1、一种温度控制方法和设备、单晶炉
[简介]：本申请提供了一种温度控制方法和设备、单晶炉，涉及光伏技术领域，其中，温度控制方法应用于单晶炉内，所述单晶炉包括加热器、坩埚及等径长度监测装置，所述加热器用于对所述坩埚进行加热，所述等径长度监测装置用于实时获取所述坩埚内晶棒的等径长度L；所述温度控制方法包括：根据所述晶棒的等径长度L，控制所述加热器按照预设功率P对所述坩埚进行加热。本申请所提供的温度控制方法和设备、单晶炉，可以降低晶棒断线率，提高了晶棒品质及生产效率。
2、单晶炉及单晶硅的配方技术
[简介]：本技术提供了单晶炉及单晶硅的配方技术，单晶炉，包括单晶炉磁场装置、顶推控制杆，所述单晶炉磁场装置通过顶推控制杆进行升降控制，且单晶炉磁场装置通过设置的微调辅助机构进行位置微调；本技术设计单晶炉及相应的单晶硅配方技术，对于单晶炉磁场装置通过设置的承载环、微调辅助机构和锁定机构之间的配合使用，对于单晶炉磁场装置能够进行微调工作，进行微调修正，避免造成位置调控产生偏差，给单晶炉的使用提供便捷，提升单晶硅加工的工作质量，能够满足实际使用需求。
3、一种液体加料装置、单晶炉及其供料方法
[简介]：本技术提供一种液体加料装置、单晶炉及其供料方法，涉及晶体生长领域，以解决在晶体生长过程中向坩埚加入固体硅料时，坩埚内的液态硅料发生振荡而影响晶棒生长的问题。所述液体加料装置包括熔料装置和供料装置，熔料装置与单晶炉外部连接，熔料装置包括熔料腔和加热组件，加热组件将熔料腔内的固体物料熔化为液体物料，并将液体物料输送至坩埚，供料装置用于向熔料腔内输送固体物料。所述单晶炉包括上述技术方案所提的液体加料装置，所述单晶炉的供料方法用于上述技术方案所提的单晶炉。本技术提供的液体加料装置用于向单晶炉中加料。
4、一种用于半导体生产的单晶炉
[简介]：本技术涉及单晶炉设备技术领域，且提供了一种用于半导体生产的单晶炉，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体内设有坩埚和旋转管，所述旋转管贯穿单晶炉的底部和保温层与坩埚固定连接，所述旋转管可旋转可轴向移动，所述坩埚的内壁设有倾斜的第一导向件和第二导向件。该用于半导体生产的单晶炉，在二次加料时，通过储液环暂时储存硅液，在加料后再使液体回流到坩埚中，避免加料使硅液的溅射，保证单晶炉内的其他部件表面不被污染，同时直接在高温时直接加料，减少了能源的消耗，降低生产成本，其次，在需要排出废液时，通过旋转管的旋转将废液甩入排液管中，并通过旋转管直接排出，在不停炉的前提下，对废液进行清理，提高生产效率。
5、一种直拉单晶炉在线式热场再生方法
[简介]：本技术提供了一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，属于半导体技术领域；所述直拉单晶炉包括主炉壳；主炉壳顶部连接有副室，所述主炉壳内设置有保温筒，保温筒内设置有坩埚，坩埚的顶部设置有导流筒；载气和工艺气体通过进气管路沿导流筒进入坩埚，再沿坩埚与保温筒之间流入保温筒下部并沿抽气管路排出主炉壳；载气与工艺气体的体积比20‑50:1；载气为惰性气体，工艺气体为卤素气体；本技术通过载气和工艺气体的有序流动，在高温状态下与炉内杂质反应将其有效去除，延长了单晶炉内部炭素材料的寿命；提升了单晶棒的寿命。
6、一种单晶炉热场C/C结构件表层强化的方法
[简介]：本技术提供了一种单晶炉热场C/C结构件表层强化的方法。其步骤是：在C/C结构件表面涂覆第一强化胶液，并用耐高温柔性材料整体密封包覆后进行初步固化；拆去耐高温柔性材料后用砂纸对结构件的表面进行打磨；在结构件的表面涂覆第二强化胶液，用耐高温柔性材料整体密封包覆后进行第二次固化；将结构件拆去耐高温柔性材料后置放在高温炉内进行高温烧结，1600℃保温1小时后降温，得具有表面强化层的C/C结构件。
7、一种单晶炉用CDD内置相机
[简介]：本技术涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉用CDD内置相机，包括外壳、第一密封垫、第二密封垫和CCD相机，所述外壳的上方固定设置有第一密封垫，所述第一密封垫外侧的外壳内固定设置有第二密封垫，所述第二密封垫的内部和第一密封垫的外侧均抓都不敢安装有第二转环，所述第二转环和相邻第二转环之间转动连接有第一转环，第二转环的表面设置有第三密封垫，所述第一转环的表面固定设置有转柄，所述第一转环的内部固定设置有第一转轮。本技术的有益效果是：该单晶炉用CDD内置相机在使用时能够在调节摄像头朝向的同时实现二次密封，提升了装置的使用效果，而且还能够从炉外调节并观察摄像头的摆放角度。
8、用于单晶炉的翻板阀装置
[简介]：本技术提供一种用于单晶炉的翻板阀装置，单晶炉包括熔炼室与模室，翻板阀装置用于模室与熔炼室之间进行密封，所述翻板阀装置包括：翻板阀盖体，所述翻板阀盖体连接翻板阀安装梁；第一摇臂，第一摇臂与翻板阀安装梁相转动连接，第一摇臂由翻板阀轴带动绕翻板阀轴的轴线转动；第二摇臂，第二摇臂的第一端与翻板阀安装梁抗转动连接，第二摇臂的第二端在滑轨中滑动。据此，翻板阀装置通过连杆滑块结构能够实现熔炼室与模室之间的打开与关闭，并且能够易于检修。
9、一种单晶炉晶棒机械手装置及使用方法
[简介]：本技术实施例提供了一种单晶炉晶棒机械手装置，属于晶棒相关技术领域，作用于晶棒，机械手装置包括：升降组件；夹持组件，所述夹持组件位于所述升降组件的侧面，所述夹持组件和所述升降组件连接，所述夹持组件在所述升降组件的作用下可上下移动抓取不同长度的晶棒；以及连接组件，所述连接组件位于所述升降组件的侧面，所述连接组件和所述升降组件连接，且所述连接组件和所述夹持组件分别位于所述升降组件的两侧，通过所述连接组件使得机械手装置可快速对接外置的机械手底座；达到转移晶棒过程中，工作效率高的技术效果。
10、一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构
[简介]：本技术涉及机械技术领域。一种半导体硅单晶炉的籽晶提拉机构，包括旋转轴以及驱动旋转轴转动的驱动机构，还包括籽晶绳升降组件；籽晶绳升降组件包括防护罩、磁流体旋转密封件、球轴承、T形螺母、滑动螺杆、籽晶绳以及缠绕有籽晶绳的绕线轮，绕线轮上开设有螺旋状设置的绕线槽；旋转轴通过磁流体旋转密封件与防护罩相连围成空腔，空腔内安装有支撑球轴承的轴承座；旋转轴上以轴向为滑动方向滑动连接有位于空腔内的滑动螺杆；磁流体旋转密封件的外圈与T形螺母通过螺钉可拆卸连接，T形螺母位于空腔内；T形螺母与滑动螺杆设有相互匹配的螺纹结构，T形螺母与滑动螺杆通过螺纹结构螺纹连接，滑动螺杆上可拆卸连接有绕线轮。籽晶绳可原位置升降。
