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扩散泵生产加工工艺技术,真空油扩散

发布时间:2019-12-27   作者:admin   浏览次数:123

1、油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器
 [简介]:提供一种油扩散泵,其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵,其中,在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70),通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气,将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备:在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体);隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75);以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且,构成为,通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电,由此使外壳(71)自身加热,从而使工作油(8)气化。
2、高真空玻璃油扩散泵
 [简介]:本技术提供了一种高真空玻璃油扩散泵,该泵包括主泵体,主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管,主泵体内设有输油管,输油管上从上至下设有四级喷嘴,该泵还包括一副泵体,连接设于抽气管另一端,并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴,副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用,能够将油蒸汽更加均匀的扩散到整个泵体及管路内,从而能够有效提高系统的抽真空度,完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。
3、真空镀膜机扩散泵加热装置
 [简介]:本技术提供了一种真空镀膜机扩散泵加热装置,包括竖置的扩散泵主体,所述扩散泵主体内腔设有平置的铁质震荡板,所述铁质震荡板侧周套有沿铁质震荡板周向分布并置于扩散泵主体侧壁内的电磁线圈,所述电磁线圈连接至位于扩散泵主体外的电磁加热控制器,位于铁质震荡板上方的扩散泵主体外侧壁设有沿扩散泵主体轴向螺旋延伸的冷却水管,所述冷却水管连接冷却装置。本技术供的真空镀膜机扩散泵加热装置,其加热速度快、效率高、工作稳、操作方便。
4、用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统
 [简介]:本技术提供了一种用于真空镀膜机扩散泵的水温控制循环冷却系统,主要解决现有技术冷却水温高于真空镀膜设备正常工作的安全阈值时将损坏该真空镀膜设备,进入设备的应急用水被白白浪费的问题。本技术包括两个水箱、一个储水罐、水泵、真空镀膜设备、控制水阀、手动电磁阀以及测温报警装置。手动电磁阀将储水罐和水箱连接起来,真空镀膜设备安装测温报警装置并连接电磁阀自动控制整个循环冷却系统,本技术实现了循环水冷却系统的自动控制以及对真空镀膜机的有效保护。本技术可用于实验室中的真空镀膜实验。
5、一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘
