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多晶硅还原炉生产工艺制造方法

发布时间:2020-01-03   作者:admin   浏览次数:131

1、多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法
 [简介]:本技术提供了一种多晶硅还原炉及使用多晶硅还原炉生长多晶硅的方法,多晶硅还原炉的炉腔由隔板分隔为至少两个子炉腔,隔板上设置有开口,开口邻近炉腔的炉顶或炉底,其中一个子炉腔内设置有用于进气的进气口,其余的至少一个子炉腔内设置有用于排气的出气口,通入到设置有进气口的子炉腔内的供料气通过隔板的开口流入到相邻的子炉腔内,设置有进气口的子炉腔内的供料气和与其相邻的子炉腔内的供料气的流动方向相反。本技术中的子炉腔成为平推流反应器,供料气在子炉腔内朝着一个方向流动,防止子炉腔内的气流逆向发生扰动,从而使得气体流速和温度在子炉腔内的硅棒根部至顶部的分布更加均匀,尤其是消除硅棒横梁周围的滞流现象,减少横梁菜花料。
2、多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统
 [简介]:本技术属于多晶硅的生产设备技术领域,涉及多晶硅还原炉尾气防护罩、多晶硅还原炉及多晶硅生产系统。本技术的多晶硅还原炉尾气防护罩,包括圆柱形侧壁,所述圆柱形侧壁的顶端连接封闭的顶盖,所述圆柱形侧壁的低端连接尾气出气口;所述圆柱形侧壁上开设有多个周向均布的排气通孔;所述防护罩为碳-碳复合材料防护罩。本技术能够有效防止硅块进入尾气管线,避免尾气管线堵塞,又能保证还原炉尾气的正常流通,大大减小清理尾气管线的工作量。
3、多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法
 [简介]:本技术提供的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法,炉体上装有两道门,两道门围起的空间形成圆柱形炉体上的一个凸起;炉内底盘上贴近炉体内壁处沿炉体一周设有凹槽,对应地,还原炉内壁中间高度处沿炉体一周设有T形凹槽,两圈凹槽形成两条对应的轨道。每一块经高度抛光的镜面下端装有两个小滑轮,镜面与炉内壁固定的一面中间高度处设计有一个T形凸起结构,T形凸起结构的下端也装有两个小滑轮,镜面的T形凸起与与炉体内壁的T形凹槽相吻合;镜面可以要通过炉内轨道方便地安装在还原炉内壁上。这样的设计能够降低还原炉能耗,同时避免了对炉体内壁进行打磨抛光的和吊装炉体的繁重工序,降低了多晶硅还原炉的生产成本。
4、一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统
 [简介]:本技术涉及多晶硅生产技术领域,提供了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫,冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体),在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动,有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、加热装置、空气抽运泵、吹气装置以及连通以上各装置的管道。
5、用于多晶硅还原炉的底盘组件和多晶硅还原炉
 [简介]:本技术提供了一种用于多晶硅还原炉的底盘组件和多晶硅还原炉,用于多晶硅还原炉的底盘组件包括:底盘本体,底盘本体内限定有冷却腔;多个电极,多个电极设在底盘本体上且在底盘本体上排列成多圈,每圈电极等间距设置且中心位于底盘本体的中心轴线上;多个进气端管,多个进气端管设在底盘本体上且位于相邻圈电极之间以及底盘本体的中心处;多个出气端管,多个出气端管设在底盘本体上且位于最外圈电极与最内圈电极之间;至少一个进气管,每个进气管与至少一个进气端管相连。至少一个出气管,每个出气管与至少一个出气端管相连。根据本技术实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件具有结构紧凑、节能高效、集成大型化、单炉产量高等优点。
6、内壁安装凹形镜面的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉用凹形镜面
