1、电子级氢氟酸制备方法
[简介]：本技术提供了一种电子级氢氟酸的制备方法，包括以下步骤：将工业无水氟化氢液体和纯水通入精馏塔中，形成第一浓度的氢氟酸；然后加入过氧化氢溶液，氧化其中的砷、硅杂质，再进行精馏；将精馏得到的氟化氢气体冷凝成氟化氢液体，进行第一次过滤，并用纯水吸收成第二浓度的氢氟酸，再进行第二次过滤，得到电子级氢氟酸产品；将尾气用纯水吸收，制成工业级氢氟酸。本技术制备工艺简单，不引入额外杂质，制备的电子级氢氟酸达到半导体设备和材料国际标准SEMI-C7标准，产量高、成本低，采用一条生产工序既可制备电子级氢氟酸又可制备分析纯级氢氟酸。
2、电子级高纯氢氟酸的制备方法
[简介]：本技术提供了一种电子级高纯氢氟酸的制备方法。该制备方法，包括以下步骤：(1)液体无水氯化氢的预处理；(2)液体无水氯化氢的精馏；(3)氢氟酸半成品的制备；(4)氢氟酸半成品的预处理；(5)氢氟酸半成品中金属离子的去除；(6)电子级高纯氢氟酸的获得。本技术生产工艺技术避免了无水氟化氢吸收氢氟酸再精馏的繁琐工序，直接用无水氟化氢液体进行精馏纯化；能有效的去除三氟化砷、SO2、SO3、H2SiF6等无机物种杂质；能深度去除各种金属杂质和固体颗粒物，将工业级的氢氟酸纯化精制得到超净高纯氢氟酸试剂使产品达到超净电子级氢氟酸质量符合SIME-C8标准，适用于超精密集成电路生产。
3、一种超纯电子级氢氟酸的制备方法
[简介]：本技术提供了一种超纯电子级氢氟酸的制备方法。该方法包括如下步骤，原料预处理：将原料HF中As元素转化为HAsF6以及AsF5；气化精馏处理：除去杂质；过滤吸收：除去粒径大于0.2μm的颗粒，即得到质量百分浓度为49±0.2%的高纯电子级氢氟酸。本方法生产效率高、安全环保、产品质量稳定，杂质含量低。
4、一种生产电子级氢氟酸的方法
[简介]：本技术涉及一种生产电子级氢氟酸的方法，具体包括以下步骤：(1)经计量的无水氢氟酸原料经预热后，进行粗馏，去除低沸点物质；(2)将经粗馏后，从冷凝器出口排出的氢氟酸用超纯水进行吸收，吸收为48~49%的有水氢氟酸溶液；(3)将吸收好的氢氟酸半成品经氟塑脂亚沸蒸馏器蒸馏，氟化氢液体气化生成超纯的电子级氢氟酸气体，冷凝后为48~49%的有水氢氟酸溶液，高沸点物质与重金属留在亚沸蒸馏器底部；(4)从氟塑脂亚沸蒸馏器出来的氢氟酸半成品经二级过滤最后经自动灌装制成48%的超高纯氢氟酸成品。本技术的方法充分利用了无水氢氟酸与无水氢氟酸中各杂质的沸点不同，在不同温度下，除去不同的杂质，尤其是硅，使得到的超高纯氢氟酸杂质含量降到最低。
5、一种制备电子级超高纯氢氟酸的方法
[简介]：本技术提供了一种制备电子级超高纯氢氟酸的方法，该方法包括以下工艺步骤：(1)工业无水氟化氢的预处理；(2)再沸器处理；(3)蒸馏；(4)冷却；(5)吸收；(6)离子交换吸附；(7)过滤。本技术带来的有益效果是：采用过氧化氢氧化As3+，彻底解决了As3+不易除去的难题；通过螯合剂和弱碱性阴离子交换树脂体系深度去除少量金属离子和杂质；经过二级过滤，保证了氟化氢水溶液的各项指标达到了电子级超高纯试剂的要求；本技术的方法可以进行规模化生产，工艺稳定、易控制，适于推广。
6、电子级氢氟酸取样室
