洁净度的清洗工艺
34 布基单晶硅太阳能折叠板的层压工艺
35 一种高纯度单晶硅及其配方技术
36 基于持续称重获得单晶硅片切割损伤层厚度的测试方法
37 P型单晶硅电池背面及在其应用隧穿氧钝化接触的方法
38 一种金刚线切割单晶硅的制绒方法
39 单晶硅异质结太阳电池用两面差异化绒面结构及配方技术
40 一种单晶硅异质结太阳电池双面发电组件封装膜及封装工艺
41 单晶硅炉用炭炭导流筒修复腐蚀层的工艺方法
42 单晶硅片硼磷同扩的工艺
43 一种基于[111]单晶硅的气体敏感芯片阵列及其制作方法
44 一种太阳能电池单晶硅材料制备工艺
45 一种单晶硅摆片的制作方法
46 一种基于单晶硅纳米薄膜光电器件的气体与化学物质传感系统的配方技术
47 基于单晶硅基底的涡卷式微压缩机及其相关加工方法
48 一种清洗单晶硅片的混酸及其清洗方法
49 一种单晶硅变速放肩工艺
50 一种单晶硅棒的生产方法
51 金刚线切割单晶硅表面制绒方法
52 太阳能单晶硅棒细线化切割方法
53 太阳电池单晶硅基绒面生成工艺
54 一种60μm金刚线切割180μm厚度单晶硅片的工艺
55 一种利用腐蚀方法及微观检测确定单晶硅晶线的方法
56 一种铸造单晶硅的配方技术
57 铸造单晶硅用隔热底板、铸造单晶硅生长设备及铸造单晶硅的配方技术
58 一种单晶硅太阳能电池用新型陷光结构的配方技术
59 一种实现单晶硅与玻璃激光焊接前光学接触的装置与方法
60 一种单晶硅纳米薄膜柔性瞬态电子器件、配方技术和应用
61 一种太阳能单晶硅片生产工艺
62 一种对单晶硅生产中回收的氩气纯化的方法
63 一种新型单晶硅片制绒添加剂的制造及简单制绒方法
64 一种单晶硅片的清洗方法及其处理工艺
65 一种用于单晶硅拉制过程的氮气控制配盘及方法
66 一种低反射率单晶硅的制绒工艺
67 一种光伏单晶硅铸锭炉用碳碳纤维坩埚3D编制工艺
68 一种单晶硅片生产系统及其生产工艺
69 一种单晶硅片制绒用的硫酸软骨素-聚（乙烯基吡咯烷酮-乙烯基吡啶）共聚物的配方技术
70 倒金字塔绒面单晶硅片的制绒添加剂及其应用
71 热屏及单晶硅生长炉结构
72 热屏及单晶硅生长炉结构
73 热屏及单晶硅生长炉结构
74 单晶硅片刻蚀抛光方法
75 金刚线切割单晶硅片专用碱制绒添加剂及其使用方法
76 低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法
77 太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法
78 一种单晶硅棒切方工艺
79 一种＆lt;111＆gt;型单晶硅定晶向多线切割工艺
80 直拉单晶硅片的结构缺陷检测方法
81 基于标准CMOS工艺的多晶硅LED/单晶硅PD纵向光互连系统
82 一种单晶硅连续生产结晶加料设备及工艺
83 单晶硅正金字塔周期阵列结构绒面配方技术及其应用
84 背表面黑硅和氧化铝钝化协同增强型单晶硅电池的配方技术
85 单晶硅生长炉钼导流筒及加工工艺
86 一种非晶碳薄膜/单晶硅异质结太阳能电池及其配方技术
87 可弯曲单晶硅太阳能电池的生产工艺
88 一种微纳复合结构单晶硅片的制绒方法
89 一种利用陶瓷渣和单晶硅磨抛废料制备一体墙材的方法
90 外延层转移单晶硅用籽晶阵列衬底及其配方技术
91 一种太阳能电池板用单晶硅制备工艺
92 单晶硅太阳能电池的表面绒面配方技术
93 单晶硅棒加工成单晶硅抛光硅片的工艺
94 基于直拉法生长单晶硅的方法
95 一种超薄单晶硅片的配方技术
96 一种使用金钢线快速切割工艺的单晶硅片切片机
97 一种单晶硅太阳能电池的表面绒面配方技术
98 一种单晶硅表面蜂巢状结构及其配方技术
99 具有绒面结构单晶硅片及其配方技术和硅太阳能电池
100 一种清除单晶硅电池片烧结后脏片的工艺
101 一种单晶硅片的制备装置及配方技术
102 一种凹陷式类单晶硅籽晶熔化控制的装料方法
103 一种N型单晶硅双面电池的制作方法
104 一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备
105 一种电池生产工艺用单晶硅棒切片设备
106 用于金刚线切割单晶硅片制绒的添加剂及其应用方法
107 一种单晶硅片的清洗工艺
108 一种由硅烷制造直拉单晶硅棒的设备及方法
109 一种背接触异质结单晶硅太阳能电池及其制作方法
110 用于三维存储器的具有单晶硅的选择栅极晶体管
111 一种提高直拉单晶硅轴向电阻率均匀性的方法及装置
112 一种直拉法制备单晶硅的加工工艺
113 一种用于MCZ法拉制单晶硅的降氧工艺及装置
114 一种单晶硅硅体切割切片机的清洗方法