 [简介]:本技术提供的一种内壁安装凹形镜面的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉用凹形镜面,其特征在于还原炉内壁安装有高度抛光的凹形镜面,各个凹形镜面顺次紧密相邻并通过螺栓与炉体内壁固定。所安装镜面的数量等于炉内最外圈硅棒的数量,镜面与最外圈硅棒一一对应,并且镜面凹面的轴心跟与其对应的硅棒轴心位置重合。高度抛光的凹形镜面能够使高温硅棒辐射到炉体内壁的能量被反射回炉内,并且将反射回的能量聚焦于硅棒上,这种聚光技术能够在炉体内壁抛光的基础上进一步降低由于硅棒高温辐射所造成的能量损失,并且避免了对炉体内壁进行多次打磨抛光的繁杂工序,大大降低了多晶硅还原炉的生产成本。
7、用于多晶硅还原炉的底盘组件和多晶硅还原炉
 [简介]:本技术提供了一种用于多晶硅还原炉的底盘组件和多晶硅还原炉,用于多晶硅还原炉的底盘组件包括:底盘本体,底盘本体内限定有冷却腔;多个电极,多个电极设在底盘本体上且在底盘本体上排列成多圈,每圈电极等间距设置且中心位于底盘本体的中心轴线上;多个进气端管,多个进气端管设在底盘本体上且位于相邻圈电极之间以及底盘本体的中心处;多个出气端管,多个出气端管设在底盘本体上且位于最外圈电极与最内圈电极之间;至少一个进气管,每个进气管与至少一个进气端管相连。至少一个出气管,每个出气管与至少一个出气端管相连。根据本技术实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件具有结构紧凑、节能高效、集成大型化、单炉产量高等优点。
8、还原炉及使用该还原炉的多晶硅生产工艺
 [简介]:一种还原炉,用于多晶硅生产,包括还原炉底盘、设置在还原炉底盘上的还原炉钟罩及设置在还原炉底盘上的电极,电极的间距在80到200毫米之间。本技术还提供了使用该还原炉的多晶硅生产工艺。本技术的还原炉在多晶硅生产过程中,密度增大,硅棒之间辐射热量增大,热量和物料利用率增加,降低了生产成本。
9、一种高效节能还原炉底盘和多晶硅还原炉
 [简介]:本技术提供一种高效节能还原炉底盘,包括底盘,所述底盘上设有中心进料口、n个电极圈层和n?1个进料圈层,其中n≥4且n为正整数;所述电极圈层和进料圈层以中心进料口为圆心间隔设置;每个所述进料圈层设有不少于4个进料口;所述电极圈层从内向外计数,第n电极圈层设有4n对电极;同一电极圈层内相邻两个电极之间等间距设置;第n个所述电极圈层外设有出料圈层,所述出料圈层设有至少两个出料口,所述出料口等间距设置在出料圈层上。重新设计还原炉底盘上电极和进料口的布局,从而改进还原炉中进行反应的温场和气场,同时提高原料转换率,降低生产成本。本申请还提供一种包括上述高效节能还原炉底盘的多晶硅还原炉。
10、还原炉电极、硅芯夹持装置及多晶硅还原炉
 [简介]:本技术提供了一种还原炉电极、硅芯夹持装置及多晶硅还原炉,涉及还原炉的技术领域。所述的还原炉电极,包括:电极本体,所述电极本体内部设有空腔,所述电极本体上设有电极头和电极座,所述电极头和所述电极座分别位于电极本体的两端;所述电极头的锥度为5.6°,所述电极头为铜材质,电极头的外表面设有电镀银层。以缓解现有技术中存在的电极与卡瓣贴合不牢的技术问题。
11、一种电子级多晶硅还原炉底盘及还原炉
12、用于多晶硅还原炉的导流装置及具有其的还原炉
13、一种高效节能还原炉底盘和多晶硅还原炉
14、一种电子级多晶硅还原炉底盘及还原炉
15、多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法
16、装有多晶硅插片隔热层的多晶硅还原炉节能装置
17、用于生产多晶硅的还原炉及改善多晶硅表面菜花的方法
18、带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆及实施方法
19、改良西门子法多晶硅还原炉尾气经回收循环再利用后生产制造多晶硅的方法
20、生产多晶硅用还原炉和多晶硅生产控制方法
21、用于多晶硅还原炉的还原尾气除尘系统及多晶硅生产装置
22、电子级多晶硅还原炉及多晶硅的生产方法
23、一种节能多晶硅还原炉及多晶硅的制造方法
24、装有多晶硅插片隔热层的多晶硅还原炉节能装置及方法
25、一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套
26、多晶硅还原炉启炉的硅芯击穿方法、启炉方法、生产多晶硅的方法及装置
27、多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置
28、多晶硅氢还原炉
29、一种多晶硅还原炉电极
30、反冲式多晶硅还原炉喷嘴
31、多晶硅还原炉
32、卧式多晶硅还原炉炉体冷却结构
33、一种增加多晶硅还原炉里硅芯根数的方法及装置