11、单晶炉的水冷热屏结构、单晶炉及单晶硅的生长方法
12、一种单晶炉用重锤结构
13、调节机构及单晶炉
14、一种单晶炉加热器自动打磨装置
15、一种用于集成电路生产的单晶炉
16、一种采用直拉法制备单晶硅的单晶炉
17、一种铸造单晶炉的散热结构及铸造单晶炉
18、用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉
19、一种单晶炉拉晶定埚位的精准确定方法
20、一种单晶炉自动剪籽晶装置
21、一种用于清除排气管道内氧化物的清理装置及单晶炉
22、用于硬轴单晶炉的取棒工装、单晶炉组件及取棒车
23、一种单晶炉的自动化焊接设备
24、一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法
25、一种单晶炉冷却装置
26、一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法
27、一种用于单晶炉炉室的智能防窜水塞焊装置及方法
28、一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统
29、单晶炉装置
30、一种单晶炉生产用智能水冷装置
31、单晶炉保温桶自动裹毡机
32、一种基于深度强化学习的单晶炉智能控制方法及装置
33、坩埚、坩埚组件和单晶炉
34、一种可变螺距的柔性感应加热系统及单晶炉
35、一种半导体生产用单晶炉
36、水冷套装置和单晶炉
37、一种分体式直拉单晶炉泄压方法
38、一种单晶炉
39、上提拉开放式单晶炉
40、一种单晶炉热场结构
41、坩埚装置、单晶炉装置及其工作方法
42、一种石墨加热器及包含石墨加热器的单晶炉
43、水冷套和单晶炉
44、一种单晶炉冷却装置
45、一种单晶炉用双孔放气过滤罐
46、一种单晶炉热场的主加热器的拆装装置及方法
47、一种蓝宝石晶体制备用的单晶炉
48、一种单晶炉用组合式抽真空系统
49、一种单晶炉加料筒及籽晶稳定装置
50、一种快速降温的单晶炉底盘及其使用方法
51、获取晶棒热历史的方法和单晶炉
52、单晶炉尾气提纯方法和装置
53、一种单晶炉拉晶控制的方法及装置
54、一种单晶炉和用于硅片生产的热系统
55、一种低氧单晶炉
56、一种单晶炉热场对中结构及对中方法
57、适用于硬轴单晶炉内置加料器的转移系统及转移方法
58、一种用于连续直拉单晶炉的原料粉碎及下料装置
59、一种单晶炉及单晶硅配方技术
60、单晶炉用加料装置
61、一种单晶炉及一种单晶
62、一种用于安装水平磁场单晶炉的炉外装料装置和方法
63、一种偏心的直拉硅单晶炉及其拉晶工艺
64、水冷套装置和单晶炉
65、一种工艺法兰及单晶炉
66、单晶炉冷却系统
67、一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置
68、一种单晶炉冷却组件及冷却装置
69、一种铸造单晶炉的对称性加热器结构及单晶铸造炉
70、一种单晶炉加料吊装夹头及吊装组件
71、一种单晶炉水冷屏焊接治具
72、基于数学模型的全局高精度单晶炉液位检测方法
73、拉晶过程中便于测量大直径晶棒的主炉室炉盖及单晶炉
74、一种单晶炉加料装置
75、换热装置、单晶炉及单晶生产系统
76、一种单晶炉停炉取棒保护装置
77、连续加料直拉单晶炉真空尾气自动除尘装置
78、一种利用铜或铜合金制备的单晶炉水冷热屏及其配方技术
79、一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法
80、单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置
81、一种晶体生长单晶炉、坩埚及晶体生长方法
82、一种锗单晶制备用单晶炉及工艺
83、一种单晶炉多次加料系统及加料方法
84、一种连续加料硅单晶炉
85、一种加热器及单晶炉
86、单晶炉及单晶硅晶棒的制造方法
87、一种单晶炉复投送料系统
88、一种组合式坩埚及利用该坩埚的单晶炉
89、一种实时监控单晶炉温度梯度的装置及其方法
90、一种单晶炉炉体卧式加工夹具
91、防溢硅涂料、涂层及单晶炉
92、坩埚和单晶炉
93、坩埚、坩埚组件和单晶炉
94、一种用于单晶炉热屏平行度检测的装置
95、单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法
96、单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统
97、一种自循环超导磁体及半导体单晶炉
98、一种拉晶方法及单晶炉
99、一种用于单晶炉热场拆清时石英坩埚敲击的装置
10-0、加热器组件和单晶炉
10-1、石英坩埚、坩埚组件和单晶炉
10-2、一种单晶炉及单晶硅生长方法
10-3、单晶炉加料系统及加料方法
10-4、一种小型单晶炉拉晶工艺
10-5、单晶炉晶体生长提升装置及单晶炉用卷丝轮组件
10-6、单晶炉及其加热保温系统、生长氧化镓晶体的方法
10-7、一种加热器及单晶炉
10-8、一种加热器和单晶炉
10-9、单晶炉用提升装置
11-0、一种单晶炉真空过滤装置及清理方法
11-1、单晶炉取棒装置及单晶炉
11-2、生长大尺寸蓝宝石单晶板材的单晶炉热场结构及方法
11-3、一种单晶炉热场升级的装置及方法
11-4、热场保温组件及单晶炉设备
11-5、一种单晶炉副室管道清扫机器人
11-6、一种单晶炉晶棒周转车
11-7、一种单晶炉液面自动测量补偿一体系统及方法
11-8、基于VCN协议实时监控多台单晶炉上位机界面的方法
11-9、一种带自动冷却设备的单晶炉底盘组件及其使用方法
12-0、一种单晶炉粘渣装置
12-1、一种单晶炉投料装置
12-2、一种单晶炉及单晶炉的拉晶温度控制方法
12-3、一种基于单相机的单晶炉液位、单晶棒直径的测量方法
12-4、单晶炉热交换设备及其应用方法
12-5、用于单晶炉的加料装置
12-6、一种单晶炉自动加料装置
12-7、一种防烧结单晶炉及单晶配方技术
12-8、一种单晶炉
12-9、用于单晶炉的防晶棒掉落装置和单晶炉
13-0、一种转动组件和单晶炉用坩埚驱动机构
13-1、一种单晶炉大直径旋板阀阀芯
13-2、单晶炉系统控制方法、装置、计算机设备和存储介质
13-3、适用于硬轴单晶炉副室的波纹管提升装置
