石墨舟镀膜加工工艺技术制作方法

1、一种石墨舟防粉尘产生的预镀膜方法
 [简介]：本技术提供了一种石墨舟防粉尘产生的预镀膜方法，包括以下步骤：步骤1，将石墨舟进行清洗及烘干；步骤2，将清洗干净的硅片作为假片，装载到石墨舟上的相应位置；步骤3，将石墨舟置于镀膜设备中，在石墨舟的表面沉积出非晶硅薄膜，作为非晶硅薄膜的结构缓冲层可以显著降低结构热应力。根据本技术，其通过在石墨舟片上预先沉积一定厚度的氮化硅、碳化硅等薄膜，此类薄膜的热膨胀系数通常约为4.0～5.0×10?6K?1，作为非晶硅薄膜的结构缓冲层可以显著降低结构热应力，从而大大延长石墨舟的清洗周期，降低生产成本。
2、一种硅片镀膜用石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种硅片镀膜用石墨舟，包括：通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片；石墨舟片上设有：可承载单个竖置硅片的卡点组；石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔；该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面，该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸，且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端。本技术硅片镀膜用石墨舟，其卡点与石墨舟片卡接，且可自由设置卡点在对应条孔中的安装位置，既能承载硅片整片，又能承载该硅片整片所分割出的分片。
3、一种解决石墨舟镀膜工艺中膜厚异常的方法及石墨舟镀膜工艺方法
 [简介]：本技术提供了一种解决石墨舟镀膜工艺中膜厚异常的方法及石墨舟镀膜工艺方法，所述石墨舟镀膜工艺方法，包括：将晶硅太阳能电池硅片在通高纯氮气时置于第一预设温度环境中，关闭炉门，抽真空；炉管内达到真空要求后，升温至第二预设温度后检测炉管密闭性；向炉内通氨气和硅烷，在一定电压下反应生成氮化硅；执行所述S1和S2后，获得氮化硅沉积后的晶硅太阳能电池硅片；冲洗吹扫并充氮气后出舟，完成镀膜工艺。本技术有效解决了新饱和石墨舟使用初期氮化硅膜厚偏低颜色发红和使用末期氮化硅膜膜厚偏大颜色偏白问题，使石墨舟使用整个周期内氮化硅膜厚和颜色保持稳定，大大降低了返工，减少生产成本，提升经济效益。
4、一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟，涉及太阳能电池镀膜技术领域，针对现有的太阳能电池的镀膜硅片在插片过程中,硅片的表面容易被划伤,形成划痕，存在影响产品质量，在通过电磁力对硅片进行固定时，硅片还存在容易在插片过程中发生位移的问题，现提出如下方案，包括石墨舟和石墨舟片，所述石墨舟由若干个石墨舟片并排连接而成。本技术通过两个石墨舟片之间位置可调节设计，不仅可以避免在插入硅片时石墨舟片对硅片表面造成磨损划伤，同时可以通过石墨舟片对硅片进行相应厚度的限位，其中，通过推筒在连接轴外表面的螺纹旋合连接设计，便于通过推筒的旋转水平运动向外侧推动石墨舟片，从而增加两个石墨舟片之间的间距。
5、一种用于太阳能电池镀膜的石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种用于太阳能电池镀膜的石墨舟，包括第一石墨舟片、第二石墨舟片、陶瓷圈、陶瓷杆、石墨螺帽和卡点，其中，第一石墨舟片和第二石墨舟片交替并列设置，在第一石墨舟片和第二石墨舟片上设置有通孔，陶瓷圈设置在第一石墨舟片和第二石墨舟片之间，陶瓷杆穿过通孔并穿过陶瓷圈，陶瓷杆的两端通过石墨螺帽将交替并列设置的第一石墨舟片、第二石墨舟片和陶瓷圈并紧，陶瓷圈的侧壁上设置有至少两个所述清洗孔，第一石墨舟片和第二石墨舟片放置硅片的位置设置有卡点孔，卡点设置在卡点孔内；通过在陶瓷圈上设置两个清洗孔，可以在清洗石墨舟时对陶瓷圈内部进行清洗，有效防止了由于石墨粉使相邻两石墨舟片导电，保证了镀膜的效果。
6、一个腔体内对多个石墨舟同时镀膜的工艺方法及镀膜装置
 [简介]：本技术提供了一种在一个腔体内对多个石墨舟同时镀膜的工艺方法及镀膜装置，该工艺方法包括以下步骤：通过机械手将至少两个石墨舟单元放到推舟上；推舟承载石墨舟并将其送入反应炉；反应炉密封并加热；反应炉上的至少两个独立电极单元对各自匹配的石墨舟单元进行独立放电，形成至少两个单独的辉光区；推舟将工艺完成的石墨舟送出反应炉；机械手将石墨舟搬走。本技术的工艺方法通过对每个石墨舟单元独立放电，每个石墨舟单元形成单独的辉光区，使射频控制分开，实现独立控制辉光，便于控制，有效防止硅片与石墨舟卡点打火烧焦而造成的硅片报废。