34、新型多晶硅还原炉
35、多晶硅生产还原炉启、停炉处理工艺及装置
36、多晶硅还原炉预加热器
37、一种多晶硅还原炉电源柜
38、多晶硅还原炉
39、一种24对棒多晶硅还原炉供电系统
40、防腐蚀多晶硅还原炉
41、一种多晶硅氢还原炉上的视镜
42、一种多晶硅还原炉
43、多晶硅还原炉
44、多晶硅还原炉
45、多晶硅还原炉的启炉方法
46、一种多晶硅还原炉尾气逐级降温冷却的吸收塔装置及方法
47、多晶硅还原炉底盘防拉弧结构
48、一种多晶硅还原炉炉筒清洗方法
49、具有新型喷嘴的多晶硅还原炉
50、一种用于多晶硅还原炉生产中的节能装置
51、一种多晶硅还原炉用石墨挡环阻热装置
52、炼制多晶硅还原炉电极损坏部分再修复的方法
53、一种方便密封的多晶硅还原炉
54、多晶硅生产还原炉或氢化炉尾气冷却装置
55、多晶硅还原炉用石墨组件
56、48对棒多晶硅还原炉
57、多晶硅还原炉
58、一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
59、一种多晶硅还原炉
60、一种用于多晶硅还原炉用石墨组件的石墨护罩
61、一种防堵塞的多晶硅CVD还原炉
62、多晶硅还原炉之水冷电极
63、多晶硅氢气气氛下还原炉启动方法
64、快开式、水冷结构的多晶硅还原炉
65、用于多晶硅还原炉的底盘组件
66、一种多晶硅还原炉
67、一种多晶硅还原炉用变频电源装置
68、多晶硅还原炉电极陶瓷绝缘组件
69、节能型多晶硅还原炉
70、一种多晶硅还原炉石墨件
71、多晶硅实验还原炉
72、具有新型喷嘴的多晶硅还原炉
73、多晶硅氢还原炉尾气出口结构
74、一种新型进、出气结构的多晶硅还原炉
75、多晶硅还原炉的绝缘盘
76、均匀取热式多晶硅还原炉底盘冷却结构
77、多晶硅还原炉
78、多晶硅生产中还原炉底盘密封面保护圈
79、一种多晶硅生产中使用的还原炉
80、一种新型多晶硅还原炉、热氢化炉尾气过滤装置
81、一种用于生产电子级多晶硅的还原炉用进料喷嘴
82、一种多晶硅还原炉
83、一种生产多晶硅的还原炉
84、一种高效多晶硅还原炉热量回收系统
85、多晶硅还原炉电极
86、多晶硅还原炉
87、节能型多晶硅还原炉
88、一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法
89、多晶硅还原炉
90、一种多晶硅还原炉用夹头
91、多晶硅还原炉用硅芯电极
92、一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法
93、一种多晶硅还原炉控温节能系统
94、多晶硅氢还原炉的可变截面积进气口装置
95、一种多晶硅还原炉的原料气进料量的控制装置
96、多晶硅还原炉
97、多晶硅还原炉
98、用于多晶硅还原炉的底盘组件
99、中心对称三螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘
100、一种多晶硅还原炉用高效加热器
101、一种多晶硅还原炉炉体
102、多晶硅生产还原炉尾气冷却装置
103、多晶硅还原炉的绝缘组件
104、用于多晶硅还原炉的喷嘴
105、一种用于多晶硅还原炉的卡瓣安装结构
106、一种72对棒多晶硅还原炉供电系统
107、多晶硅还原炉热量回收制热水装置
108、一种具有排气功能的多晶硅还原炉用石墨底座
109、多晶硅还原炉
110、多晶硅还原炉喷嘴
111、多晶硅还原炉
112、多晶硅氢还原炉
113、一种多晶硅还原炉用氮化硅陶瓷环的制备方法
114、带除尘装置的多晶硅还原炉尾气出口结构
115、一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩
116、多晶硅还原炉喷嘴
117、一种多晶硅还原炉用变流变压器
118、一种多晶硅还原炉控温节能系统及工艺
119、中心对称双螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘
120、带进料装置的多晶硅还原炉
121、多晶硅氢还原炉
122、多晶硅生产用还原炉的进气口和出气口
123、用于多晶硅还原炉的底盘组件
124、多晶硅还原炉用绝缘磁环及其制作方法
125、一种集成化多晶硅还原炉电源系统
126、多晶硅还原炉尾气在线检测样品处理装置
127、高纯多晶硅生产用还原炉电极
128、并联双螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘
129、多晶硅还原炉的节电保温隔热罩
130、一种带内冷却系统的多晶硅还原炉
