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研磨盘加工工艺技术生产制作方法

发布时间:2022-03-30   作者:admin   浏览次数:77

1、用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘
 [简介]:本技术提供了用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘,包括基盘;基盘设有若干凸台,每相邻两凸台间留有间隙且该间隙形成为流道,凸台端面设凸起部,凸起部端面凹设有水平贯穿的沟槽,沟槽和流道相连通;凸台上套设有磨块,磨块由金刚石磨粒和金属结合剂制备而成且包括周壁和成型在周壁内的蜂窝结构,蜂窝结构上形成多个贯穿布置的孔洞;磨块的周壁套设在凸起部外且蜂窝结构位于凸起部上,孔洞和沟槽上下相连通。它具有如下优点:孔洞、沟槽和流道连通,既能供研磨液流动,提升流动均匀性,又能起到冷却和排屑作用,提高冷却、排屑性能;设有孔洞能提高磨块自锐性,提升研磨效率。
2、一种双面研磨机上研磨盘和下研磨盘的同步修整方法
 [简介]:本技术提供一种双面研磨机上研磨盘和下研磨盘的同步修整方法,包括以下步骤:去除下研磨盘内圈处的内齿圈和其外圈处的外齿圈;保持上研磨盘为浮动状态,将上研磨盘和下研磨盘相交设置,令上研磨盘和下研磨盘均独立转动并相互研磨修整对方研磨面上的中凸区域。通过将上研磨盘和下研磨盘相交设置并相互研磨修整对方研磨面上的中凸区域,修整效率高,并且修整后研磨面平面度的精度高。
3、研磨盘的加工设备
 [简介]:本申请中所述的一种研磨盘的加工设备,所述加工设备(100)包括基座(1)以及设于基座(1)上的导轨(2),导轨(2)上设有用于加工的定位盘(3),定位盘(3)上固定设有待加工的研磨盘(4),研磨盘(4)外侧的基座(1)上固定有机头(5),机头(5)伸出有转轴(6),其中,所述研磨盘(4)上设有用于加工其的切割轮(7);切割轮(7)设有多个,多个切割轮(7)均匀的套接于转轴(6)上;至少具有利用转轴(6)上安装多个切割轮(7),均匀的分布切割轮(7),实现多槽式切割,提高研磨盘的加工效率,保证相应的槽加工具有高效性效果。
4、研磨盘和具有其的卧式细磨机
 [简介]:本技术提供了一种研磨盘和具有其的卧式细磨机,所述研磨盘上开设有轴孔和镂空孔,所述轴孔的轴线与所述研磨盘的轴线重合,所述镂空孔具有第一壁面和第二壁面,所述第一壁面和所述第二壁面沿所述研磨盘的周向相对且间隔布置,在正交于所述研磨盘轴向的横截面内,所述第一壁面的投影和所述第二壁面的投影均为弧形,且所述第一壁面的投影的曲率半径大于所述第二壁面的投影的曲率半径。本技术的研磨盘的研磨效果较好,生产效率较高。
5、一种用于SiC晶片研磨的固相反应研磨盘及其配方技术和应用
 [简介]:本技术涉及一种用于SiC晶片研磨的固相反应研磨盘及其配方技术和应用。该固相反应研磨盘包括基盘,叠设于基盘上的填充料和嵌设于填充料中且与填充料表面齐平的若干个磨料块;所述填充料上设有贯穿填充料的气孔;所述填充料由催化剂和助研剂组成;所述磨料块由磨料、催化剂和粘接剂混合组成;所述催化剂为含铁粒子。本技术提供的固相反应研磨盘适用于SiC晶片研磨,不仅可以获得较高的材料去除率和较好的表面质量,还能够获得低损伤的SiC晶片表面,可用于表面要求较高的SiC晶片的精密研磨加工。
6、一种研磨体及其配方技术和镶嵌有该研磨体的研磨盘、研磨垫
 [简介]:本技术提供了一种研磨体,主要由下述重量份数的组分分散在溶剂中,混合固化而成:无机微粉磨料85~95份;固化型树脂3~8份;悬浮剂2~6份;消泡剂0.1~1份;烷氧化合物1~3份。本技术还提供了该研磨体的配方技术、及镶嵌有该研磨体的研磨盘、研磨垫。本技术的研磨体在研磨时会自动平均掉落下来且消耗十分平均,不会阻塞研磨盘、不易刮伤工件,由于采用了上述技术方案的研磨体,该研磨体镶埋嵌入研磨盘和研磨垫内,其具有切削研磨效率高、加工件表面质量极佳,不需要经常修整,大幅降低生产成本。
7、研磨盘和具有其的卧式细磨机
 [简介]:本技术提供了一种研磨盘和具有其的卧式细磨机,所述研磨盘上开设有轴孔和镂空孔,所述轴孔的轴线与所述研磨盘的轴线重合,所述镂空孔为多个,多个所述镂空孔绕所述研磨盘的轴线间隔布置,多个所述镂空孔的横截面积之和为S1,所述研磨盘的外周轮廓的横截面积为S2,其中,S1/S2≥0.2。本技术的研磨盘的研磨效果较好,生产效率较高。
