1、一种光学镀膜方法以及使用该方法的光学镀膜机
[简介]:本技术涉及光学制造和光电元器件生产设备技术领域,具体涉及一种光学镀膜方法以及使用该方法的光学镀膜机。本技术要解决现有技术存在的无法满足各种光学薄膜和光电功能多层薄膜以及光电微系统制备的需求,且设备投入成本高的问题。为解决现有技术存在的问题,所提供的技术方案是,一种光学镀膜方法,是将真空*极电弧镀膜技术、磁控溅射镀膜技术和热蒸发镀膜技术根据薄膜种类进行组合使用,使用中被镀件始终保持在真空状态下,实时进行蒸发源的快速转换。同时提供一种光学镀膜机,包括真空镀膜室,温度控制系统,膜厚控制系统,气体流量提供、控制系统和薄膜蒸发系统,所述薄膜蒸发系统包括*极真空电弧发生装置、磁控溅射装置和热蒸发装置。
2、一种光学元器件的镀膜夹具及光学元器件的镀膜方法
[简介]:本技术提供了一种光学元器件的镀膜夹具及光学元器件的镀膜方法,所述光学元器件的镀膜夹具用于夹持并固定需要镀膜的光学元器件,包括主体件和固定件,所述主体件具有内腔,光学元器件放置在所述内腔中,并暴露出所述光学元器件需要镀膜的端面,所述主体件具有至少两个通孔,所述通孔的一侧位于所述内腔,所述固定件连接在所述通孔中,且与所述光学元器件相互抵触,以使得所述光学元器件定位及夹紧。本技术的镀膜夹具在所述光学元器件上没有出现压痕,降低了外观不良的产生,提高了光学元器件的良率。
3、制备光学镀膜材料的方法及光学镀膜材料
[简介]:本技术涉及一种制备光学镀膜材料的方法,包括提供一种至少包含二氧化钛及三氧化二镧的混合物;以及将镧添加至该混合物中,并于真空下以2000℃至3000℃的温度进行处理,以制得光学镀膜材料。前述方法相较于已知技术具有原料成本低、制程相对简单等优点。此外,本技术还涉及一种光学镀膜材料。
4、镀膜承载装置及具有该镀膜承载装置的光学镀膜设备
[简介]:本技术提供一种镀膜承载装置,其包括多个不同直径的同心环形载盘及与各环形载盘一一对应的移动装置。所述各环形载盘包括底板,所述底板上开设多个用于容置待镀镜片的容置孔。所述各环形载盘由小到大逐个嵌套,所述各移动装置分别与各环形载盘连接,用于沿所述各环形载盘轴向移动所述各环形载盘。本技术提供的镀膜承载装置通过改变各同心环形载盘的轴向位移,改变所述镀膜承载装置的形状,从而在镀膜时能够方便调整不同径向距离的待镀镜片的膜层厚度。另,本技术还提供一光学镀膜设备。
5、一种磁控溅射光学镀膜设备及镀膜方法
[简介]:本技术提供了一种磁控溅射光学镀膜设备和镀膜方法,该设备包含真空镀膜室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓,真空镀膜室为立式圆筒形结构,立式旋转鼓位于真空镀膜室内,绕垂直轴线旋转,立式旋转鼓中心设置有旋转密封箱,旋转密封箱内设置有膜厚测量仪表,旋转密封箱的上部连接有旋转轴,旋转密封箱内的气氛与真空镀膜室隔离。多组磁控溅射靶组件设置在立式旋转鼓外围的真空镀膜室的侧壁上。镀膜方法包括将需要镀膜的工件装卡到镀膜设备的立式旋转鼓的侧面,对镀膜设备抽真空;转动立式旋转鼓达到设定的转速;启动射频离子源;交替启动第一种材料的磁控靶靶和第二种材料的磁控靶,按工艺要求镀制膜层。
6、一种光学镀膜机镀膜承载装置
[简介]:本技术提供了镀膜机技术领域,具体涉及一种光学镀膜机镀膜承载装置,包括底座、安装槽、挡板、减震垫、承载板、散热通道、夹具、支撑座、调节杆、夹板和紧固螺栓;本技术通过在承载板底部设置减震垫,可在镀膜的加工工程中提供减震作用,有效保护了设备;承载板与工件接触面的下方设有由散热铜片构成的散热通道,可将镀膜过程中产生的热量散出,有效保护了镀膜设备,提高了镀膜质量;承载板上中心对称设有三个夹具,夹板可通过调节杆进行调节并通过紧固螺栓进行固定,可对不同形状和尺寸的镀膜工件进行固定,操作方便、结构稳定;夹板为锯齿面,摩擦力大,夹持更加牢固;本技术操作方便、实用性强。