131、一种多晶硅还原炉冷却装置
132、多晶硅还原炉可调多路进气结构
133、一种多晶硅还原炉还原过程能耗预测方法、系统
134、一种多晶硅还原炉
135、一种多晶硅还原炉电源系统
136、一种多晶硅还原炉钟罩内壁抛光设备
137、一种改良西门子法的12对棒电子级多晶硅还原炉底盘
138、高效节能型多晶硅还原炉
139、一种多晶硅还原炉的电源系统
140、一种多晶硅还原炉设备密封结构
141、一种60对棒改良西门子法多晶硅还原炉底盘
142、一种多晶硅还原炉内衬涂层的制备方法
143、一种多晶硅还原炉尾气输送结构
144、一种电流检测电路及多晶硅还原炉
145、多晶硅还原炉的电极组件
146、一种多晶硅还原炉进气结构
147、一种双冷却多晶硅还原炉底盘结构
148、多晶硅还原炉高压启动绝缘电极
149、一种多晶硅还原炉
150、一种多晶硅还原炉前处理过程中的转动固定装置
151、一种多晶硅还原炉内壁电镀过程中的仿形阳极及固定装置
152、多晶硅还原炉控温系统及工艺
153、硅芯棒组件和多晶硅还原炉
154、一种多晶硅还原炉喷气装置
155、多晶硅还原炉高压启动装置
156、一种18对棒多晶硅还原炉
157、一种多晶硅还原炉密封结构和方法
158、一种多晶硅还原炉
159、一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置
160、多晶硅还原炉用封头的加工工艺
161、一种具有新型喷嘴的多晶硅还原炉
162、一种多晶硅还原炉
163、带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置及方法
164、一种多晶硅氢气气氛下还原炉的电路
165、多晶硅还原炉的绝缘套筒
166、一种具有对齐功能用于多晶硅还原炉的石墨卡瓣
167、多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
168、多晶硅还原炉石墨电极的洁净处理水淬法
169、用于多晶硅还原炉的底盘组件
170、多晶硅还原炉喷嘴
171、一种高效多晶硅还原炉热量回收系统及还原生产工艺
172、一种多晶硅还原炉尾气取样与辅助检测的装置
173、PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统
174、一种多晶硅还原炉预升温系统及预升温方法
175、多晶硅还原炉尾气出口装置
176、多晶硅氢还原炉
177、多晶硅还原炉尾气节能系统
178、多晶硅还原炉
179、多晶硅还原炉的电极组件
180、一种45对棒紧凑型多晶硅还原炉
181、多晶硅还原炉设备垫片冷却水结构
182、一种多晶硅还原炉用变流变压器
183、多晶硅还原炉
184、一种多点进料的多晶硅还原炉
185、电子级多晶硅还原炉
186、一种多晶硅还原炉、热氢化炉尾气急冷装置
187、多晶硅还原炉
188、一种多晶硅还原炉用石墨卡瓣
189、多晶硅还原炉
190、一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法
191、一种强制循环式多晶硅还原炉钟罩
192、多晶硅棒还原炉电气系统及其启动方法
193、多晶硅还原炉
194、多晶硅还原炉调压电源一体化系统
195、一种78对棒多晶硅还原炉
196、一种多晶硅还原炉用变流变压器
197、一种多晶硅还原炉底盘
198、多晶硅还原炉电极四氟护套耐压试验装置
199、多晶硅还原炉底盘装置
200、多晶硅还原炉用湍流场混合进料装置
201、一种西门子法生产多晶硅工艺中还原炉的进料喷嘴
202、一种多晶硅还原炉用的集中模块化干燥净化系统
203、一种42对棒的多晶硅还原炉及连接方式
204、端电压为零的多晶硅还原炉高压启动供电系统
205、一种用于生产多晶硅的还原炉
206、新型多晶硅还原炉之水冷电极
207、用于多晶硅还原炉的底盘组件
208、一种适用于西门子工艺生产多晶硅的还原炉
209、一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器
210、一种多晶硅还原炉壳体气体冷却装置
211、新型多晶硅还原炉用硅芯夹持装置
212、一种基于氮化处理的钛-钢复合板的多晶硅还原炉
213、一种多晶硅生产中的还原炉钟罩去冷却水方法
214、多晶硅还原炉用硅芯电极
215、一种多晶硅还原炉及其炉筒内壁功能层的制备工艺
216、一种生产多晶硅用的还原炉
217、多晶硅还原炉尾气节能系统
218、多晶硅氢还原炉
219、一种炉内气体介质强制循环式多晶硅还原炉