115 一种新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺
116 一种高稳定性含栲胶的单晶硅太阳能电池片表面织构液及其配方技术
117 一种含石榴皮提取物的单晶硅太阳能电池片表面织构液及其配方技术
118 一种含桃胶的单晶硅太阳能电池片表面织构液及其配方技术
119 一种高均匀性含丹皮酚的单晶硅太阳能电池片表面织构液及其配方技术
120 金刚线切割单晶硅片快速清洗制绒工艺
121 单晶硅生长过程中粘壁硅的去除方法
122 三角形单晶硅支撑粱结构式X射线氮化硅窗口构造及其配方技术
123 一种单晶硅太阳能电池组件
124 一种非抛光单晶硅基器件光刻对准标记的碱腐蚀加工方法
125 一种类单晶硅铸锭工艺
126 一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺
127 一种单晶硅卧式单棒开方机
128 一种单晶硅立式单棒开方机
129 一种M2型单晶硅放肩方法
130 一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉
131 一种单晶硅陶瓷坩埚的生产方法
132 一种制备单晶硅表面钝化电池的方法
133 一种单晶硅拉晶工艺
134 提拉法制备单晶硅棒过程中引细颈的方法
135 一种单晶硅的生产方法和生产设备
136 单晶硅的制造方法及制造系统
137 直拉法单晶硅生长中硅熔液的温度场控制技术
138 一种制作背接触异质结单晶硅太阳能电池的方法
139 单晶硅压力敏感膜片结构及其制作方法
140 一种制备高效铸锭多晶硅的方法及专用单晶硅片
141 一种小绒面单晶硅片制绒液及其配方技术
142 一种低反射率单晶硅片制绒液及其配方技术
143 一种去油去蜡单晶硅片制绒液及其配方技术
144 一种环保型单晶硅片制绒液及其配方技术
145 一种高均匀性单晶硅片制绒液及其配方技术
146 一种低挥发性单晶硅片制绒液及其配方技术
147 一种低残留单晶硅片制绒液及其配方技术
148 一种除油污单晶硅片制绒液及其配方技术
149 一种易清洗的单晶硅片制绒液及其配方技术
150 一种绿色环保单晶硅片制绒液及其配方技术
151 一种除异味单晶硅片制绒液及其配方技术
152 一种高效单晶硅片制绒液及其配方技术
153 一种低损伤单晶硅片制绒液及其配方技术
154 一种高效快速单晶硅片制绒液及其配方技术
155 一种高效环保单晶硅片制绒液及其配方技术
156 一种多晶硅和单晶硅线切割废料中杂质铁的去除方法
157 一种高沸点单晶硅片喷洒制绒添加剂
158 单晶硅传感器芯片的生产工艺
159 可改善设备工作效率的传感器单晶硅刻蚀装置
160 一种降低直拉单晶硅中氧含量的方法
161 一种以单晶硅为基底具有减摩抗磨和超疏水性能的材料及配方技术
162 用于单晶硅棒生产的掺杂工艺
163 一种单晶硅片无掩膜反应离子蚀刻绒面配方技术
164 一种用于制备大面积柔性超薄单晶硅片的湿法化学腐蚀法
165 籽晶生产方法及使用该籽晶进行类单晶硅铸锭的工艺
166 一种直拉法单晶硅生长中的掺嫁工艺
167 一种单晶硅太阳能电池的刻蚀方法
168 一种单晶硅片及单晶硅片减薄方法及应用
169 一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂
170 一种连续加料的单晶硅生长工艺
171 IGBT用8英寸单晶硅晶圆片的多晶背封工艺
172 一种单晶硅晶圆片边缘抛光工艺
173 基于(111)单晶硅片的高谐振频率高冲击加速度计及制作方法
174 整流单晶硅片免喷砂扩散镀镍工艺
175 一种用于单晶硅表面图案化微加工的贵金属催化化学腐蚀法
176 一种单晶硅空心微针结构的制作方法
177 一种单晶硅太阳能电池片的无醇制绒工艺
178 一种单晶硅片的退火制绒方法
179 一种单晶硅倒金字塔阵列结构绒面及其配方技术和应用
180 一种单晶硅倒金字塔阵列结构绒面及其配方技术和应用
181 提高400mm以上大直径单晶硅拉晶稳定性的方法
182 太阳能电池用单晶硅圆棒的开方工艺及应用
183 一种单晶硅电池丝网印刷前的非正常片的处理方法
184 全单晶硅铸锭炉
185 一种准单晶硅片绒面的配方技术
186 一种单晶硅太阳能电池片的干法刻蚀工艺
187 一种单晶硅太阳能电池片去除磷硅玻璃的工艺
188 单晶硅直拉法热屏调整工艺
189 一种太阳能单晶硅片清洗剂
190 一种减少单晶硅晶圆抛光片化学灼伤的有蜡抛光方法
191 一种单晶硅酸腐蚀片的加工方法
192 一种IGBT用高产能单晶硅晶圆片加工方法