[简介]：本技术提供了一种电子级氢氟酸取样室，包括盒室，盒室内设置取样间，取样间的敞口处设置有遮挡外部空气进入取样间的软挡风帘，取样间上设置有进气管口，进气管口通过气管与洁净气源相连接，盒室内设置有取样输送管以及取样输送管上设置的放样阀，取样输送管的出口端设置在取样间内部，取样输送管的入口端与电子级氢氟酸生产系统中的氢氟酸输送管道相连通连接。上述方案中，取样时，通过气管向小取样间内通入洁净气体，将取样间内的空气通过挡风帘与取样间侧壁间的缝隙排净，然后打开放样阀进行取样，取样时保持取样间通洁净空气，防止整个取样过程中氢氟酸受空气污染，保证氢氟酸取样检测的准确性。
7、一种制备电子级氢氟酸的方法
[简介]：本技术提供了一种制备电子级氢氟酸的方法，包括；工业级HF原料的气化：从无水氟化氢贮槽引出气体氟化氢，除去其中的非挥发性和高沸点杂质；氟气氧化和脱轻组分；通过氟气氧化反应器把HF中的As3+氧化为As5+，S、P、B等元素形成的部分不挥发性成分氧化为挥发性成分，然后通过脱轻组分设备除去；高沸精馏，把HF中以HAsF6或盐MAsF6的形式存在As5+以及H2SO4、H3PO4、HSiF6、H2O和金属离子盐等高沸物，通过精馏除去；水洗精馏；把前面过程中没有除去的杂质进一步脱除。经过上述步骤后从水洗精馏塔顶馏出的HF溶于水就制得符合电子级产品质量要求的氢氟酸。本方法简单可靠，能使氢氟酸中的金属和非金属元素对应的杂质含量低于半导体设备和材料国际标准SEMI-2标准。
8、电子级氢氟酸生产用精馏塔
[简介]：本技术提供了一种电子级氢氟酸生产用精馏塔，该精馏塔塔身上仅有提馏段设置用于检修的手孔。上述方案中，取消了传统精馏塔在精馏段和提馏段均设置手孔的方案，避免手孔与精馏塔塔身的连接处无法达到很好的无缝粘合，形成泄漏点，防止外部的杂质进入精馏塔内污染电子级氢氟酸，保证产品的质量。
9、一种电子级氢氟酸生产装置
[简介]：本技术提供了一种电子级氢氟酸生产装置，包括罐体，所述罐体底部的外侧均匀设置有支架，所述罐体顶部的一侧设置有进液口，且罐体顶部远离进液口的一侧设置有风机，所述风机的输出端安装有气体输送管，所述罐体远离进液口一侧的中间位置处设置有冷凝仓，且冷凝仓远离进液口的一侧设置有制冷器，所述冷凝仓的内部设置有螺旋皮管。本技术安装有搅拌电机，通过搅拌电机带动搅拌叶片进行转动，加快蒸馏仓内部溶液的流通速度，与导热板配合使用，提高了原料蒸馏的速率，罐体顶部风机的设置，加快了蒸汽的吸收的速率，与螺旋皮管配合使用，提高了蒸馏气体冷凝的速率，使得电子级氢氟酸的生产速度得到较大提升。
10、一种电子级氢氟酸生产用精馏塔
[简介]：本技术提供了一种电子级氢氟酸生产用精馏塔，包括冷却水塔、预热塔、精馏塔、吸收塔和冷凝器，所述冷却水塔上方安装有进水管，所述冷却水塔通过出水管与冷凝器连接，所述冷凝器内部安装有冷凝装置，所述冷凝器下方安装有吸收塔，所述冷凝器通过冷凝管与精馏塔连接，所述精馏塔通过回流管与预热塔连接，所述预热塔右侧安装有物料管，所述吸收塔通过过滤管与过滤塔连接。本技术结构设计紧凑，在冷凝器内部安装有冷凝装置，通过冷凝装置将预热状态的氢氟酸液化，在进水管表面安装有进水电泵，通过进水电泵能提高冷凝效果，提高工作效率，设置有过滤塔，通过过滤塔能进一步将电子级氢氟酸提纯。
11、工业氢氟酸除砷的方法