13-4、温度控制方法和设备、计算机存储介质以及单晶炉
13-5、一种用于单晶硅制备的单晶炉及单晶硅的配方技术
13-6、一种基于视觉的单晶炉液位、单晶棒直径测量方法及装置
13-7、一种冷却屏及单晶炉
13-8、一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法
13-9、一种加热器及单晶炉热场
14-0、一种晶棒防坠落装置及单晶炉
14-1、伸缩式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法
14-2、一种单晶炉真空检测系统
14-3、一种多工位单晶炉及单晶人体关节配方技术
14-4、基于单晶炉的集中控制系统及控制方法
14-5、用于单晶炉的导流筒、单晶炉及导流筒的加工方法
14-6、直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉
14-7、单晶炉磁场强度测量装置和方法
14-8、一种夹具、晶棒抓取装置和单晶炉
14-9、一种硬轴单晶炉的拉晶装置
15-0、一种单晶炉现场集控移动Web应用系统
15-1、一种单晶炉辅助磁场控制系统及方法
15-2、单晶炉加料方法及单晶炉加料系统
15-3、一种单晶炉液体连续加料装置
15-4、一种单晶炉加热系统的控制方法
15-5、一种智能扫地机器人pcb板处理用单晶炉
15-6、一种隔热装置、单晶炉、以及单晶炉的使用方法
15-7、一种用于单晶炉石墨托杆及埚托拆装的一体式工装车
15-8、一种单晶炉籽晶酸洗装置
15-9、一种单晶炉副室智能清洁装置及其控制方法
16-0、一种节能型晶体生长单晶炉设备及其使用方法
16-1、一种单晶炉及其使用方法
16-2、单晶炉及单晶硅配方技术
16-3、一种光伏电池加工用单晶炉
16-4、一种单晶炉热屏导流筒
16-5、一种单晶炉用外置式吸杂加料方法
16-6、一种单晶炉外导流筒的生产工艺
16-7、一种单晶炉的铱坩埚加热装置和单晶生长的方法
16-8、一种单晶炉热场保温筒及其配方技术
16-9、一种观察窗及单晶炉
17-0、一种可以控制单晶硅氧含量的连续直拉单晶炉及方法
17-1、直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉
17-2、一种制备大尺寸蓝宝石晶体的方法及其使用的泡生法蓝宝石单晶炉
17-3、单晶炉
17-4、一种单晶炉液口距设置方法
17-5、一种单晶炉用加料设备
17-6、滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法
17-7、一种侧向加料的单晶炉
17-8、提高晶棒氧含量的方法及单晶炉
17-9、应用于汉虹单晶炉的单晶退火产品的生长方法
18-0、一种单晶炉内导流筒的生产工艺
18-1、一种单晶炉石墨加热器制备用钽箔预处理装置
18-2、一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置
18-3、一种单晶炉拉晶装置
18-4、一种拉晶控制方法和设备、单晶炉以及计算机存储介质
18-5、用于硅单晶炉热场拆清的高效清理装置
18-6、直拉单晶炉热屏装置及提高拉晶速率的方法
18-7、一种单晶炉用加料机
18-8、导流装置、单晶炉及导流控制方法
18-9、一种区熔单晶炉高频加热掺杂线圈
19-0、一种CZ单晶炉静态热场测量装置及静态热场的测量方法
19-1、一种支撑电极及加热器和单晶炉
19-2、一种单晶炉坩埚托盘原料处理装置
19-3、单晶炉加料方法、装置和存储介质
19-4、一种单晶炉自动调温方法
19-5、一种自动调控高效单晶炉
19-6、一种以导流筒为参照的单晶炉液口距单点测量方法及装置
19-7、一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法
19-8、检测单晶炉同轴度的方法、装置、设备及计算机存储介质
19-9、稳定300mm单晶硅片掺砷拉晶温度的单晶炉
20-0、一种低氧杂质含量的单晶炉
20-1、一种电阻式6英寸碳化硅单晶炉的机械系统
20-2、一种自动化单晶炉
20-3、一种单晶炉加料系统以及加料控制方法
20-4、一种单晶炉圆筒式主炉室的自动化焊接装置
20-5、一种单晶炉全自动电控柜
20-6、一种单晶炉热场生成方法
20-7、导流筒悬挂结构及单晶炉
20-8、一种单晶炉用自动上料车
20-9、一种单晶炉加料系统以及加料控制方法
21-0、一种单晶炉坩埚提升下轴称重装置
21-1、确定单晶炉引晶温度的方法及直拉法制备单晶硅的方法
21-2、单晶炉石墨中轴管道透视窗装置
21-3、单晶炉及应用方法
21-4、一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构
21-5、一种智能控制水流量的单晶炉
21-6、一种用于单晶炉的加料装置
21-7、隔离阀盖装置和单晶炉
21-8、一种单晶炉热场加热装置及其加热方法
21-9、一种单晶炉
22-0、一种单晶炉加料系统及加料控制方法
22-1、一种单晶炉用高导热性水冷热屏换热器
22-2、单晶炉冷却系统
22-3、一种用于单晶炉加料筒的快速连接器
22-4、一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法
22-5、一种检测设备和单晶炉
22-6、一种对单晶炉炉室防窜水塞焊后不锈钢酸洗法的装置
22-7、一种以导流筒为参照的单晶炉液口距双点测量方法及装置
22-8、一种用于半导体单晶炉设备电控提升臂装置
22-9、一种相互补料的单晶炉及其使用方法
23-0、一种硬轴单晶炉的晶棒防撞结构
23-1、一种单晶炉CCD相机支架机构
23-2、一种单晶炉
23-3、一种单晶炉用双底加热器
23-4、一种直拉硅单晶炉晶棒直径检测方法及其装置
23-5、一种单晶炉加热器自动升降机构
23-6、一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置
23-7、一种热场悬挂单晶炉及方法
23-8、一种硬轴单晶炉的主轴氧化物清理装置
23-9、一种用于单晶炉加料筒的半圆连接器
24-0、一种单晶炉齿轮箱籽晶提升装置
24-1、一种单晶炉结构及其使用方法
24-2、一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头