7、一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟，包括腔体、石墨舟本体和硅片，所述的石墨舟本体设在腔体内，所述的腔体为长方体或圆柱体，所述的腔体水平方向的直径大于两个硅片尺寸，所述的石墨舟本体包括若干个石墨舟片，所述的石墨舟片的横截面形状为“E”字形，所述的石墨舟片均垂直于水平面，所述的石墨舟片之间相互平行排列，所述的石墨舟片有两个开口向上的开口槽，所述的硅片固定在开口槽内，相邻两个石墨舟片的间距为3毫米～7毫米，本技术提供一种产能高、一次性完成双面镀膜且PERC技改或扩产过程中插片机和镀膜设备的需求减少的用于太阳能电池双面镀膜的石墨舟。
8、一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟
 [简介]：本技术属于太阳能电池制备技术领域。本技术提供了一种太阳能电池硅片镀膜用石墨舟，其由石墨舟叶、陶瓷固定柱、石墨固定块和石墨螺母；石墨舟叶的上下边缘各设有一排固定孔，陶瓷固定柱通过固定孔将若干石墨舟叶固定在一起；石墨固定块设于石墨舟叶的两端，石墨螺母设于陶瓷固定柱和石墨固定块的两端；陶瓷固定柱上设有支撑圈支撑相邻石墨舟片。本技术不仅适用于常规单、多晶工艺，并且也适用于现在流行的单、多晶PERC电池以及黑硅电池工艺等；使用本技术专利技术可以大幅度降低崩点、碎片的发生；本技术专利技术简单、便于操作、不需要改造设备等易于操作、易于大规模实施。
9、一种石墨舟饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种石墨舟饱和双层膜结构及镀膜工艺和石墨舟，石墨舟饱和双层膜结构包括沉积在所述石墨舟上的耐腐蚀膜和沉积在所述耐腐蚀膜上的钝化膜。本技术的一种石墨舟双层膜结构，包括位于内侧的耐腐蚀膜层和位于外侧的钝化膜，耐腐蚀膜层具有绝缘、坚硬和致密的特性，在后续石墨舟的分拆、酸洗、烘干和再组装时，由于其耐腐蚀特性将保留在石墨舟片表面，防止石墨舟片被进一步腐蚀和氧化，保护石墨舟片；再次进行饱和工艺时，只需镀一层较薄钝化膜层即可形成较好饱和效果，能够形成对石墨舟的长效保护，使石墨舟始终保持良好地镀膜均匀性。本技术的镀膜工艺能够有效减少总体石墨舟饱和工艺时间、防止石墨舟损耗和获得更好的长期镀膜均匀性。
10、一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种太阳能电池镀膜石墨舟片，包括石墨舟片本体，在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽，每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。与现有技术相比，本技术在人工插片或机器插片时,电磁铁没通电，弹簧卡槽打开,较大的卡槽空间避免硅片与石墨舟片之间的摩擦；插片完成后，电磁铁通电，在电磁铁吸力的作用下弹簧卡槽收缩将硅片固定在石墨舟片本体内,具有避免硅片的表面产生划痕，减少太阳能电池产品的不良率的优点。本技术还提供一种带有前述石墨舟片的一种太阳能电池镀膜石墨舟。
11、一种镀膜用石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种镀膜用石墨舟，属于太阳能电池镀膜技术领域，为解决现有的石墨舟镀膜时膜厚不均匀的问题而设计。本技术提供的镀膜用石墨舟包括间隔设置的多片第一石墨舟片；所述第一石墨舟片具有硅片镀膜区域和特定区域，所述特定区域偏离所述硅片镀膜区域预设距离；沿石墨舟的中心向外侧方向，各所述第一石墨舟片的所述特定区域的电阻率依次递增。本技术的镀膜用石墨舟镀膜膜厚更均匀、能降低失败片比例、提高电池效率。
12、太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟
 [简介]：本技术提供了一种太阳能硅片镀膜用石墨舟片及石墨舟，通过在石墨舟片上形成有若干贯穿石墨舟片的孔洞，因而可实现在太阳能硅片在进行真空镀膜过程中通过所述孔洞形成对背靠背固定在石墨舟片上的太阳能硅片四个角进行吸附，从而使石墨舟片上的太阳能硅片的四个角牢固的吸附在石墨舟片上，有效地避免了太阳能硅片在镀膜过程中由于石墨舟片表面和卡点存在部分磨损而造成的固定在其上的太阳能硅片表面的不平整甚至部分翘起，进而导致的边角色差和绕射现象，为硅片形成均匀一致的膜层提供良好的保障。
13、一种太阳能电池石墨舟及其镀膜方法
14、用于双面镀膜的石墨舟片及石墨舟

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