1 一种石墨舟清洗工艺
简介：本技术提供了一种石墨舟清洗工艺，包括以下步骤：S1、准备需要清洗的石墨舟，进行拆舟处理，将工艺卡点单独放置清洗；S2、配备清洗液，所配置的氢氟酸的质量浓度比为10％‑15％；S3、将拆卸的石墨舟放进清洗液中进行酸洗浸泡，浸泡时间为8‑12h,浸泡的过程中打开喷淋阀门和鼓泡机；S4、将浸泡后的石墨舟放进纯水中进行漂洗，放置纯水池中浸泡2‑3h，纯水漂洗过程中打开鼓泡机和喷淋阀门；S5、检验在纯水中石墨舟清洗的流动水的酸碱度。本技术将石墨舟拆分清洁，清洗过程多为浸泡，减小了对石墨舟表面的冲击，延长了使用的寿命，采用超声波清洁，使清洁更加彻底，且清洁过程中保证减少对舟体的伤害，适合市场进行推广。
2 清洗槽及清洗设备
简介：本技术提供了一种清洗槽及清洗设备，其中清洗槽包括：槽体；转动组件，设置在所述槽体内，被配置为能够相对于所述槽体转动；支撑件，设置在所述转动组件上。本技术清洗槽通过转动组件及支撑件的设置，在工作过程中，通过转动组件转动一定角度，带动支撑件转动，使支撑件呈竖直状，配置出加载间隙，此时可以通过加载间隙向槽体内下放石墨舟，该石墨舟会处于传动组件的下方，而后再次驱动转动组件，放平支撑件，可将另外一个石墨舟放置在支撑件上，通过这种方式可以同时清洗两个石墨舟，大大提高清洗效率与清洗药剂、占地空间的利用率，可以减少清洗设备的投入量，减小清洗设备占地面积。
3 一种PECVD石墨舟的清洗方法
简介：本技术提供一种PECVD石墨舟的清洗方法，其包括以下步骤：配液：在清洗槽内配置氢氟酸溶液；清洗：将石墨舟整体放入氢氟酸溶液内，浸泡时间为5‑7小时，浸泡同时开启鼓泡；抽液：待石墨舟整体浸泡5‑7小时后，将氢氟酸溶液抽出；第一次喷淋：用去离子水对石墨舟整体进行喷淋，喷淋时间设为1‑10分钟；水洗鼓泡：使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟整体进行溢流1‑2小时，溢流的同时开启鼓泡；吹扫：用气XX吹扫石墨舟表面；烘干：将经过气XX吹扫后的石墨舟放入烘箱中。本技术提供的清洗方法中，对石墨舟整体进行清洗，减少拆卸和安装石墨舟的时间，并缩短石墨舟清洗时间，提高现有PECVD工序产能，不影响PECVD工艺的色差。
4 一种石墨舟清洗烘干装置
简介：本技术提供了一种石墨舟清洗烘干装置，包括输送机构、酸洗箱、水洗槽和烘干箱，所述酸洗箱底部中心位置设置有升降机构，所述升降机构包括电动升降臂、镂空旋转平台和石墨舟固定爪。本技术能够使石墨舟的清洗和烘干在同一台装置上自动化进行，操作方便，清洗干净，清洗和烘干效率高，利于提升生产效率。
5 一种石墨舟自动清洗装置及方法
简介：本技术提供了一种石墨舟自动清洗装置，包括装置主体、置物电动伸缩杆、清洗电动伸缩杆、清洗管、顶盖和回流管，在所述装置主体内部上方两侧倾斜设置有清洗电动伸缩杆，且在清洗电动伸缩杆的伸缩端通过销轴转动连接有上支杆和下支杆，在上支杆和下支杆上均绑缚具有清洗喷头的清洗管,清洗管的一端伸出装置主体外部连通清洗液箱，并在装置主体外部的清洗管上安装有清洗泵,清洗液箱顶端连通有回流管,回流管的一端由装置主体底端通入，并在装置主体外部的回流管上安装有回流泵，在所述装置主体顶端面上固定焊接有固定支架,固定支架上竖直固定有置物电动伸缩杆。该石墨舟自动清洗装置，具有结构设计合理、实用可靠等优点，可以普遍推广使用。