24-3、自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法
24-4、一种单晶炉用的热场及其单晶炉
24-5、一种单晶炉直拉对中校准系统及校准方法
24-6、一种用于单晶炉的主加热器
24-7、一种清理单晶炉内杂质底料的吸杂罐的配方技术
24-8、一种单晶炉气密性的检测方法
24-9、单晶炉加热装置、单晶炉及单晶炉的加热方法
25-0、一种高压单晶炉上下炉体锁紧及炉体密封结构
25-1、单晶炉热场加热器及单晶炉
25-2、用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机
25-3、一种VGF法生长单晶的单晶炉结构和温度控制方法
25-4、一种单晶炉半导体石墨坩埚提升装置
25-5、一种筒式单晶炉的半导体石墨热场
25-6、一种单晶炉用的加料设备
25-7、一种蓝宝石单晶炉提拉杆矫直装置及方法
25-8、一种单晶炉生产用两组粉料连续式成型生产线及其方法
25-9、一种泡生法蓝宝石单晶炉用坩埚盖结构
26-0、一种单晶炉及单晶硅的配方技术
26-1、一种换热装置及单晶炉
26-2、单晶炉热场加热器及单晶炉
26-3、单晶炉主腔室上部导热系统及其控制方法
26-4、用于单晶炉的坩埚组件和单晶炉
26-5、一种用于半导体设备单晶炉内石英坩埚的高度调节装置
26-6、一种新型单晶炉热屏升降装置
26-7、一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法
26-8、周期双向脉冲控制单晶炉软轴提拉系统无序摆动方法
26-9、直拉硅单晶炉
27-0、一种单晶炉用炉底加热器
27-1、蓝宝石单晶炉波纹管位移装置
27-2、一种用于半导体级硅单晶炉的石墨坩埚座
27-3、一种单晶炉副室清理装置及清理方法
27-4、一种单晶炉漏硅后快速引流装置
27-5、单晶炉热场装置、单晶炉及单晶生长控制方法
27-6、单晶炉及采用其进行单晶硅棒测量的方法
27-7、直拉单晶炉加热器
27-8、一种直拉单晶炉半导体石墨坩埚
27-9、一种单晶炉泄漏引流装置及单晶炉
28-0、一种单晶硅制造用单晶炉及其安装固定方法
28-1、一种单晶炉上传动高精度水平调整装置及方法
28-2、一种预测SiC单晶炉内整体温度场的方法及设备
28-3、一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉
28-4、自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法
28-5、单晶炉用钨丝绳拉伸试验夹紧装置
28-6、单晶炉、确定该单晶炉在单晶硅生长过程中操作参数的方法以及制备单晶硅的方法
28-7、一种单晶炉的组合套筒及单晶炉
28-8、一种直拉法单晶炉半导体石墨热场导流罩
28-9、单晶炉的除尘过滤系统及其控制方法、单晶炉组件
29-0、一种单晶炉提拉头校准装置及校准方法
29-1、铸锭单晶炉和铸锭单晶硅的配方技术
29-2、一种组合排气管和单晶炉
29-3、一种单晶炉用副炉室升降与旋转装置
29-4、单晶炉停炉预防热场损坏方法
29-5、可自动调节放肩工艺参数的单晶炉及控制方法
29-6、一种可调节半导体单晶硅熔液对流的热场及单晶炉
29-7、一种单晶炉拆装装置
29-8、一种单晶炉热场结构、单晶炉及晶棒
29-9、一种大直径半导体硅单晶的生长方法及单晶炉
30-0、单晶炉中长晶检测影像的处理方法、存储介质、上位机
30-1、一种单晶炉氩气尾气处理装置及其处理方法
30-2、一种单晶炉尾气连续在线回收装置及方法
30-3、一种单晶炉的组合套筒及单晶炉
30-4、一种单晶炉提拉头质心动平衡机构
30-5、一种单晶炉坩埚托盘的配方技术
30-6、一种实现炉内温度场梯度分布的高压单晶炉炉体结构
30-7、控制单晶硅尾部长度的方法及单晶炉收尾方法
30-8、自动稳定籽晶的单晶炉定位机构、单晶炉系统及稳定方法
30-9、用于单晶炉的液体吸取装置和液体吸取装置的控制方法
31-0、一种保温筒及单晶炉
31-1、一种单晶炉热屏导流筒
31-2、一种组合套筒、单晶炉及单晶硅棒
31-3、一种单晶炉加料系统
31-4、一种直拉单晶引晶工艺及用于该引晶工艺的单晶炉
31-5、一种直拉法制备硅单晶用单晶炉
31-6、一种单晶炉用换热系统及单晶炉
31-7、单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉
31-8、一种硅熔液液面位置的检测装置及单晶炉
31-9、一种半导体级硅单晶炉坩埚起吊装置及硅单晶炉
32-0、一种单晶炉隔离腔清理装置及清理方法
32-1、一种碳化硅半导体生产用的单晶炉
32-2、一种用于VB法InP单晶生长的单晶炉
32-3、一种半导体级硅单晶炉的排气装置
32-4、一种用于在线清理单晶炉内杂质底料的方法
32-5、一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉
32-6、用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器及使用方法
32-7、一种单晶炉及其上保温筒
32-8、单晶炉加热器
32-9、一种单晶炉热场用半导体石墨坩埚及其使用方法
33-0、新型单晶炉
33-1、一种单晶炉用两种粉料结合成型系统
33-2、一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法
33-3、一种单晶炉热场及单晶炉
33-4、一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构
33-5、生长碲化汞晶体的真空高压单晶炉系统及其控制方法
33-6、一种单晶炉及用该单晶炉进行直拉单晶稳温工艺
33-7、一种降低上排气方式单晶炉的晶棒中氧含量的方法
33-8、单晶炉热场加热器及单晶炉
33-9、加料装置及单晶炉
34-0、一种单晶炉尾气净化回收系统及方法
34-1、一种半导体单晶炉中炉筒升降旋转装置
34-2、一种新型单晶炉外置加料机
34-3、一种用于单晶炉自动化系统拉晶的工艺
34-4、一种太阳能电池原材料加工用单晶炉
34-5、一种炉体温度可调的冷壁单晶炉及砷化镓晶体生长方法
34-6、一种热场稳定的单晶炉
34-7、一种热场供热稳定的单晶炉
34-8、一种用于单晶炉夹取晶棒时的对中装置及使用方法
34-9、一种单晶炉电气控制装置
35-0、单晶炉自动定量真空加料系统