220、多晶硅还原炉壳体气体冷却装置
221、分体式多晶硅还原炉用尾气防掉硅装置
222、带有出口气体收集器的多晶硅还原炉
223、多晶硅还原炉顶部出气装置
224、PLC自动控制的多晶硅还原炉进气装置
225、一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉及操作方法
226、一种48对棒多晶硅还原炉的启动系统
227、一种新型多晶硅还原炉高压启动装置
228、多晶硅还原炉多参量在线监测与优化控制装置及方法
229、一种具有新型喷嘴的多晶硅还原炉
230、多晶硅还原炉
231、一种干法清洗多晶硅还原炉的方法
232、一种多晶硅还原炉冷却系统
233、一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩
234、多台多晶硅还原炉的生产装置及操作方法
235、一种节能型多晶硅还原炉
236、多晶硅还原炉
237、多晶硅行业60对棒还原炉生产装置
238、一种多晶硅还原炉
239、一种多晶硅还原炉环氧干式变压器用低压线圈
240、一种泡罩式可调节多晶硅还原炉喷嘴
241、一种多晶硅还原炉气流控制器
242、用于多晶硅还原炉的视镜
243、一种多晶硅还原炉
244、钟罩式大型多晶硅还原炉
245、一种多晶硅还原炉及其操作方法
246、一种新型多晶硅生产预热用还原炉
247、一种用于多晶硅还原炉用石墨组件的石墨护罩
248、多晶硅的还原生产工艺及其生产用还原炉
249、一种可调节多晶硅还原炉喷嘴
250、一种气相可控型多晶硅还原炉
251、一种72对棒多晶硅还原炉
252、多晶硅还原炉电极棒分布结构
253、大型结构的多晶硅还原炉
254、一种多晶硅还原炉
255、多晶硅还原炉自动进料方法和装置
256、一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
257、一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
258、一种多晶硅还原炉
259、一种多晶硅还原炉喷气嘴
260、多晶硅还原炉自动调功装置
261、一种多晶硅还原炉用下沉式过滤器
262、一种多晶硅还原炉及其使用方法
263、一种多晶硅还原炉清洗自动关机装置
264、一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置
265、一种用于多晶硅还原炉的清洗装置
266、一种多晶硅还原炉内硅棒生长速率预估模型
267、一种多晶硅还原炉自动控制方法
268、一种多晶硅还原炉电极
269、一种激光清除多晶硅还原炉钟罩氧化皮的方法及装置
270、一种多晶硅还原炉
271、多晶硅还原炉
272、一种多晶硅还原炉
273、一种多晶硅生产中还原炉全自动闭环进料及供电的控制方法
274、多晶硅还原炉法兰连接处保温装置
275、观察视镜及多晶硅还原炉
276、尾气防护装置及多晶硅还原炉
277、24对棒多晶硅还原炉
278、一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却结构
279、一种多晶硅还原炉电极
280、多晶硅还原炉
281、一种用于多晶硅还原炉用石墨组件的安装工具
282、一种漏电检测系统及多晶硅还原炉
283、一种多晶硅还原炉用高抗热震性氧化铝陶瓷环及制备方法
284、一种节能型多晶硅还原炉的内胆降膜结构及实施方法
285、一种多晶硅还原炉高压启动装置
286、多晶硅还原炉进料喷嘴
287、多晶硅还原炉尾气回收液冷却系统
288、用于多晶硅还原炉变压器的冷却机构
289、多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构
290、新型多晶硅还原炉尾气冷凝器
291、多晶硅还原炉的密封结构
292、用于多晶硅还原炉的漏电及碰壁保护装置
293、一种节能型多晶硅还原炉的底盘及其实施方法
294、具有新型喷嘴的多晶硅还原炉
295、适用于低压常规电源加热启动的多晶硅氢还原炉
296、一种多晶硅还原炉用高抗热震性氧化铝陶瓷环及其制备方法
297、具有绝缘组件的多晶硅还原炉
298、一种多晶硅还原炉
299、多晶硅还原炉及其喷嘴
300、一种多晶硅料生产还原炉用电极保护罩的清洗方法
301、多晶硅制取用还原炉电极
302、用于多晶硅还原炉的底盘组件
303、一种多晶硅还原炉用电极的测试装置
304、多晶硅还原炉
305、一种42对棒的新型多晶硅还原炉
306、一种多晶硅还原炉用高效加热器
307、一种新型多晶硅还原炉喷气嘴