7、一种光学元件的镀膜装置及镀膜方法
[简介]:本技术涉及一种光学元件的镀膜装置及镀膜方法,属于光学设备技术领域,可应用于薄膜光学制备技术领域。本技术利用金属材料设计一个膜层厚度均匀补偿装置,将其放置在两个蒸发源正中间一定高度位置上,在镀膜过程中,挡板状态不变,可同时对两个蒸发源的膜层厚度进行修正,且不互相干扰其均匀性。
8、一种用于金属化光学镜片镀膜的预贴合装置及镀膜方法
[简介]:本技术涉及镜片镀膜装置及镀膜方法技术领域,特别是涉及一种用于金属化光学镜片镀膜的预贴合装置及镀膜方法。预贴合装置包括:套筒、顶套、挡板和盖板;所述套筒的顶端设置有产品放置区域;所述顶套、所述挡板和所述盖板均可在所述套筒内自由移动。镀膜方法包括:将擦拭干净的待镀膜产品放置在产品放置区域,将顶套套入套筒中,再将粘接耐高温双面胶带的挡板与所述待镀膜产品贴合;将盖板压紧使得挡板与待镀膜产品紧密结合,取下套筒和盖板,将待镀膜产品的镀膜面朝上放置在可满镀的工装卡具中,直至工装卡具装满后进行镀膜,即得。本技术以最低的成本、最便捷的方式达到了对玻璃表面不完全镀膜的要求,提高了工作效率。
9、一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备及镀膜方法
[简介]:本技术提供了一种带真空机械臂的磁控溅射光学镀膜设备和镀膜方法,该设备包括真空镀膜室、真空机械臂室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓,在真空镀膜室侧壁上设置有与真空机械臂室连接的接口。立式旋转鼓绕垂直轴线旋转,其中心设置有密封箱。多组磁控溅射靶设置在立式旋转鼓外围的真空镀膜室侧壁上。真空机械臂室内设置有真空机械臂,在真空状态下水平和竖直移动。镀膜方法包括对镀膜设备抽真空,转动立式旋转鼓达到设定的转速,启动射频离子源,按工艺要求交替镀制两种材料的膜层,还包括采用真空机械臂将装有基片的基板装卡到立式旋转鼓上以及将镀膜后的基板从立式旋转鼓上取下。
10、光学级类钻石薄膜间歇式圆筒镀膜装置及镀膜方法
[简介]:本技术提供一种光学级类钻石薄膜间歇式圆筒镀膜装置及镀膜方法,其中镀膜装置包括可抽真空的外筒和设置在外筒内的辊筒,外筒和辊筒同轴设置,辊筒可绕轴线均匀自转,外筒的内部空间形成镀膜腔室,镀膜腔室内通入有工艺气体,镀膜腔室为可同时实现PVD磁控溅射和CVD气相沉积的复合镀膜腔室;在外筒的内壁上且绕外筒的中心环形均布有至少两个磁控靶,在辊筒的外壁上且绕辊筒的中心环形均布有若干待镀膜基材,至少两个磁控靶在外筒内形成一个围绕或局部围绕辊筒的闭合的磁场。本技术的光学级类钻石薄膜间歇式圆筒镀膜装置结构简单且灵活,成本低,可适用于大规模生产。
11、镀膜镜片、光学镜头及形成镀膜镜片的方法
12、光学镀膜多角度伞架及包含该伞架的镀膜机
13、一种光学镀膜机镀膜承载装置
14、一种真空镀膜机行星转动夹具上球面光学元件镀膜均匀性修正挡板的设计方法
15、一种检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的方法
16、在光学基片上蒸镀镀膜的真空镀膜设备
17、一种光学镜片镀膜膜层结构及其镀膜方法
18、一种高折射率光学镀膜材料及制备方法、光学增透膜
19、一种光学晶体镀膜夹具、光学晶体装卸系统及方法
20、一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法
21、监控光学镀膜厚度的双光束光学系统
22、一种光学镀膜材料及制备方法、光学增透膜
23、二氧化硅光学镀膜材料的制备方法及二氧化硅材料
24、一种光学塑料基板镀膜装置