35-1、一种调整单晶炉加热器功率的方法及单晶炉
35-2、一种单晶炉用的水冷热屏钨丝安全保护装置
35-3、一种单晶炉除尘过滤系统
35-4、一种蓝宝石单晶炉可调观察装置
35-5、一种单晶炉用加热器及其加热工艺
35-6、单晶炉炉室防窜水塞焊工艺
35-7、单晶炉用加热器
35-8、一种高纯半导体单晶炉粘胶基石墨毡及其制备工艺
35-9、单晶炉用进料阀门控制装置、系统及方法
36-0、一种InSb单晶生长前杂质预处理用单晶炉及除杂方法
36-1、一种液口距定位装置、方法及单晶炉
36-2、一种掺杂方法、单晶装置及单晶炉
36-3、一种蓝宝石单晶炉上的热场结构
36-4、单晶炉及单晶硅配方技术
36-5、一种用于半导体设备单晶炉内石英坩埚的高度调节装置
36-6、单晶炉炉底板法兰焊接工艺
36-7、单晶炉二次加料装置
36-8、一种拉晶方法、一种单晶炉、一种计算机可读存储介质
36-9、单晶炉及单晶硅的配方技术
37-0、一种单晶炉加热器提升装置
37-1、一种直拉硅单晶炉平底导流筒
37-2、一种应用于单晶炉的副炉室
37-3、一种应用于单晶炉一体式水冷套结构
37-4、一种单晶炉用可变径导流筒
37-5、一种热屏及单晶炉用热场
37-6、一种单晶炉籽晶冷却杆及晶种附近熔体温度梯度调整方法
37-7、一种单晶炉及其坩埚托杆
37-8、一种单晶炉检漏方法和检漏隔离器
37-9、一种硅制半导体材料用单晶炉
38-0、单晶炉及利用该单晶炉制备晶棒的方法
38-1、一种单晶炉的两级抽真空系统
38-2、一种降低单晶炉运行功耗电极柱装置及使用方法
38-3、单晶炉漏硅检测方法、设备及存储介质
38-4、一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法
38-5、一种液口距确定方法、装置及单晶炉
38-6、一种单晶炉隔离阀自动挂接分离装置
38-7、单晶炉热场及其控制方法和单晶炉
38-8、一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉
38-9、基于贝叶斯融合的单晶炉液位检测激光光斑中心定位方法
39-0、一种降低晶体缺陷的单晶炉
39-1、一种碲锌镉单晶炉及碲锌镉单晶的生长工艺
39-2、加热器及具有其的单晶炉
39-3、直拉单晶炉加料装置
39-4、一种区熔单晶炉上料装置
39-5、一种提高CZ单晶炉调温效率的调温方法
39-6、能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法
39-7、一种直拉单晶炉及其纵向温度梯度的测定控制方法
39-8、带晶种升降单元的铸造硅单晶炉及硅单晶生长方法
39-9、一种集成电路制造用单晶炉导流筒安全吊装装置
40-0、单晶炉
40-1、一种单晶炉及单晶硅棒的配方技术
40-2、一种单晶炉
40-3、一种基于PLC的单晶炉水冷系统
40-4、一种单晶炉的二次加料装置及加料方法
40-5、单晶炉用卷丝轮传动导向机构
40-6、InSb晶体生长的单晶炉
40-7、一种单晶炉CCD双目液位测控装置和方法
40-8、一种大尺寸晶体生长单晶炉
40-9、一种单晶炉用钨丝绳对中调节装置及单晶炉
41-0、上提拉开放式单晶炉
41-1、一种单晶炉提拉头动平衡调试装置
41-2、一种用于单晶炉的放气阀
41-3、一种应用于单晶炉的主炉室结构
41-4、一种区熔单晶炉新型吊料装置
41-5、一种VGF/VB砷化镓单晶炉结构及生长方法
41-6、一种单晶炉热场用电极护套
41-7、一种半导体单晶炉腔体的焊接设备
41-8、一种具有隐藏式加热器的半导体硅单晶炉
41-9、蓝宝石单晶炉的晶体平衡提升装置及提升方法
42-0、一种单晶炉上料装置
42-1、一种用于单晶炉的原料粉碎装置
42-2、一种应用于单晶炉的底部法兰
42-3、泡生法单晶炉坩埚吊具
42-4、一种用于单晶炉的观察窗
42-5、一种单晶炉用碳/碳热场结构产品的快速CVD致密方法
42-6、一种用于纯化单晶炉工业氩气尾气的催化剂及配方技术
42-7、一种单晶炉及单晶硅的配方技术
42-8、一种侧面加样的单晶炉加样装置
42-9、单晶炉的热场结构以及单晶炉
43-0、一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉
43-1、制备砷掺杂剂的方法、应用氧化砷掺杂生长单晶硅的方法和单晶炉以及砷掺杂单晶硅
43-2、一种蓝宝石单晶炉冷却装置
43-3、一种应用于单晶炉的冷却装置及单晶炉
43-4、高效热交换单晶炉和单晶炉冷却导流筒及气冷系统
43-5、一种应用于单晶炉的炉盖
43-6、一种单晶炉导流筒的吊装装置
43-7、半导体单晶炉液面位置控制装置及方法
43-8、一种用于单晶炉冷却系统的分水器
43-9、一种单晶炉快速冷却装置
44-0、一种具有多重安全保护的单晶炉
44-1、一种单晶炉导流筒
44-2、感应加热直拉法生长单晶的称量装置及单晶炉
44-3、半导体单晶炉气囊密封式异形阀
44-4、一种VGF单晶炉、加热方法及存储介质
44-5、用高频波进行硅单晶生长过程控制的硅单晶炉
44-6、一种单晶炉用内导流筒
44-7、用于单晶炉的水冷热屏装置
44-8、一种防止单晶炉取装石墨埚底碰坏加热器的装置及方法
44-9、半导体单晶炉
45-0、一种单晶炉的电源系统
45-1、一种固定大尺寸单晶炉热场的支架结构
45-2、一种单晶炉
45-3、单晶炉隔离阀板移动装置
45-4、一种大尺寸单晶炉用上隔热屏的夹具结构
45-5、一种单晶炉二次加料方法
45-6、一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置
45-7、一种单晶炉电源多功率模块并联电流不平衡的校正方法
45-8、半导体单晶炉腔体的焊接工艺
45-9、应用节能型热场的单晶炉
46-0、一种用于单晶炉的称重系统
46-1、单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法及导流筒外屏和导流筒
46-2、一种单晶炉氩气节能供应方法
46-3、一种单晶炉冷却水的分水器结构
46-4、一种多点支撑的单晶炉坩埚杆
46-5、一种用于单晶炉的导流筒
46-6、一种单晶炉的炉盖
46-7、一种单晶炉连续投料输送机构
46-8、一种单晶炉加压装置
46-9、一种单晶炉坩埚托盘
47-0、连续拉晶单晶炉
47-1、制备n型单晶硅的方法和单晶炉
47-2、单晶炉用新型连续加料装置