8、一种适用于SiC晶片的磨粒定向的固相反应研磨盘及其配方技术和应用
 [简介]:本技术涉及一种适用于SiC晶片的磨粒定向的固相反应研磨盘及其配方技术和应用。该固相反应研磨盘包括磨粒、含铁磁性粒子、过氧化氢胶囊和树脂结合剂。本技术提供的适用于SiC晶片的磨粒定向的固相反应研磨盘中含有定向排布的磨粒和含铁磁性粒子,研磨加工过程中,含过氧化氢的胶囊破裂,释放H2O2与含铁磁性粒子发生芬顿反应,生成氧化性极强的羟基自由基(·OH),进而在研磨的过程中,在SiC晶片表面生成软质SiO2氧化层并均匀去除,去除效率高,表面粗糙度低,且对晶片表面损伤小;另外,研磨盘在磨粒更新后,磨粒分布依旧均匀,可保持较好的研磨效果。
9、研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机
 [简介]:本技术提供了一种研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机,其中,研磨盘窗口盖包括窗口盖本体和保护件;保护件设于窗口盖本体上,以用于在研磨时与研磨垫接触。本技术改进了研磨盘窗口盖的结构,解决了研磨盘窗口盖容易被研磨垫粘下来的问题,保护了研磨盘窗口盖,避免了多次重新安装,也解决了因研磨盘窗口盖安装不到位而导致研磨垫磨平的问题。
10、大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法
 [简介]:本技术属于光学元件加工技术领域,提供了一种大尺寸研磨盘高平面度精确量化的高效修整方法,其过程为:待修整研磨盘通过螺纹连接到机床上,在线修整机构通过在线修整机构安装支架连接到机床上,所述方法中量化控制百分表通过安装支架连接到在线修整机构安装支架上,从而与机床床身连接到一起,在线修整机构机身上加装转接支架,量化控制百分表安装到安装支架上,与转接支架接触。本技术修整方法允许根据研磨盘平面度测量结果精确调整修整量,从而使得研磨盘平面度达到指定精度。
11、研磨盘双向可调的单向齿轮箱及应用
12、一种陶瓷研磨用研磨盘
13、一种碳纳米管加工改性用的研磨盘
14、机械式研磨盘齿形扫描仪
15、一种便于精确定位的圆硅片研磨盘
16、一种硅片研磨盘修正设备及其修正工艺
17、一种半导体晶元研磨盘
18、一种电机驱动的地面研磨机的研磨盘
19、一种耐磨抗菌研磨盘
20、一种电磁研磨盘基座
21、一种陶瓷研磨盘的研磨体及陶瓷研磨盘
22、一种多孔树脂研磨盘及其配方技术
23、一种光纤适配器双APC插芯研磨盘
24、提高研磨盘加工能力的方法
25、自修式液态金属研磨盘及其配方技术
26、一种偏心式研磨盘机构
27、用于固体药品安全检测的防粘结药品研磨盘
28、一种硅片研磨盘及其配方技术和用途
29、一种蓝宝石研磨盘的配方技术
30、一种食物垃圾处理器防研磨刀头夹死研磨盘
31、金刚石研磨盘上风险金刚石的确定方法
32、一种研磨盘及铸造该研磨盘的模型以及其铸造工艺
33、一种沟槽研磨盘及一种沟槽研磨盘的制作方法
34、一种光纤非标夹具研磨盘
35、一种耐磨损的行星研磨盘
36、附接毂、支撑垫和研磨盘
37、一种光纤陶瓷裸插芯研磨盘
38、交叠式层叠型研磨盘及其制作方法
39、一种偏心式研磨盘机构
40、研磨盘及其用途
41、一种新型的组成固结研磨盘工作面的砂轮块
42、研磨盘的处理方法
43、一种胡椒研磨盘
44、一种用于凸圆锥滚子滚动面精加工的研磨盘、设备及方法
45、一种用于圆锥滚子滚动表面精加工的研磨盘、设备方法
46、用于将多个零件同时摆放到研磨盘内的治具
47、一种树脂合成研磨盘及配方技术
48、用于圆锥滚子滚动表面精加工的磁性研磨盘、设备及方法
49、一种用于圆柱滚子滚动面精加工的研磨盘、设备及方法
50、一种研磨盘固定架
51、一种基于仿生植物脉络的研磨盘及配方技术
52、一种研磨盘金刚石刀头的制作工艺
53、一种油葵花盘研磨盘
54、研磨盘及其制作方法
55、用于圆柱滚子滚动表面精加工的磁性研磨盘、设备及方法
56、用于凸圆柱滚子滚动面精加工的磁性研磨盘、设备及方法
57、一种立式双盘磨粉机的超细研磨盘