308、一种多晶硅还原炉石墨卡瓣加工底座
309、多晶硅还原炉
310、空气冷却多晶硅氢还原炉出气管的方法
311、多晶硅还原炉上钟罩的夹套结构
312、新型多晶硅还原炉喷嘴
313、一种多晶硅还原炉气流控制器
314、多晶硅还原炉节能的炉体
315、多晶硅氢还原炉
316、一种多晶硅生产中的还原炉进料方法
317、多晶硅还原炉的电极组件
318、一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法
319、多晶硅还原炉
320、多晶硅还原炉用硅芯夹持装置
321、多晶硅还原炉尾气节能系统
322、新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
323、用于多晶硅还原炉的底盘组件
324、改良西门子法还原炉提高多晶硅一次沉积率的方法
325、多晶硅生产还原炉启、停炉处理装置
326、一种光控多晶硅还原炉电源
327、48对棒多晶硅还原炉
328、多晶硅还原炉
329、一种多晶硅还原炉的接地保护装置
330、均匀取热式多晶硅还原炉底盘冷却结构
331、用于多晶硅还原炉的底盘组件
332、多晶硅还原炉的电极组件
333、多晶硅还原炉热能利用系统
334、一种多晶硅还原炉环氧干式变压器用低压线圈
335、多晶硅还原炉和观察视镜
336、用于多晶硅还原炉的底盘组件
337、多晶硅还原炉
338、一种液冷多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
339、一种多晶硅还原炉用PLC开关量输入输出点控制装置
340、有双重冷却系统的多晶硅还原炉
341、一种多晶硅还原炉尾气孔防掉硅装置
342、多晶硅生产还原炉停炉控制系统及其方法
343、一种可退座退棒的多晶硅还原炉用石墨组件
344、多晶硅还原炉的电极
345、18对棒多晶硅还原炉
346、多晶硅还原炉罩清洗平台
347、多晶硅生产用还原炉
348、多台多晶硅还原炉的生产装置
349、一种36对棒多晶硅还原炉底盘
350、一种多晶硅生产用还原炉
351、多晶硅还原炉
352、新型多晶硅还原炉红外预加热器
353、用于多晶硅还原炉的底盘组件
354、多晶硅还原炉
355、一种多晶硅还原炉电源控制装置
356、一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统
357、多晶硅还原炉硅芯夹持装置
358、多晶硅还原炉电极
359、一种多晶硅还原炉水系统热能回收系统及工艺
360、72对棒多晶硅还原炉
361、一种多晶硅还原炉用变压器
362、一种多晶硅还原炉
363、反冲式多晶硅还原炉喷嘴
364、多晶硅还原炉视镜输氢孔疏通工具
365、多晶硅还原炉挠性结构冷却夹套
366、一种提高多晶硅还原炉单炉产量的电加热装置及其方法
367、多晶硅还原炉
368、多晶硅氢还原炉电极结构
369、一种多晶硅还原炉
370、30对棒多晶硅还原炉
371、多晶硅还原炉
372、一种多晶硅还原炉电极绝缘结构
373、一种多晶硅还原炉用高纯氧化铝绝缘环
374、多晶硅还原炉硅芯安装装置以及安装方法
375、一种多晶硅还原炉取棒装置
376、多晶硅还原炉用石墨支承套件
377、一种多晶硅还原炉电极
378、一种安装有螺牙套的多晶硅还原炉电极
379、多晶硅生产过程中还原炉参数配方的控制方法
380、多晶硅还原炉
381、多晶硅还原炉的绝缘组件
382、一种多晶硅还原炉
383、一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法
384、一种多晶硅生产还原炉用电极组件
385、一种多晶硅生产用还原炉
386、一种多晶硅还原炉的硅芯结构
387、一种多晶硅还原炉
388、一种多晶硅还原炉底盘清扫器及其清扫系统
389、多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置
390、多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置
391、多晶硅氢还原炉
392、余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置
393、一种多晶硅还原炉的绝缘构件
394、多晶硅还原炉电极外套强制冷却装置
395、一种气相可控型多晶硅还原炉
396、带硅粉处理装置的多晶硅还原炉
397、多晶硅氢还原炉
 
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