47-3、单晶炉及其连续加料装置
47-4、一种单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法及导流筒外屏和导流筒
47-5、一种石墨导流筒装置、锥形热场及单晶炉
47-6、一种用于单晶炉冷却系统的分水器
47-7、一种大热场单晶炉
47-8、一种用于单晶炉的原材料混合装置
47-9、一种用于单晶炉的热场
48-0、一种在线监测直拉单晶炉内长晶界面形状的方法
48-1、一种直拉单晶炉加料装置
48-2、一种应用于单晶炉的副炉室延长段
48-3、一种单晶炉出料冷却系统
48-4、一种带有自动出料功能的单晶炉炉体
48-5、MCZ硅单晶炉用超导磁体励磁高频开关电源的控制方法
48-6、一种用于单晶炉的放气阀
48-7、感应加热直拉法生长单晶的辅助加热方法和装置及单晶炉
48-8、一种单晶炉加料装置
48-9、一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉
49-0、一种单晶炉提拉头动态动平衡机构
49-1、一种单晶炉用电极结构
49-2、一种单晶炉排气口自净化装置
49-3、一种单晶炉晶棒定位装置
49-4、一种用于单晶炉的进料加热装置
49-5、一种单晶炉籽晶夹头结构
49-6、半导体级硅单晶炉籽晶夹头装置及其应用
49-7、一种单晶炉可升降副炉室波纹管延伸机构
49-8、一种加工单晶炉加热器的工艺
49-9、单晶炉的锅跟比调节方法及锅跟比调节装置
50-0、蓝宝石单晶炉的晶体称重装置及称重方法
50-1、一种单晶炉
50-2、一种用于直拉单晶炉电极装置
50-3、一种单晶炉可提升水冷热屏装置
50-4、一种用于单晶炉的快捷化料机构
50-5、一种单晶炉用新型重锤
50-6、一种单晶炉真空管道清理方法
50-7、一种新式结构的单晶炉用加热器
50-8、200kg以上大尺寸蓝宝石单晶炉的热场结构
50-9、一种激光晶体单晶炉提拉生长工艺
51-0、一种用于单晶炉重复加料的石英加料筒
51-1、一种单晶炉拉晶生产工艺及单晶炉极限真空值获得方法
51-2、一种用于重掺磷硅单晶生产的防XX单晶炉及除磷方法
51-3、单晶炉的物料缓冲装置
51-4、半导体级硅单晶炉主加热器
51-5、单晶炉气体供应系统
51-6、一种CZ直拉法硅单晶炉副室取棒装置
51-7、一种用于清理单晶炉圆筒式上炉室的装置
51-8、一种单晶炉真空管道清理装置
51-9、冷却装置、单晶炉和晶棒的冷却方法
52-0、单晶炉用自动化控制系统
52-1、半导体级硅单晶炉底部加热器
52-2、用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管及其应用
52-3、一种蓝宝石单晶炉底部加热器及单晶炉
52-4、单晶炉及其副室
52-5、一种用于直拉单晶炉节电型热屏蔽结构
52-6、一种直拉单晶炉热场用石墨坩埚
52-7、一种碲锌镉单晶的新型单晶炉及生长工艺
52-8、单晶炉的自动加料装置及其操作方法
52-9、一种14吋砷化镓单晶炉及其拉1‑13根单晶生长方法
53-0、一种单晶炉的称重装置
53-1、一种瓶颈式反应管及高通量二维单晶炉装置
53-2、一种改进的单晶炉结构及其应用
53-3、一种大尺寸蓝宝石单晶炉的上隔热屏结构
53-4、一种用于单晶炉体的电极及其使用方法
53-5、一种新型硅单晶炉
53-6、一种基于原位合成法的InP单晶炉用观察窗装置
53-7、一种泡生法蓝宝石用单晶炉
53-8、一种单晶炉上料装置
53-9、一种简易单晶炉及其控制方法
54-0、一种用于单晶炉的原料粉碎装置
54-1、一种钼导流筒及单晶炉
54-2、单晶炉导流筒的提升装置
54-3、一种直拉单晶炉
54-4、CZ-80单晶炉自动收尾方法
54-5、一种硅单晶炉
54-6、全自动太阳能单晶炉专用减速机
54-7、一种新型碳化硅单晶炉
54-8、蓝宝石单晶炉称重检测系统、传感器滤波方法及切换方法
54-9、一种增强单晶炉热场材料力学性能的方法
55-0、单晶炉用热场及单晶炉
55-1、蓝宝石炉自动引晶控制系统和单晶炉引晶控制方法
55-2、一种高压单晶炉内防止热电偶被腐蚀或熔断的结构
55-3、一种碳化硅单晶炉用监控系统
55-4、缩短单晶炉熔料时间装置及方法
55-5、一种单晶炉石英坩埚的装料方法
55-6、一种碳化硅单晶炉
55-7、耐高温隔热保温涂料和提高单晶炉埚帮使用寿命的方法
55-8、一种单晶炉连续拉晶多次加料机构
55-9、一种单晶炉加压装置
56-0、一种单晶炉出料冷却系统
56-1、单晶炉熔料时间缩短装置及方法
56-2、直拉式单晶炉硅料复投装置
56-3、用于直拉单晶炉热场的加热器及使用方法
56-4、尾气过滤装置及单晶炉真空系统
56-5、一种单晶炉坩埚
56-6、一种蓝宝石单晶炉
56-7、一种碳化硅单晶炉用压力控制系统
56-8、一种用于单晶炉冷却系统的分水器
56-9、一种用于单晶炉的导流筒
57-0、一种单晶炉二次加料方法
57-1、一种用于单晶炉的原材料混合装置
57-2、一种用于单晶炉的称重系统
57-3、籽晶夹头及直拉单晶炉
57-4、一种泡生法蓝宝石单晶炉热屏对热场的影响
57-5、一种单晶炉的炉盖
57-6、一种单晶炉石英导流筒
57-7、一种单晶炉
57-8、一种单晶棒引晶和放肩装置、单晶炉及其工艺方法
57-9、通过化学热沉强化冷却技术实现晶体快速生长的单晶炉
58-0、一种用于单晶炉的进料加热装置
58-1、单晶炉硅溶液液面位置检测方法、装置及调整系统
58-2、具有退火装置的单晶炉及其控制方法
58-3、一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其配方技术
58-4、一种用于直拉硅单晶炉排气系统的排气管道
58-5、一种用于单晶炉的粉碎进料装置
58-6、一种单晶炉二次加料系统及加料方法
58-7、一种低能耗单晶炉
58-8、一种单晶炉复投料装置
58-9、一种新型单晶炉导流筒
59-0、含辅助加料结构的单晶炉及其应用
59-1、一种新型单晶炉坩埚
59-2、一种单晶炉用电阻加热器及使用该电阻加热器制备硅单晶的方法
59-3、一种直拉法制备大尺寸单晶硅棒的方法及单晶炉
59-4、一种用于单晶炉的两区加热器
59-5、一种用于单晶炉的出料系统
59-6、一种PVT法制备单晶用可控制载气流场的单晶炉
59-7、一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置