 [简介]:本技术提供了一种油扩散泵单层冷阱加水冷盘,包括冷阱法兰、冷却水接头、冷却水路盘管、冷却水路盘管接头、冷却水接入口、冷阱挡油面、冷阱叶片以及冷阱水路,冷阱法兰顶端固定连接设置有冷却水接头、冷阱法兰内部固定连接设置有冷阱挡油面,冷阱挡油面表面安装设置有冷阱叶片,冷阱叶片旁边固定安装设置有冷阱水路,冷阱挡油面面上固定安装设置有冷却水路盘管,冷却水路盘管两端均连接设置有冷却水接入口,冷却水接入口一端固定安装设置有冷却水路盘管接头,冷阱法兰四周均安装设置有安装孔。本技术结构简单合理,通过在冷却面增加水冷装置,通过水冷装置冷却,保持冷阱与真空室接触位置的持续低温,防止二次污染。
6、一种油扩散泵双层梅花形冷阱
 [简介]:本技术提供了一种油扩散泵双层梅花形冷阱,包括冷阱本体,冷阱本体包括上冷阱法兰和下冷阱法兰,冷阱本体上设置冷阱叶片,冷阱本体内部设置梅花形冷却水路,梅花形冷却水路一端设置冷却水盘进水管,梅花形冷却水路另一端设置冷却水盘出水管,冷却水盘进水管和冷却水盘出水管的一侧均设置冷却水盘管接头,冷阱叶片底部设置叶片加强筋,冷阱本体外侧设置凹槽。本技术是一种油扩散泵双层梅花形冷阱,通过设置上冷阱法兰和下冷阱法兰,根据扩散泵油在高温下的形态,对冷阱叶片的外形进行了设计,采用对称球面设计,冷却水路的盘制方式也进行了设计升级,采用梅花形排布,做到对扩散泵油的两次遮挡,做到双保险,保证不返油。
7、高真空油扩散泵油位观察窗
 [简介]:本技术涉及油扩散泵技术领域,提供了一种高真空油扩散泵油位观察窗。它包括法兰、紧固件、玻璃观察窗、法兰与接管焊接在一起组成的观察窗座,所述法兰与所述玻璃观察窗之间设有金属密封垫,在所述法兰与所述金属密封垫的接触端面上设有刃角。采用法兰与玻璃观察窗通过钎焊工艺封接为一体,以避免玻璃在安装和使用过程中由于受力不均而造成破损;本技术具有适宜于在高真空或超高真空环境中使用、耐高温可烘烤、不污染泵油、无需更换密封垫和高可靠密封、使用寿命长的特点,节约了生产和维修成本、增强了油扩散泵的真空性能。
8、一种真空扩散泵密封盖提升受力减震平衡装置
 [简介]:本技术提供了一种真空扩散泵密封盖提升受力减震平衡装置,它涉及真空扩散泵密封盖领域,密封盖提升减震件的中部设置有密封盖提升固定座,密封盖提升固定座与密封盖之间设置有弹簧,密封盖提升减震件的上方设置有扩散泵定向板和平行轴承固定块,密封盖提升固定座的上端与定向调节螺杆的一端固定连接,定向调节螺杆的另一端通过转接轴与提升拉耳的一端固定连接,提升拉耳的另一端设置有光轴。它不仅在扩散泵密封盖关闭的时候弹簧能够有效的减震,而且能够在密封盖关闭的时候通过弹簧缓冲和压缩使两边密封盖受力平衡,从而解决了扩散泵密封盖一边压的紧一边较松的情况,有效的提高了扩散泵密封盖的密封效果。
9、一种镀膜机扩散泵
 [简介]:本技术提供了一种镀膜机扩散泵,其特征在于,在泵壳中设有多根导流管,在导流管上部设有喷油嘴,在泵壳的外侧壁上设有多个水冷套,在泵壳的底部设有电磁加热器,冷却水进口和冷却水出口分别设在泵壳的上部和下部。通过以上设置,本技术大大提高了工作效率,平均每台镀膜机扩散系统每小时节约电能3千瓦时。
10、一种真空油扩散泵
 [简介]:本技术涉及一种真空油扩散泵,包括中空泵体,中空泵体内设置有油腔、对油腔内的油进行加热的加热器、将被加热的油蒸汽进行提升的泵芯和喷嘴,中空泵体上设置有被抽气体的进气口、挡油弯头、以及被抽气体与被加热的油蒸汽的混合气体的出气口,其特征在于:所述挡油弯头通道内设置有冷却装置。与现有技术相比,本技术的优点在于:通过在挡油弯头通道内设置有冷却装置,可快速冷却真空油扩散泵的油蒸汽,实现启动加热器以后相应地形成稳定高效的冷却从而加速油的循环,提高油动力促使气体有效地抽走,本技术整体结构简单、稳定可靠、节能、安全。
11、一种36英寸扩散泵泵芯
 [简介]:本技术提供了一种36英寸扩散泵泵芯,包括第一级喷嘴、第二级喷嘴、第三级喷嘴和第四级喷嘴,第一级喷嘴安装在一级喷嘴座上,第一级喷嘴通过长螺杆与一级喷嘴座、四级导流管安装成一体,第二级喷嘴安装在第三级喷嘴上。本技术是一种36英寸扩散泵泵芯,通过第一级喷嘴、第二级喷嘴、第三级喷嘴和第四级喷嘴的伞帽形扩散喷嘴帽的设置,加快泵体内抽气介质的排除,达到最佳喷射效率,泵芯旋压越大外形容易变形,组装后间隙无法保证,采用部分焊接的方式改进,底部挡油盘使用铝制材料,有效预防碳钢材料加热后变形量大的情况,扩散泵泵芯设置36英寸口径,能够达到抽速要求,解决国内真空扩散泵一直使用进口36寸扩散泵芯的问题。
