1、一种掺铝氧化锌靶材的变温快烧工艺
[简介]：本技术提供了一种掺铝氧化锌靶材的变温快烧工艺，包括以下步骤：对掺铝氧化锌素坯进行一体化脱脂烧结处理，脱脂过程在空气气氛中进行，并在流通可控混合气氛状态下，通过烧结过程中变温处理，制得高密度掺铝氧化锌靶材，所述混合气氛为空气+氧气，烧结时间大大缩短，实现了快速活化烧结，抑制晶粒长大。
2、高致密细晶粒的氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材及其配方技术
[简介]：高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡基陶瓷靶材的配方技术，包括：(1)氧化锡粉体、氧化锌粉体以质量比60～65:35～40混合，加入聚丙烯酸铵作为分散剂，并加入水，形成原料混合物；(2)原料混合物在球磨机上进行球磨；(3)球磨后的混合浆体在砂磨机上进行砂磨；(4)砂磨后的混合浆体中加入粘结剂，搅拌均匀；(5)搅拌均匀的混合浆体进行喷雾干燥，得到球形混合造粒粉；(6)混合造粒粉进行模压成型，得到原始靶材素坯；(7)原始靶材素坯进行冷等静压成型，得到高强度、高密度的均匀靶材素坯；(8)均匀靶材素坯进行脱脂、烧结一体化无压烧结，得到高致密细晶粒氧化锌掺杂氧化锡陶瓷靶材。
3、一种氧化锌镓磁控溅射靶材的配方技术
[简介]：本技术属于属于氧化锌材料技术领域，尤其是一种氧化锌镓磁控溅射靶材的配方技术，本技术本身具有粘结定型作用，而羟基氧化镓本身又可以在高温烧结下形成氧化镓，既实现了镓掺杂的目的，又无需使用聚乙烯醇等有机胶黏剂无需排胶，一举多得。以往采用有机粘结剂也好，氧化锌粉末物理直接混合也好，实际上并不能充分混合均匀，会发生局部富集，且因为有机粘结成分分解形成较大气孔洞的存在以及氧化物的不均匀分布，以往的机械混粉工艺严重影响了制备的氧化锌等溅射靶材的质量。本技术提供的方法规避了传统方法带来的缺陷，适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low?E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌镓磁控溅射靶材。
4、一种氧化锌铝靶材的配方技术
[简介]：本技术提供一种氧化锌铝靶材的配方技术，包括步骤：(1)将氧化锌、氧化铝、分散剂、粘结剂和水制备为混合浆料并消泡；并且控制浆料中氧化锌、氧化铝的平均粒径和粒径均一性；(2)将步骤(1)得到的混合浆料进行喷雾造粒，混料，并且控制氧化锌铝粉末的平均粒径和粒径均一性；(3)将步骤(2)得到的氧化锌铝粉末压力成型得到氧化锌铝靶坯；(4)将步骤(3)得到的氧化锌铝靶坯于1300～1500℃烧结。本技术的氧化锌铝靶材的配方技术通过将氧化锌、氧化铝与分散剂、粘结剂制备为浆料，并且喷雾造粒并压制靶坯，通过控制氧化锌铝粉末、氧化铝、氧化锌的粒径以及均匀性显著改善了氧化锌铝靶材的品质，提高了氧化锌铝靶材的成分均匀性。
5、一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的配方技术
[简介]：本技术属于属于氧化锌材料技术领域，尤其是一种氧化锌基溅射靶材的配方技术，配方技术简单，原料来源广泛，通过制备以氧化锌自身为主体的材料辅助粘结氧化锌纳米粉体而取得良好的靶材制备效果，过程中无需排胶，减少不必要的缺陷，因此配方技术具有工艺流程简单、易操作加工等优点，所制备的靶材具有优异的抗热震性能，致密度高、高密度、高强度氧化锌陶瓷靶材，可尽量消除陶瓷靶材表面无龟裂纹现象，烧结无气孔，制作工艺简单更加适宜满足流水线大量生产。
6、一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其配方技术
[简介]：本技术涉及光电材料技术领域，提供一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其配方技术，其配方技术，包括步骤：(1)向氧化锌粉体中掺杂氧化镁粉体和第三氧化物粉体，混合后与乙醇溶液混合形成浆料；(2)将浆料球磨后干燥，过筛，得到成型用粉体；(3)将粉体冷等静压形成坯体；(4)将坯体慢速升温至900～1150℃，保温30～90min，再快速升温至烧结温度1300～1450℃，保温120～480min，慢速降温形成半成品；经切割、打磨，得到所述镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材。该靶材的致密度高，相对密度大于95％以上，同时电阻率较低可达4×10?2，远低于现有技术中的靶材电阻，导电效果好，能够满足镀膜产线中频快速溅射的需求。