25、光学镀膜监控系统信号消噪方法
26、一种哑光膜真空光学镀膜方法
27、一种光学镀膜测量系统反射式光路装置
28、光学镀膜自动化控制系统及其控制方法
29、光学零件多层镀膜新工艺
30、镀膜光学元件
31、一种镀膜玻璃光学性能检测方法
32、基于多层光学镀膜镜片的便携式新型放大镜
33、在光学基片上蒸镀镀膜的方法
34、泛彩光学镀膜表面及其制造方法
35、一种光学镀膜膜厚监测装置
36、一种光学镀膜材料制备工艺
37、光学镜片及其镀膜方法
38、二氧化硅光学镀膜材料的制备方法及二氧化硅材料
39、一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法
40、碳化硅光学镜的镀膜工艺
41、一种光学玻璃镀膜夹具
42、一种基于温度控制硅镀膜基片光学厚度的可调谐光滤波器及其控制方法
43、一种可防二次溅射污染的光学蒸发镀膜设备
44、一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法
45、一种光学镜片的满口径镀膜工艺
46、光学镀膜型近晶相液晶显示器
47、一种用于镀膜标记面光学玻璃的粘接方法
48、一种稳定性强的光学镜片镀膜用保护装置
49、一种光学塑胶镜片的镀膜方法
50、一种新型镀膜光学镜片
51、一种用于大口径光学薄膜元件制备的真空镀膜机
52、一种光学镀膜机伞罩装置
53、一种光学镀膜装置基板承载机构
54、可调节式光学镀膜夹具
55、一种基于真空的光学镜片镀膜装置
56、挂片送料装置以及光学镀膜设备
57、一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法
58、一种采用两种镀膜材料的光学增透膜
59、一种光学镀膜近红外膜厚监控仪
60、光学镀膜装置
61、一种低折射率光学镀膜材料
62、光学增透膜及其镀膜方法
63、一种实时监控镀膜过程中薄膜厚度的光学膜厚监控装置
64、光学镜片的镀膜装置和方法
65、一种高纯光学镀膜材料二氧化硅的制备方法
66、镀膜反射的光学引擎及其制作过程
67、一种新型光学镀膜材料的制备方法
68、一种采用特殊镀膜光学分束镜提高OCT成像性能的方法
69、一种用于光学镜片镀膜前的超声波清洗机及其处理方法
70、一种用于夹持光学镜片的通用型镀膜治具
71、一种光学薄膜滤光片的镀膜面正反朝向的识别方法
72、一种光学玻璃镀膜前的水基清洗剂
73、一种低价态氧化钽光学镀膜材料及制备方法
74、100%通光面光学镀膜YAG和光纤跳线的夹固方法
75、一种光学镀膜多位比较片换位装置
76、光学元件镀膜器具
77、一种用于镀膜机行星系统中控制球形光学元件膜厚分布的挡板设计方法
78、高精度光学镜片加工工艺及其镀膜装置
79、一种随工件运动的在位动态监控膜厚的真空光学镀膜机
80、光学镀膜透镜中心厚度测量装置及方法
81、一种光学镜片镀膜机
82、一种成膜均匀的低折射率光学镀膜材料及制备方法
83、一种用于光学镜片的镀膜前清洗设备
84、光学蒸发真空镀膜机
85、一种光学零件分区镀膜夹具
86、一种用于光学零部件镀膜后的提升式清洗机构
87、一种光学玻璃复合膜及镀膜工艺
88、一种防水光学镀膜靶材及其制备方法
89、一种光学镀膜挡边方法
90、镀膜镜片及光学成像装置
91、光学镀膜装置
92、光学镀膜装置
93、一种光学镀膜偏振光谱监控系统
94、光学镀膜材料及其制作方法
95、一种光学真空镀膜材料
96、光学镀膜装置
97、光学镀膜装置
98、提高光学薄膜激光损伤阈值的镀膜方法
99、光学元件镀膜器具
100、一种光学镀膜工装夹具
101、一种低价态氧化锆光学镀膜材料及制备方法
102、液相化学合成一类光学镀膜材料
103、光学镀膜伞弧面架安装夹具