6 一种石墨舟清洗机的酸液循环使用装置及其清洗机
简介：本技术提供了一种石墨舟清洗机的酸液循环使用装置，包括基板、杠杆以及储液箱，所述基板表面对称设置有固定架，两个所述固定架之间设置有储液箱；所述储液箱外侧壁远离基板一端贯通开设有进液箱口，储液箱外侧壁靠近基板一端贯通开设有出液箱口，本技术还提供了一种石墨舟清洗机，包括清洗机和所述的石墨舟清洗机的酸液循环使用装置。本技术的酸液循环使用装置使酸液可以通过其自身重力来进行在清洗机和储液箱之间的转移，在可以将酸液循环使用的同时，还避免了使用液体泵抽取酸液时的腐蚀性损坏；且本技术的清洗机开设的进液机口和出液机口分别用来配合储液箱的高度，来进行酸液的转移，非常方便，值得推广。
7 石墨舟的清洗方法
简介：本技术涉及一种石墨舟清洗方法，具体而言，将待洗的石墨舟放置于体积浓度为20‑25％的氢氟酸溶液中，浸泡6‑8小时，去离子水清洗，再将石墨舟浸泡在体积浓度为1％‑10％的非强碱溶液中20‑120min，然后去离子水清洗同时进行鼓泡，将洗好的石墨舟烘干。本技术石墨舟清洗方法优点在于：明显缩短水解时间，清洗方法中加入非强碱溶液清洗，其清洗效果更好，大大提高了石墨舟的使用寿命，降低企业生产成本。
8 一种石墨舟清洗工艺
简介：本技术提供了一种石墨舟清洗工艺，包括以下步骤：1)拆舟；2)酸洗：使用酸洗液对石墨舟进行洗涤，所述酸洗液为氢氟酸和双氧水的混合溶液，所述氢氟酸在酸洗液中的浓度为30‑50vt％，所述酸洗液中，HF与H2O2的摩尔比为7‑9：1；3)水洗至中性；4)干燥；5)装舟和6)饱和。该工艺能够有效地降低太阳能电池生产镀膜工序色差片的产生，从而降低镀膜工序返工率，有效的降低了返工成本。
9 叠层膜、包含其的石墨舟及其配方技术、及石墨舟清洗方法
简介：本技术涉及一种用于饱和石墨舟的叠层膜，所述叠层膜由下至上依次包括第一氮化硅层、氧化硅层和第二氮化硅层；所述第一氮化硅层沉积在所述石墨舟上。本技术提供的叠层膜能够有效节约镀膜后的石墨舟的清洗时间，节省HF用量，降低成本。
10 一种石墨舟自动清洗装置及方法
简介：本技术提供了一种石墨舟自动清洗装置及基于该装置的清洗方法，通过隔膜循环泵将氢氟酸经由管路补充至设备内，加液过程中安全门完全闭合，氢氟酸与外界隔绝，且当安全门被打开时加液自动停止，不会发生液体飞溅，保障了操作人员安全；所用的氢氟酸用量，鼓泡清洗时间、水浴去酸时间等参数可以通过触摸屏进行设置，直观方便，不需要人工监视和操作，节约了人工成本，本技术具有急停装置，在发生意外情况时，可以及时关闭所有工作阀门，防止意外情况扩大。本技术可以通过流量计保证氢氟酸用量稳定，同时可以通过触摸屏更改氢氟酸的加液量，比人工加酸更稳定。清洗去酸过程中通过设置在清洗槽内部的氢氟酸浓度传感器确定清洗程度，更加安全可靠。
11 一种超声波清洗石墨舟及工艺卡点的方法
12 石墨舟清洗工艺
13 一种石墨舟清洗工艺
14 石墨舟的清洗工艺
15 一种石墨舟的清洗工艺
16 一种新型的石墨舟清洗工艺
17 石墨舟（框）干式清洗机
以上为本套技术的目录及部分简要介绍,内容都包括具体的生产制作过程，收费200元，购买或咨询更多相关技术内容可联系：微信/电话：13510921263