59-8、一种单晶炉引晶埚位的确定方法
59-9、生长大尺寸蓝宝石的单晶炉改进结构
60-0、一种提高HVPE法生长氮化物均匀性的单晶炉腔体
60-1、一种多次给直拉单晶炉加料的装置
60-2、一种可抑制波动的直拉硅单晶炉液位检测方法
60-3、提拉单晶炉晶体恒组分生长控制系统和方法
60-4、一种直拉单晶炉热场保温结构
60-5、一种带有自动出料功能的单晶炉炉体
60-6、蓝宝石单晶炉真空计防污染装置和真空计模块
60-7、泡生法晶体生长单晶炉脱锅方法、温控方法和控制方法
60-8、一种蓝宝石单晶炉用变温度气体充气系统及控制方法
60-9、一种单晶炉的主真空管路结构
61-0、一种单晶炉重掺单晶生产过程中籽晶用的牵引机构
61-1、改进的大尺寸蓝宝石单晶炉支架结构
61-2、导流筒及具有该导流筒的单晶炉用热场
61-3、一种单晶炉取棒辅助装置
61-4、一种实现在线电阻率调试的单晶炉及其控制方法
61-5、一种蓝宝石单晶炉和蓝宝石引晶方法
61-6、一种用于单晶炉真空系统的气体过滤装置
61-7、单晶炉真空系统用自动清洁过滤器
61-8、单晶炉
61-9、一种PVT法碳化硅单晶炉保温系统的快速纯化方法
62-0、一种用于单晶炉的原料输送取样装置
62-1、一种单晶炉用炭素材料组合坩埚
62-2、一种用于单晶炉的导流筒
62-3、一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置
62-4、单晶炉
62-5、一种改进的单晶炉用重锤
62-6、磷化铟单晶炉磷泡升降装置
62-7、用于蓝宝石单晶炉的变径钨杆加热器
62-8、一种用于单晶炉的停炉冷却方法
62-9、一种低功耗的单晶炉
63-0、泡生法用单晶炉及其籽晶保护结构以及晶体生长控制方法
63-1、一种大尺寸蓝宝石单晶炉保温结构
63-2、一种单晶炉的上炉体
63-3、磷化铟单晶炉热偶升降装置
63-4、用于蓝宝石单晶炉的组合式下隔热保温屏
63-5、一种单晶炉埚杆的修复方法
63-6、应用于单晶炉的晶体称重装置
63-7、一种单晶炉在线掺杂装置
63-8、蓝宝石单晶炉砌装式隔热保温屏及其专用炉壁砖组件
63-9、单晶炉导流筒的吊装装置
64-0、单晶炉的上炉体
64-1、一种单晶炉二次增料装置
64-2、蓝宝石单晶炉
64-3、一种方形蓝宝石单晶炉热场结构
64-4、一种单晶炉管道
64-5、一种磷化铟单晶炉观察窗防污染装置
64-6、一种单晶炉的停炉冷却系统及工艺
64-7、单晶炉的磁屏蔽体结构
64-8、用于蓝宝石单晶炉的铆接式钨板加热器
64-9、一种带有内部水冷单晶炉用涂层热屏
65-0、一种测量单晶炉熔硅液面高度的装置与方法
65-1、基于网络的单晶炉监控系统
65-2、一种拼接型直拉单晶炉固化保温桶
65-3、一种单晶炉三相同步应急电源
65-4、一种单晶炉真空过滤装置及清理方法
65-5、一种新型单晶炉
65-6、蓝宝石单晶炉的水冷电极
65-7、单晶炉热场
65-8、一种单晶炉碳/碳复合材料隔热屏及其配方技术
65-9、单晶炉夹取装置
66-0、一种单晶炉
66-1、用于单晶炉的外部装料机构
66-2、单晶炉的晶硅承重机构
66-3、一种单晶炉的加料方法
66-4、一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置
66-5、用于单晶炉的坩埚轴
66-6、一种蓝宝石单晶炉保温结构
66-7、一种用于蓝宝石单晶炉上隔热屏观察孔的嵌套
66-8、单晶炉放气阀
66-9、一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置
67-0、单晶炉真空管道清洁器
67-1、蓝宝石单晶炉用焊接式钨发热笼及其焊接方法
67-2、一种新型单晶炉导流筒
67-3、单晶炉的导流筒
67-4、一种新型单晶炉顶部安全阀
67-5、单晶炉重锤、单晶炉、硅单晶的直拉方法及硅单晶
67-6、单晶炉的热场
67-7、单晶炉的加料方法
67-8、一种蓝宝石单晶炉保温结构
67-9、一种激光晶体单晶炉安装支架
68-0、单晶炉炉压检测报警补偿系统
68-1、单晶炉加料机构
68-2、Cz硅单晶炉用高频开关电源的控制系统及控制方法
68-3、一种改进型单晶炉热屏导流筒
68-4、单晶炉水冷套温度控制系统
68-5、一种生长方形蓝宝石的单晶炉热场结构
68-6、一种单晶炉用石墨坩埚
68-7、电阻炉单晶炉所需的石墨电极水平支架装置
68-8、单晶炉冷却系统
68-9、一种承重的单晶炉导流筒
69-0、一种用于直拉式单晶炉的石墨坩埚
69-1、单晶炉翻板箱冷却结构
69-2、单晶炉双加热器组合电极结构
69-3、在蓝宝石单晶炉中应用的氧化锆保温结构
69-4、单晶炉中轴盖
69-5、用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置
69-6、一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器
69-7、一种可消除停炉时空载电能损耗的单晶炉
69-8、能减少挥发物在蓝宝石单晶炉反射屏视窗口上粘附的装置
69-9、一种单晶炉炉盖
70-0、一种便于取放的单晶炉导流筒
70-1、一种单晶炉二次加料装置以及加料方法
70-2、一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的温场中心定位装置
70-3、单晶炉热屏提取装置
70-4、一种蓝宝石单晶炉底部保温结构
70-5、用于单晶炉的石英销
70-6、区熔单晶炉中夹持针的调整控制装置
70-7、一种单晶炉安装支架
70-8、直拉单晶炉磁场装置及使用该磁场装置的拉晶方法
70-9、一种提高直拉法单晶生长速度的单晶炉
71-0、一种单晶炉隔热屏及其配方技术
71-1、一种蓝宝石单晶炉上部保温结构
71-2、单晶炉的加热装置
71-3、单晶炉用内层隔热屏
71-4、单晶炉用自控式加热系统
71-5、用于单晶炉外部复投料装置的落料机构
71-6、单晶炉籽晶触液检测装置
71-7、一种具有不同密度层的套筒式单晶炉保温筒
71-8、一种双向平动机构及区熔单晶炉
71-9、一种改善区熔单晶炉热场的反射环提升装置
72-0、单晶炉用热屏蔽器
72-1、带支撑环的单晶炉热场
72-2、一种单晶炉二次加料方法
72-3、单晶炉非接触式硅棒晶线测量方法
72-4、用于直拉硅单晶炉的块状多晶硅加料装置
72-5、用于单晶炉的石墨坩埚