12、一种磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置
 [简介]:本技术提供了一种磁控溅射镀膜生产线的扩散泵水冷油镜装置,包括连接管、油镜座、油镜、第一密封圈和压盖,所述油镜座的一端通过连接管与扩散泵连接,所述油镜座内设有水冷槽,所述油镜座的圆周壁设有进水口和出水口,所述进水口和出水口均与水冷槽连通;所述油镜座的另一端设有油腔,所述油镜通过压盖与油镜座连接,且所述油镜的一端通过第一密封圈与油腔密封连接,所述压盖设有观察孔,所述观察孔与油镜相对设置。本技术通过水冷的方式对扩散泵进行散热,故大大提高了散热速度,散热效果好,避免扩散泵因温度过高而无法保持良好的抽气状态,同时也避免油镜因温度过而损坏。
13、具有加热控温功能的烧结炉扩散泵
 [简介]:本技术提供了一种具有加热控温功能的烧结炉扩散泵,包含有扩散泵本体,扩散泵本体下部设置有加热盘,所述加热盘上方中心部位设置有热电偶,所述热电偶连接温度控制器,温度控制器固定在炉体的操作面板上,通过温度控制器对加热盘电源进行控制,(温度超过设置上限时关闭加热电源,温度低于设置下限时打开加热电源)。使用本技术后既可以保证扩散泵正常工作,又能节约能源,降低生产成本。
14、高真空油扩散泵
 [简介]:一种高真空油扩散泵,其技术方案是玻璃体的入口泵头和玻璃体的水套壳体均设有装配凸边,两凸边通过法兰和螺栓联接成整体,在两凸边之间夹装固定片,泵底装有分馏盘,轻金属的1—3级喷嘴和1—3级喷嘴的导油管通过拉杆固定联接在固定片与分馏盘之间。其优点是:入口泵头和水套壳体为玻璃体装配结构式,内芯为轻金属结构,提高了标准化程度,抽速大,便于维护,检漏方便,价格便宜,不易损坏。
15、真空镀膜机油扩散泵冷井
 [简介]:本技术提供了一种真空镀膜机油扩散泵冷井,包括制冷管、冷井座和挡板,所述冷井座固定于真空室与真空泵之间,所述制冷管在所述冷井座内成螺旋状环绕设置,所述挡板沿所述制冷管倾斜设置。本技术由于采用了上述技术方案,制冷管在冷井座内成螺旋状环绕设置,挡板沿制冷管倾斜设置,即将挡板改为螺旋形设置,并且与制冷管平行焊接,使得油气分子不易通过该冷井,挡油效率高。
16、微型扩散泵及其制备方法
17、油扩散泵抽高真空快冷装置
18、内加热金属型高真空油扩散泵
19、一种高真空扩散泵循环水套装置
20、一种真空炉扩散泵用挡油圈
21、扩散泵油品测试系统
22、一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱
23、一种真空扩散泵
24、高真空玻璃油扩散泵
25、一种扩散泵加热炉专用电源线接线端子防护罩
26、一种用于真空系统中的油扩散泵加热装置
27、电磁加热高真空油扩散泵
28、一种真空油扩散泵的加热装置
29、一种真空热处理炉设备上扩散泵的维持泵机组
30、一种即热式真空扩散泵
31、一种浮动加热旋转喷射的扩散泵
32、一种快速启动浮动加热旋转喷射的扩散泵
33、一种即时加热快速启动旋转喷射的扩散泵
34、扩散泵扇形加热器
35、高速扩散泵
36、一种真空油扩散泵
37、一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置
38、一种扩散泵新型冷却装置
39、扩散泵
40、一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门
41、扩散泵扩散器结构
42、一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法
43、一种镀膜机扩散泵电磁涡流加热装置