7、氧化锌靶材配方技术和氧化锌靶材
[简介]：本技术提供了一种氧化锌靶材配方技术和氧化锌靶材，其中，氧化锌靶材配方技术包括：将氧化锌基材和掺杂材料通过球磨研磨，获取一段研磨浆料；对一段研磨浆料进行砂磨研磨，获取二段研磨浆料；对二段研磨浆料进行造粒，获取粒料；对粒料进行冷等静压，获取素坯；对素坯进行烧结，冷却后获取氧化锌靶材。本技术通过球磨研磨和砂磨研磨的组合使用，使得氧化锌基材和掺杂材料能够充分混合，同时进一步降低氧化锌基材和掺杂材料的粒径，通过降低氧化锌基材和掺杂材料的粒径，使得氧化锌颗粒之间、掺杂材料颗粒之间及氧化锌颗粒与掺杂材料颗粒之间的空隙减少，进而提高氧化锌靶材的致密度。
8、一种氧化锌铝靶材及其配方技术
[简介]：本技术提供了一种氧化锌铝靶材及其配方技术。本技术以锌盐和铝盐为原料，通过共沉淀法制备氧化锌铝粉体，氧化锌铝粉体经预烧结、破碎、压制成型、二次烧结，得到氧化锌铝靶材，通过优化二次烧结曲线，能够有效去除靶材中的有机物，制备得到的靶材的相对密度不低于98％，碳含量不高于105ppm，电阻率小于9×10–2Ω·cm。
9、一种FBAR压电层用氧化锌掺杂靶材材料及其配方技术
[简介]：本技术涉及一种FBAR压电层用氧化锌掺杂靶材材料及其配方技术，掺杂有总质量分数小于50％的掺杂源，所述掺杂源选自分别含有Al、In、Ga、Mg、Ti、Zr、Co元素的掺杂微粒中的一种或多种，所述靶材的平均晶粒尺寸小于5μm，所述掺杂源相尺寸小于500nm，所述靶材的相对致密度不低于99％。采用本技术的靶材制备的薄膜应力低、不易破裂，002峰不偏移，滤波效果良好，具有良好的工业应用前景。
10、一种氧化锌铝靶材的配方技术
[简介]：本技术提供一种AZO纳米粉体和AZO烧结体的配方技术。AZO纳米粉体具体制备步骤为：1)柠檬酸溶于氨水，得到柠檬酸溶液；2)硝酸锌、硝酸铝分别溶于柠檬酸溶液后混合，加入分散剂，得到锌?铝混合液。将混合液在恒温水浴加热状态下搅拌均匀，然后进行真空干燥，得到前驱体；3)前驱体经煅烧后得到AZO粉体。基于AZO纳米粉体的AZO烧结体制备步骤为：1)取上述AZO纳米粉体装入内壁喷涂脱模剂的ZrO2陶瓷模具中；用热压烧结炉在施加外加压力的条件下进行烧结后随炉冷却，脱模后获得AZO陶瓷靶材。
11、大尺寸绑定式镓和钇共掺杂氧化锌旋转陶瓷管靶材
12、一种高致密化掺铝氧化锌靶材的配方技术
13、一种氧化锌基陶瓷溅射靶材及其配方技术和应用
14、一种铝钇掺杂氧化锌陶瓷靶材及其配方技术
15、一种镓掺杂氧化锌靶材的制造方法
16、掺铝钛氧化锌靶材的配方技术
17、具有骨架网络结构的氧化锌蒸镀靶材的配方技术
18、氧化锌靶材的配方技术及氧化锌薄膜的配方技术
19、一种采用粘有吸附性物质的胶带处理氧化锌铝靶材的方法
20、氧化锌锡陶瓷靶的制备工艺及使用该靶材制备氧化锌锡镀膜的方法
21、一种靶材材料的配方技术
22、一种高密度低电阻率氧化锌陶瓷靶材的配方技术
23、金属合金靶材制备含氢氧化锌铝透明导电薄膜的方法
24、铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的配方技术
25、一种铝掺杂氧化锌靶材及其配方技术
26、利用氧化锌铝残靶粉末制备氧化锌铝靶材的方法及其制品
27、高致密度氧化锌基靶材及其配方技术
28、一种纯氧化锌陶瓷溅射靶材及其配方技术
29、用新型低毒凝胶浇注制备大尺寸氧化锌基靶材的方法
30、一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其配方技术
31、一种氧化锌基管状旋转靶材的配方技术
32、一种AZO陶瓷靶材中氧化锌和氧化铝含量的测定方法
33、一种氧化锌铝溅射靶材的制造方法
34、氧化锌透明导电薄膜的低温配方技术及专用靶材
35、氧化锌烧结体、溅射靶材以及氧化锌薄膜
36、一种氧化锌基溅射靶材的配方技术
37、一种氧化锌基宽禁带陶瓷靶材及其配方技术
38、镓掺杂氧化锌靶材及其透明导电膜的配方技术
39、一种铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的配方技术
40、一种氧化锌基陶瓷溅射靶材的中温配方技术
41、一种采用掺磷酸锌的靶材生长P型氧化锌薄膜的方法
42、一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的配方技术
43、氧化锌类的非晶质薄膜用溅射靶材及其制造方法
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