193 一种减少单晶硅晶圆片划道的抛光工艺
194 单晶硅片的抛光方法、太阳能电池片及其制作方法
195 烧结后不合格单晶硅电池片的再利用及其栅线回收方法
196 一种单晶硅太阳能电池组件的封装工艺
197 一种单晶硅太阳能电池制造工艺方法
198 一种单晶硅片单面制绒的方法
199 一种单晶硅硅片清洗制绒工艺
200 单晶硅片晶圆的化学清洗工艺
201 一种冶金级单晶硅太阳能电池双层减反膜镀膜工艺
202 直拉单晶硅中避免铜沉淀形成于洁净区的热处理方法
203 用于太阳能电池的多晶硅/单晶硅异质结结构及其配方技术
204 一种从单晶硅环保废砂浆中制备白炭黑的方法
205 一种多晶/类单晶硅太阳能电池选择性发射极结构的配方技术
206 单晶硅片制绒添加剂及其使用方法
207 一种用于单晶硅片制绒前的粗抛清洗液及其使用方法
208 太阳电池用单晶硅片单面抛光方法
209 一种单晶硅太阳能离子注入工艺
210 一种提高单晶硅出片率的切割工艺及其装置
211 一种单晶硅制备工艺中排放氩气的净化回收方法与装置
212 单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控配方技术
213 一种异形尺寸的直拉单晶硅及其生长方法
214 大尺寸单晶硅炉用碳纤维硬质保温材料的配方技术
215 一种单晶硅片碱式制绒工艺
216 快速节能单晶硅拉制停炉工艺
217 硼镓共掺单晶硅片及其配方技术和太阳能电池
218 一种单晶硅太阳能电池的生产工艺
219 一种准单晶硅太阳能电池的配方技术
220 一种生产单晶硅的熔料工艺
221 一种在单晶硅衬底上制备金字塔阵列的方法
222 一种在（111）型硅片上制作单晶硅纳米长针尖的方法
223 一种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法
224 一种单晶硅的气相外延生长方法
225 N型直拉单晶硅的配方技术
226 一种拉制直径80mm高电阻率区熔单晶硅的工艺方法
227 一种超高清洗能力的单晶硅晶圆片清洗方法
228 一种改善表面颗粒的重掺砷单晶硅晶圆抛光片的抛光工艺
229 一种可获得高抛光速率的单晶硅晶圆片抛光工艺
230 一种重掺磷单晶硅晶圆片高致密性二氧化硅背封工艺
231 一种提高单晶硅晶圆抛光片保质期的包装工艺
232 一种盛载单晶硅晶圆抛光片片盒的清洗工艺
233 柔性单晶硅太阳能电池生产工艺
234 大面积薄型单晶硅的制作技术
235 一种单晶硅纳米线网状阵列结构的制作方法
236 一种单晶硅晶圆单切腐蚀片的加工方法
237 一种在单晶硅晶圆上实现高速率沉积SiO2薄膜的背封工艺
238 一种两面光泽度不同的单晶硅晶圆腐蚀片的加工方法
239 制造单晶硅
240 一种单晶硅片制绒添加剂
241 一种减压生产12寸单晶硅外延片的工艺
242 一种在单晶硅片上制备稀土修饰石墨烯陶瓷复合薄膜的方法
243 一种太阳能单晶硅电池的单面抛光工艺
244 一种单晶硅衬底上制备硅纳米线的方法
245 一种掩膜法制作背面抛光单晶硅电池的方法
246 一种区熔单晶硅生产工艺方法及区熔热场
247 制备亚微米级绒面结构单晶硅片的织构液及其配方技术
248 防热辐射直拉多或单晶硅制备工艺
249 复合加热防辐射式直拉多或单晶硅制备工艺
250 直拉多或单晶硅制备工艺
251 复合加热式直拉多晶硅或单晶硅制备工艺
252 一种类单晶硅片的烧结方法
253 一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺
254 一种多晶料在区熔单晶硅中的一次成晶工艺配方技术
255 降低太阳能８寸单晶硅片氧含量的方法
256 一种高透光发射极异质结单晶硅薄膜太阳能电池
257 一种双面受光异质结单晶硅薄膜太阳能电池
258 一种化学抛光法制作异质结单晶硅薄膜太阳能电池
259 一种酸性溶液清洁异质结单晶硅薄膜太阳能电池
260 一种高效率异质结单晶硅薄膜太阳能电池
261 一种化学氧化法制作异质结单晶硅薄膜太阳能电池
262 一种等离子清洁异质结单晶硅薄膜太阳能电池
263 一种高陷光异质结单晶硅薄膜太阳能电池
264 一种太阳电池用单晶硅片表面改性方法
265 单晶硅片表面的处理方法
266 一种准单晶硅片绒面的配方技术
267 一种单晶硅太阳电池的制绒工艺
268 一种用于单晶硅片制绒前的预清洗剂及使用方法
269 一种低反射率单晶硅制绒添加剂
270 一种无醇单晶硅制绒添加剂
271 一种基于金刚线切割的单晶硅片的湿法制绒方法
272 一种消除掺氮直拉单晶硅片中原生氧沉淀的方法
273 固结金刚石线切割单晶硅片的制绒方法