44、油扩散泵加热器
45、电磁加热高真空油扩散泵
46、扩散泵节能控制系统
47、扩散泵加热器
48、一种扩散泵电磁加热电源
49、扩散泵扩散器冷却结构
50、扩散泵扩散器及其冷却结构
51、带控制扩散泵浦作用的改进的阻挡层材料的荷载的减震装置
52、一种扩散泵加热板结构
53、扩散泵改进的镀铝机
54、扩散泵加热器
55、一种回旋式真空扩散泵
56、一种祛除扩散泵铜管内壁水垢的方法
57、真空烧结炉扩散泵保温、散热一体装置
58、一种便捷式扩散泵压力监测及泵油补充装置
59、利用太阳热能作热源的扩散泵真空机组
60、油扩散泵以及真空成膜装置
61、一种真空油扩散泵
62、一种浮动加热式真空扩散泵
63、真空扩散泵
64、真空油扩散泵加热装置
65、一种浮动加热式快速启动扩散泵
66、一种扩散泵
67、真空镀膜机扩散泵的循环冷却水系统
68、五级金属直腔型高真空油扩散泵
69、一种防止泛油的油扩散泵
70、一种扩散泵油的合成方法
71、一种扩散泵电磁加热器
72、一种8寸油扩散泵
73、一种油扩散泵内部加热装置
74、一种12寸油扩散泵
75、一种油扩散泵A型泵芯
76、一种阻止机械泵或油扩散泵油气污染透射电镜照相室的装置
77、小型风冷油扩散泵
78、一种带内置式加热装置的高真空油扩散泵
79、一种用于油扩散泵的冷阱
80、一种镀膜机的扩散泵主阀门
81、一种用于海绵钛生产的油扩散泵试抽校验装置及校验方法
82、油扩散泵法兰盘机械加工夹具
83、扩散泵加热用数显电炉
84、扩散泵冷却水运行自动报警装置
85、无扩散泵式复合膜镀膜机
86、扩散泵泵体结构
87、一种扩散泵油气隔离冷井
88、用于油扩散泵的低温冷阱
89、风冷型扩散泵真空机组
90、一种制备274#有机硅超高真空扩散泵油的方法
91、一种真空炉扩散泵铸铁外壳裂纹修补用粘贴加固装置
92、一种用电磁炉作加热器的扩散泵
93、一种扩散泵底部导热槽结构
94、扩散泵加热器
95、扩散泵加热器
96、一种28寸油扩散泵
97、高极限真空的高速扩散泵
98、一种扩散泵抽真空系统
99、一种带有进油组件和观察窗的扩散泵
100、一种带有导油盘的扩散泵
101、一种带挡油环的扩散泵
102、一种油扩散泵用高效节能加热电炉
103、一种油扩散泵壳单层冷阱
104、一种油扩散泵喷嘴结构改善装置
105、一种油扩散泵壳体冷却装置
106、大口径高真空油扩散泵
107、扩散泵蒸汽导流管结构
108、大口径高真空油扩散泵
109、扩散泵加热炉专用电源线接线端子防护罩
110、扩散泵
111、一种高真空扩散泵装置
112、一种环境友好扩散泵油组合物
113、一种扩散泵加热系统
114、一种真空油扩散泵
115、扩散泵加热用数显电炉
116、油扩散泵、油增压泵加热器
117、蒸馏机组油扩散泵电加热器
118、一种扩散泵喷流系统喷嘴
119、低返油凸腔式油扩散泵
120、油扩散泵泵芯校正专用工具
121、新型油扩散泵加热器
122、小四级高真空玻璃油扩散泵
123、一种电子束焊机油扩散泵
124、扩散泵冷却水报警机构
125、扩散泵电磁感应加热盘节能装置
126、多级扩散泵
127、一种真空扩散泵拆装装置
128、一种真空热处理设备上的扩散泵加热控温装置
129、一种扩散泵
130、一种旋转喷射即时加热的扩散泵
131、一种快速启动的真空扩散泵
132、一种真空炉扩散泵铸铁外壳裂纹粘贴加固装置及裂纹粘贴修补方法
133、节能高效高速扩散泵
134、一种镀膜机油扩散泵排气口立式水冷盘
135、一种油扩散泵冷阱装置
136、扩散泵平型变频电磁加热器
137、一种带可加热喷嘴的扩散泵
138、一种可提高蒸汽射流速度的扩散泵
139、一种含有电磁加热线圈盘的油扩散泵
140、一种36寸油扩散泵
141、一种16寸油扩散泵
142、一种油扩散泵B型泵芯
143、一种22寸油扩散泵
 
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