58、一种光学蓝宝石研磨盘用球墨铸铁材料及其配方技术
59、一种中心研磨盘的组装设备
60、用于圆柱滚子滚动面精加工的磁性研磨盘、设备及方法
61、一种树脂研磨盘
62、研磨盘、手持式动力工具和控制方法
63、一种用于半导体衬底研磨的半固结研磨盘及其配方技术和用途
64、一种便于更换砂纸的研磨盘
65、用于凸圆锥滚子滚动面精加工的磁性研磨盘、设备及方法
66、一种制药研磨机用研磨盘
67、一种研磨盘的制作方法及研磨盘
68、一种平面研磨盘
69、一种用于凸圆柱滚子滚动面精加工的研磨盘、设备及方法
70、一种组合式铸铁研磨盘
71、涂覆研磨盘及其制备和使用方法
72、一种用于圆柱滚子滚动表面精加工的研磨盘、设备及方法
73、一种玻璃用研磨盘
74、一种具有梯度分布研磨盘去除函数的计算方法
75、一种金刚石研磨盘
76、一种用在通信器件中的研磨盘
77、一种单面精密研磨机用真空吸附式下研磨盘
78、带有支持层的研磨盘
79、一种石英研磨盘
80、一种偏心球用研磨盘
81、圆点型研磨盘组
82、一种百叶研磨盘用胶粘剂及其配方技术
83、一种研磨盘
84、一种球用研磨盘
85、手持式研磨机及手持式研磨机的研磨盘的结合方法
86、一种背绒研磨盘及其制备工艺
87、一种陶瓷研磨盘
88、一种多孔研磨盘
89、一种橡胶研磨盘
90、晶片研磨盘与其使用方法
91、一种研磨盘的制作工艺
92、一种具有冷却孔研磨盘
93、一种新型固结纳米钻石烯研磨盘及其制备工艺
94、一种研磨盘底座
95、一种新型镜面研磨盘
96、光纤研磨盘
97、机用研磨盘工装
98、研磨盘结构及食物垃圾处理器
99、一种树脂固结金刚石微粉叶序研磨盘及制造方法
100、一种用于磨削铜合金的树脂CBN研磨盘
101、用碳化硼制备研磨盘的方法
102、一种球铁研磨盘砂型无冒口铸造工艺及铸型
103、一种高分子行星研磨盘的破坏处理设备
104、研磨盘
105、一种固结磨料叶序研磨盘的图案优选方法
106、研磨盘
107、研磨盘
108、研磨盘
109、一种基于研磨盘表面自生长的连续研磨机构
110、研磨盘
111、一种研磨盘表面自生长的快速修复研磨机构
112、研磨盘
113、一种研磨盘表面自生长的研磨机构
114、研磨盘和研磨机
115、研磨盘
116、一种凹嵌式单面精密研磨盘
117、双面陶瓷研磨盘的合成
118、金钢研磨盘的金刚石结块与铁件滑块的连接工艺
119、一种研磨盘铸造模型及其制作研磨盘的制备工艺
120、基于图像检测和研磨盘表面自生长的精确修复机构
121、研磨盘
122、一种带有抛光功能的研磨盘
123、药品研磨机研磨盘
124、用于超精密研磨加工的阿基米德螺旋纹研磨盘
125、一种螺旋形研磨盘
126、双盘直槽圆柱形零件表面研磨盘
127、一种SiC粘结的金刚石研磨盘
128、一种用于研磨盘类零件的研磨机
129、一种锥螺旋形研磨盘
130、树脂粘合的研磨盘
131、用于支撑研磨盘的衬垫
132、用于支撑研磨盘的衬垫
133、一种上研磨盘砂轮的修整方法及实现该方法的机构
134、一种内冷却固结磨料研磨盘
135、一种SiC单晶片研磨工序用固结磨料化学机械研磨盘
136、一种金相用磁吸研磨盘的配方技术
137、金字塔研磨盘
138、磨片机研磨盘下砂口的改良构造
139、一种研磨盘
140、金字塔研磨盘
141、金字塔研磨盘的加工方法
142、合成铜盘研磨盘
143、一种固着磨料研磨盘的磨料
144、用于加工研磨盘平面的车床模头
145、新型陶瓷结合剂立方氮化硼研磨盘及其生产方法
146、具有作为填料的植物种皮的研磨盘及其制造方法
147、行星研磨盘
148、手持研磨盘
149、研磨盘
150、多孔研磨盘及其制造方法
151、一种带有研磨盘冷却机构的平面研磨机
152、包含针织线圈织物层的涂覆的研磨盘及其配方技术
153、一种研磨盘
154、柔性研磨盘的制造方法
155、用于研磨盘的背衬及其配方技术
156、研磨盘
157、光敏树脂结合剂研磨盘的配方技术
158、立方氮化硼陶瓷结合剂研磨盘及其生产方法
159、具有沿垂直于工件作往复运动的研磨盘的研磨机
160、研磨盘
161、研磨块、研磨盘以及*极射线管用玻璃面板的研磨方法
162、改进的涂层研磨盘
 
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