274 一种酸碱结合的单晶硅太阳能电池制绒方法
275 单晶硅制造工艺
276 一种ＩＧＢＴ用８英寸单晶硅片的酸腐蚀工艺
277 一种单晶硅衬底上制备硅纳米线的方法
278 IGBT用区熔单晶硅双面抛光片的有蜡贴片工艺
279 采用高温氧化制程制备ＩＧＢＴ用单晶硅晶圆背封材料的工艺
280 一种大腐蚀纹单晶硅碱腐蚀片加工工艺
281 一种单晶硅棒拉制工艺
282 一种在单晶硅表面接枝聚合物的方法
283 一种单晶硅片预清洗液及其清洗方法
284 一种制备单晶硅纳米结构的方法
285 单晶硅铸锭的制造工艺和铸锭炉热场结构
286 一种单晶硅片降低电阻值的处理方法
287 单晶硅片太阳能电池制造方法及其刻蚀方法
288 一种准单晶硅片的制绒方法
289 单晶硅棒的切方工艺
290 单晶硅片切割用砂浆的配制方法
291 单晶硅片的清洗工艺
292 一种单晶硅炉用炭／炭复合材料发热体
293 多晶或单晶硅废料回用去胶工艺及专用退火炉
294 一种单晶硅片制绒助剂及制造和使用方法
295 一种制绒白斑单晶硅片的返工工艺
296 一种超薄单晶硅片和制作该硅片的线切割装置及切割方法
297 一种半导体级单晶硅生产工艺
298 一种半导体级单晶硅生产工艺
299 提高单晶硅纵向电阻率一致性的装置及其处理工艺
300 一种太阳能电池生产中去除单晶硅片上手指印的方法
301 一种太阳能电池生产中单晶硅的扩散方法
302 一种选择性发射极单晶硅太阳电池的配方技术
303 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺
304 一种小绒面单晶硅太阳电池制绒促进剂及其应用
305 一种单晶硅太阳能电池碱制绒辅助剂及其应用
306 一种单晶硅纳米结构的配方技术
307 一种单晶硅片的预清洗方法
308 一种制作单晶硅纳米结构的方法
309 一种基于（１１０）单晶硅的微悬臂梁探针制作方法
310 纳米硅/单晶硅异质结径向纳米线太阳电池及配方技术
311 采用激光快速加热法制备单晶硅太阳能电池片背面钝化层的工艺
312 采用腐蚀浆料法制备单晶硅太阳能电池选择发射极的工艺
313 一种单晶硅清洗液及预清洗工艺
314 一种单晶硅制绒添加剂以及单晶硅制绒工艺
315 一种降低单晶硅内部气孔的生产方法
316 一种基于单晶硅衬底上多孔金字塔结构的制造方法
317 一种单晶硅棒外圆切割加工方法和装置
318 单晶硅生长用石英坩埚的两步制备法及装置
319 重掺单晶硅片先酸腐蚀后碱腐蚀的腐蚀工艺
320 重掺单晶硅片先碱腐蚀后酸腐蚀的腐蚀工艺
321 ８英寸轻掺单晶硅片的酸腐蚀工艺
322 单晶硅片植绒工艺液及其配方技术
323 一种准单晶硅片的制绒方法
324 单晶硅腐蚀剂的配方技术、对凸角硅进行腐蚀的方法
325 由单晶硅和多晶硅切割废料中回收硅和碳化硅的方法
326 一种降低单晶硅位错的方法
327 形成单晶硅层的方法
328 台阶式顶层单晶硅的绝缘体上硅衬底硅片的加工方法
329 单晶硅太阳能电池表面微区可控修饰工艺
330 非晶硅／单晶硅异质结太阳能电池铝背电场配方技术
331 一种次单晶硅铸锭炉的双腔体隔热笼
332 一种８英寸太阳能单晶硅切片工艺
333 一种单晶硅绒面结构的配方技术
334 一步法制备单晶硅太阳能电池绒面的方法
335 掺锗重掺磷直拉单晶硅片的内吸杂结构制备工艺
336 具有单晶硅在硅化物上的集成电路组件及其制造方法
337 一种低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法
338 低纯度单晶硅太阳能电池的制造方法
339 单晶硅片表面磷酸基硅烷－ＣｄＳｅ复合薄膜的配方技术
340 多(单)晶硅切割液
341 一种低表面反射率的单晶硅太阳电池绒面制作工艺
342 单晶硅太阳电池绒面上ｐｎ结杂质浓度分布的测量方法
343 一种单晶硅棒切方工艺
344 改善单晶硅太阳能电池减反射膜特性的方法
345 一种单晶硅太阳能电池的绒面制作方法
346 一种大直径低氧碳太阳能单晶硅片的配方技术
347 形成交替的Ｐ型和Ｎ型单晶硅结构的方法
348 单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜的配方技术
349 一种在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面的方法
350 单晶硅掺杂剂的生产工艺
351 用于制造ｎ型单晶硅太阳能电池的方法以及根据这样的方法制造的太阳能电池
352 单晶硅埚底料中石英的分离工艺
353 太阳能级６寸单晶硅片切割工艺方法