104、光学透镜镀膜装置与方法
105、一种晶质高折射率光学镀膜材料氧化钽及其制备方法
106、一种航天器用镀膜光学透镜电离辐射效应试验方法
107、一种光学镀膜伞架弧面成型装置
108、光学多弧离子镀膜机
109、一种光学镜头镀膜组合物及其加工方法
110、利用光刻掩膜抬离法实现光学镀膜的方法
111、用于制备光学镜片的真空镀膜机
112、减小光学薄膜内应力的镀膜方法
113、一种红外光学元件表面成型类金刚石膜镀膜工艺
114、一种光学元件金属化镀膜的纳米掩膜方法
115、一种低折射率红外光学镀膜材料及制备方法
116、一种光学真空镀膜混合材料及其制备方法
117、一种用于光学镀膜的中性清洗剂
118、基于有限元模拟的大口径光学镀膜元件低频面形参数预测方法
119、一种光学镜片真空镀膜装置
120、一种用于对光学镜片进行防雾防紫外镀膜的装置
121、一种渐变式光学镜片弧形双层复合式镀膜伞架
122、镜片光学镀膜表面处理工艺以及通过该工艺制备得到的镜片
123、一种光学镀膜机快速无尘进气装置
124、光学镀膜伞弧面开孔模具架
125、一种光学镀膜材料及其加工方法
126、大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具
127、一种用于光学镜片的全区域镀膜加工工艺
128、一种低折射率光学镀膜材料
129、光学镀膜工装夹具
130、基于TAP镀膜面的多通道激光器合波光学组件及装置
131、一种Si基缓冲层镀膜玻璃的光学参数检测方法
132、光学镀膜多位比较片换位装置及控制方法
133、低折射率光学镀膜材料及其应用
134、一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统
135、一种光学镀膜褪镀工艺
136、性能提高的光学镀膜半导体器件及相关生产方法
137、光学镀膜膜厚监测自动控制系统及监控方法
138、一种光学基片镀膜前的清洗方法
139、改善球面光学元件镀膜均匀性的挡板的设计方法
140、一种用于光学镜片的镀膜治具
141、光学镀膜反射率的测量及显示方法
142、一种用于镀膜行星系统中控制平面光学元件膜厚分布的挡板设计方法
143、一种方便使用的光学镀膜玻璃
144、一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系统
145、光学镀膜测量系统反射式光路装置
146、一种用于镀膜行星系统中控制圆锥形光学元件膜厚分布的挡板设计方法
147、光学镀膜装置
148、一种可减少光学镜片反射率的镀膜材料
149、一种光学真空镀膜机内腔清洁方法
150、TiO2-PS核壳结构纳米粉在光学玻璃镀膜上的应用
151、一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具及其使用方法
152、镀膜光学元件的制造方法
153、一种光学真空镀膜工艺
154、一种光学真空镀膜机内腔清洁方法
155、一种光学镀膜铜治具表面镀层去除处理工艺
156、玻璃硬化光学镀膜腔体
157、光学镜片的满口径镀膜工艺
158、一种采用石英环光学镀膜材料改善高反膜微缺陷的方法
159、一种光学玻璃镀膜后中性清洗剂
160、一种具有光学特性和防污特性的镀膜玻璃及其制备方法
161、预处理的光学镀膜材的处理方法
162、一种光学镀膜机整伞治具
163、基于光学材料和镀膜技术的高效节能照明灯具及加工方法
164、光学部件增透镀膜设备的腔体加工工艺
165、一种光学镀膜直接监控控制蒸镀的防护装置
166、一种光学镀膜机快速无尘进气装置
167、卷绕式离子增强型磁控光学镀膜装置及方法
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