[简介]：本技术涉及一种工业氢氟酸除砷的方法，首先采用取样滴定的方式，利用少量的样品和滴定结果的准确度，低成本、高效率、高精度地计算出待除砷的无水氟化氢所要消耗的高锰酸钾量T2，然后再按照T2的1.45~1.55倍的量加入高锰酸钾溶液与待除砷的无水氟化氢进行反应，经实验结果证明，该加入量下反应得到的氢氟酸，虽然含有微过量的高锰酸钾(以锰离子和钾离子存在)，但经过精馏、纯化后完全可以去除，且最终得到的氢氟酸中的砷含量在100ppt以下，完全符合电子级氢氟酸的要求。
12、用于高纯氟化锂制备的氢氟酸纯化及配制方法
[简介]：本技术涉及用于高纯氟化锂制备的氢氟酸纯化及配制方法，通过工业无水氢氟酸直接通过0.5μm过滤后进入低、高沸精馏塔得到的HF气体冷却得到高纯的无水氢氟酸，然后在吸收塔中用超纯水吸收稀释为50%电子级的氢氟酸，随后经0.1μm过滤进入氟化锂反应槽，与高纯碳酸锂反应，制得用于锂电的氟化锂，该技术流程简单，操作方便，降低投资及运行成本。
13、电子级氢氟酸用生产系统
[简介]：一种电子级氢氟酸用生产系统，包括对工业氢氟酸依次进行除杂的氧化反应釜和精馏塔，精馏塔的塔顶设置有立式布置的塔顶冷凝器，塔顶冷凝器的底端设置用于与精馏塔塔顶气体出口管相连通连接的物料进口，塔顶冷凝器的顶端设置未冷凝气体的排出口，塔顶冷凝器内的冷凝液与气体同向流动换热。通过改变塔顶冷凝器的布置方式，精馏塔出来的气体从冷凝器底部物料进口进入，冷凝后又从该口部回流至精馏塔内，而气体中的杂质则不会受过冷而冷凝回流，从而提高氢氟酸产品的质量。
14、基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法
[简介]：本技术提供了一种基于氢氟酸/硝酸混合溶液的摩擦诱导纳米加工方法，包括以下步骤：S1、在大于单晶硅屈服极限的接触压力下利用金刚石探针在单晶硅样品表面进行刻划，对刻划后的单晶硅样品进行清洗以去除表面的磨屑和杂质；S2、将清洗后的单晶硅样品浸入到体积比为1：5～1：100范围内的氢氟酸/硝酸混合溶液中进行刻蚀，刻蚀时间为1～60s，刻蚀完成后取出单晶硅样品，并对其表面再次进行清洗，获得所需单晶硅表面纳米结构。本技术通过巧妙地将摩擦诱导纳米加工工艺整合到基于HF/HNO溶液的刻蚀体系中，成功地将HF/HNO这种传统的各向同性刻蚀剂在单晶硅表面进行各向异性刻蚀加工，该项技术方案突破了多年来HF/HNO在微电子领域一直无法直接刻蚀出纳米结构限制。
15、一种用高溴酸加氢氟酸混合充分溶解金属铱的方法
[简介]：本技术提供了一种用高溴酸加氢氟酸混合充分溶解金属铱的方法，其特征在于，包括如下步骤：取一块纯度为99.9999%以上的金属铱标准，研磨成粉状；将粉状的铱标准放于误差为0.001%的电子天平上进行精准称量；将称量后的标准铱粉倒入聚四氟乙烯闷罐中，并加入高溴酸，再将闷罐密封放入消解恒温箱，温度设定在100摄氏度，经12小时后取出并充分冷却后倒入烧杯，加入少量蒸馏水摇匀，再加入氢氟酸，加热的同时用玻璃棒搅拌并逐步添加蒸馏水控温，待加热至100摄氏度后烧杯内溶液变澄清，铱金属全部溶解。通过上述方式，本技术能够将混合有微量硅化物质的金属铱完全溶解。
16、一种从电子废酸中回收氢氟酸和硝酸的工艺方法
17、一种电子级氢氟酸蒸馏系统的加热方法
18、一种六氟磷酸锂电解液中氢氟酸含量的检测装置及检测方法
19、氢氟酸制造方法
20、一种量产超高纯氢氟酸的预处理工艺及其装置
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