354 单晶硅太阳电池绒面的配方技术
355 一种单晶硅棒的生产工艺及设备
356 一种掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法
357 一种单晶硅片制绒的方法
358 单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其配方技术
359 磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面的方法
360 单晶硅制备炉石英埚增容加料装置
361 混合图形化单晶硅的绝缘层上锗结构、方法及应用
362 太阳能单晶硅切片工艺
363 一种低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺
364 单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法
365 单晶硅横向微型ＭＥＭＳ皮拉尼计及其配方技术
366 单晶硅薄膜组件的配方技术
367 单晶硅薄膜的配方技术
368 非易失性电荷俘获存储器件的单晶硅制造工艺
369 单晶硅的培育工艺中溶液的液面位置监视装置
370 单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的配方技术
371 具有单晶硅电极的电容性微机电传感器
372 提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法
373 单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜的配方技术
374 一种在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜的方法
375 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的配方技术
376 单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚的配方技术
377 单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏的配方技术
378 单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜的配方技术
379 单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜的配方技术
380 单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜的配方技术
381 单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气与氩气回收工艺
382 单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的配方技术
383 纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其配方技术
384 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法
385 单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列配方技术
386 单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
387 单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法
388 一种单晶硅抛光片热处理工艺
389 单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的配方技术
390 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
391 分离单晶硅埚底料中石英的工艺
392 绝缘体上单晶硅(SOI)材料的制造方法
393 具有非均匀少数载流子寿命分布的单晶硅及其形成工艺
394 单晶硅上大面积(100)取向的金刚石膜的生长方法
395 一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构
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