72-6、一种单晶炉中氧含量的控制方法
72-7、单晶炉二次加料漏斗装置
72-8、单晶炉多功能取晶棒车
72-9、一种用于单晶炉设备的观测机构
73-0、一种单晶炉整体
73-1、直拉单晶炉及用于直拉单晶炉的碳碳复合材料的加工方法
73-2、单晶炉水冷套结构
73-3、单晶炉用伸展式热屏蔽器
73-4、一种晶体夹持装置及区熔单晶炉
73-5、一种单晶炉导流筒的制作方法
73-6、一种泡生法单晶炉的全角度视窗
73-7、一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉
73-8、带编码器的单晶炉
73-9、单晶炉液面测温装置
74-0、单晶炉及其加热器
74-1、一种连续加料硅单晶炉
74-2、单晶炉非接触式硅料液面位置测量方法及装置
74-3、单晶炉传动轴及其生产方法
74-4、单晶炉用均热式加热系统
74-5、蓝宝石单晶炉的称重机构
74-6、蓝宝石单晶炉双向对称式抽空系统
74-7、蓝宝石单晶炉分段式钨丝网加热器
74-8、一种直拉硅单晶炉的硅熔体液面相对位置的测量方法
74-9、蓝宝石单晶炉
75-0、蓝宝石单晶炉测温仪观察镜片的清扫装置
75-1、一种单晶炉加料装置
75-2、一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统
75-3、直拉法单晶炉热场中的石墨件的清洗方法
75-4、用于单晶炉的真空系统过滤器
75-5、新型单晶炉热场、拉制轻掺硅单晶棒的新型单晶炉热场
75-6、除氧型单晶炉
75-7、单晶炉加热系统
75-8、单晶炉引晶温度寻找和控制方法
75-9、区熔单晶炉下轴运动机构
76-0、一种单晶炉熔料过程中的热能控制方法
76-1、单晶炉加热器螺丝的装卸工具
76-2、蓝宝石单晶炉隔热保温系统
76-3、一种单晶炉
76-4、一种单晶炉高温熔料泄漏引导保护装置
76-5、能够测量熔硅液面与导流筒之间距离的单晶炉热场装置
76-6、单晶炉用放气阀
76-7、单晶炉导流筒悬挂结构
76-8、硅单晶炉炉盖观察窗
76-9、双上炉体连续加料硅单晶炉及其使用方法
77-0、一种单晶炉二次加料器
77-1、单晶炉坩埚防尘装置
77-2、单晶炉炉门数控加工变形控制方法
77-3、能够快速换料的单晶炉及单晶炉快速换料方法
77-4、硅单晶炉翻板阀室观察窗
77-5、用于硅单晶生长的连续加料装置及设置该装置的单晶炉
77-6、单晶炉加热系统
77-7、双加热器移动热屏式直拉单晶炉
77-8、单晶炉的取棒装置
77-9、直拉式单晶炉中石墨坩埚
78-0、蓝宝石单晶炉用称重装置
78-1、一种单晶炉
78-2、单晶炉的热场
78-3、单晶炉翻板限位机构
78-4、直拉式单晶炉的可调托晶盘装置
78-5、直拉式单晶炉用坩埚驱动装置
78-6、拆装方便的单晶炉炉体
78-7、具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场
78-8、一种从单晶炉中取出单晶棒的方法
78-9、一种单晶炉抽气孔堵塞的处理方法
79-0、单晶炉热场中轴挡料罩结构
79-1、带观察窗的单晶炉上炉盖
79-2、一种单晶炉加热装置
79-3、单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法
79-4、带测温接口的单晶炉下炉体
79-5、用于单晶炉的外部连续投料机构
79-6、单晶炉的炉体
79-7、硅单晶炉摄像头安装支架
79-8、直拉式单晶炉用籽晶提升装置
79-9、新型单晶炉热场
80-0、一种硅单晶炉的热场系统
80-1、一种用于单晶炉真空除尘过滤的系统
80-2、具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法
80-3、单晶炉坩埚取出装置
80-4、一种砷化镓单晶炉电气控制系统
80-5、密封性好的单晶炉炉体
80-6、单晶炉的石英坩埚
80-7、单晶炉隔离系统
80-8、单晶炉热屏升降装置
80-9、直拉式单晶炉的副炉
81-0、单晶炉自动引晶系统及方法
81-1、单晶炉晶棒定位装置及采用单晶炉晶棒定位装置的单晶炉
81-2、单晶炉的上炉体
81-3、用于直拉硅单晶炉的热屏装置
81-4、一种单晶炉加热系统
81-5、一种增高单晶炉
81-6、带镁棒接口的单晶炉上炉体
81-7、配置电极保护套的单晶炉
81-8、单晶炉热场中保温桶提升装置
81-9、直拉式单晶炉的下炉体
82-0、网络单晶炉信号采集器
82-1、硅单晶炉测温探头安装机构
82-2、一种单晶炉的装料方法
82-3、一种能漏硅后防护的单晶炉
82-4、谐波差速传动装置及采用谐波差速传动装置的单晶炉
82-5、一种可提高单晶炉生长速度的冷却装置
82-6、大直径单晶炉勾型电磁场装置
82-7、单晶炉的热屏
82-8、一种单晶炉旋转机构的轴密封结构
82-9、一种单晶炉副室提升操作的自动保护方法
83-0、一种增加单晶炉投料量的方法
83-1、直拉硅单晶炉的硅熔体液面位置及单晶棒直径的测量方法
83-2、用于MCZ单晶炉的非对称勾形磁场的三维优化设计方法
83-3、单晶炉装置
83-4、副炉开门式单晶炉
83-5、单晶炉装置
83-6、用于单晶炉的保温筒以及具有其的单晶炉
83-7、可消除挥发份在热屏外侧沉积的单晶炉热场
83-8、一种单晶炉的石墨热场
83-9、直拉单晶炉硅液面位置控制方法及装置
84-0、单晶炉装置
84-1、一种单晶炉热场
84-2、一种单晶炉及抑制单晶炉的软轴摆动的方法
84-3、单晶炉中三瓣锅
84-4、一种单晶炉重锤软轴夹具
84-5、一种单晶炉真空管道粉尘的收集方法及收集装置
84-6、单晶炉称重装置
84-7、直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法
84-8、单晶炉余热循环利用装置
84-9、用于MCZ单晶炉的勾形磁场的优化设计方法
85-0、开门式单晶炉取棒车
85-1、单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉
85-2、一种直拉硅单晶炉的复投料装置
85-3、单晶炉装置
85-4、一种单晶炉用冷却水的处理方法
85-5、一种三瓣石墨坩埚单晶炉
85-6、一种单晶炉热场结构
85-7、直拉单晶炉石墨坩埚
85-8、一种硅单晶炉热场系统的改进方法
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